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[發明專利]用于TSV銅附著的Z形結構有效

專利信息
申請號: 200910173952.2 申請日: 2009-09-24
公開(公告)號: CN101714539A 公開(公告)日: 2010-05-26
發明(設計)人: 陳志華;陳承先;郭正錚;沈文維 申請(專利權)人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
主分類號: H01L23/485 分類號: H01L23/485;H01L23/522;H01L21/60;H01L21/768
代理公司: 北京市德恒律師事務所 11306 代理人: 梁永
地址: 中國臺*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 tsv 附著 結構
【權利要求書】:

1.一種半導體器件,包括:

襯底,其具有第一導電物件;

在所述第一導電物件之上的鈍化層;

第一接觸襯墊,其延伸穿過所述鈍化層中的多個開口以形成與所述第 一導電物件的多個間斷接觸;

阻擋層,部分位于所述第一接觸襯墊之上;以及

導電材料,位于所述阻擋層之上,

所述第一接觸襯墊為硅通孔接觸襯墊(301),所述鈍化層為第一鈍化 層(201),所述硅通孔接觸襯墊在第一鈍化層(201)之上共形地形成,

所述硅通孔的開口(501)位于所述硅通孔接觸襯墊(301)之外側。

2.根據權利要求1所述的半導體器件,其中所述間斷接觸在第一方向 上間斷,在基本垂直于所述第一方向的第二方向上連續。

3.根據權利要求1所述的半導體器件,其中所述間斷接觸在第一方向 和第二方向上間斷,所述第二方向基本垂直于所述第一方向,其中所述間 斷接觸形成網格結構。

4.根據權利要求1所述的半導體器件,還包括位于所述第一接觸襯墊 之上的第二導電物件。

5.根據權利要求1所述的半導體器件,還包括:

第二導電物件,其位于所述襯底之內;以及

第二接觸襯墊,其延伸穿過所述鈍化層,其與所述第二導電物件具有 基本平面的分界面。

6.根據權利要求1所述的半導體器件,還包括與所述第一接觸襯墊電 連接的穿透硅通孔,

其中所述第一接觸襯墊位于所述襯底的第一面,所述穿透硅通孔與所 述襯底上與所述第一面相對的第二面上的導體接觸。

7.一種半導體器件,包括:

半導體襯底;

在所述半導體襯底之上的金屬層;

在所述金屬層之上的鈍化層;

第一導體,其延伸穿過所述鈍化層內的多個開口,與最上層金屬層共 用界面,其中,在第一方向,所述第一導體在接觸所述最上層金屬層和所 述鈍化層之間交替;

阻擋層,部分位于所述第一導體之上;以及

導電材料,位于所述阻擋層之上,

所述第一導體為硅通孔接觸襯墊(301),所述鈍化層為第一鈍化層 (201),所述硅通孔接觸襯墊在第一鈍化層(201)之上共形地形成,

所述硅通孔的開口(501)位于所述硅通孔接觸襯墊(301)之外側。

8.根據權利要求7所述的半導體器件,還包括穿透硅通孔,其至少部 分延伸穿過所述半導體襯底,所述穿透硅通孔與所述第一導體接觸。

9.根據權利要求7所述的半導體器件,其中,在與所述第一方向基本 垂直的第二方向,所述第一導體在接觸最上層金屬層和所述鈍化層之間交 替,其中所述界面形成基本對稱的接觸網格結構。

10.根據權利要求7所述的半導體器件,還包括與所述第一導體位置 不同的第二導體,其具有介于所述第二導體和所述最上層金屬層的部分之 間的平面的分界面。

11.一種半導體器件,包括:

包括第一金屬層的半導體襯底;

在所述第一金屬層的部分之上的鈍化層;

第一導電層,其形狀為具有多個穿過所述鈍化層的延伸Z形結構以形 成與所述第一金屬層的多個接觸點,所述第一導電層接觸所述第一金屬層 的30%到70%;

阻擋層,部分位于所述第一導電層之上;以及

導電材料,位于所述阻擋層之上,

所述第一導電層為硅通孔接觸襯墊(301),所述鈍化層為第一鈍化層 (201),所述硅通孔接觸襯墊在第一鈍化層(201)之上共形地形成,

所述硅通孔的開口(501)位于所述硅通孔接觸襯墊(301)之外側。

12.根據權利要求11所述的半導體器件,還包括第二導電層,其將所 述第一導電層電連接到硅通孔。

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