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[發(fā)明專利]用于TSV銅附著的Z形結(jié)構(gòu)有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200910173952.2 申請(qǐng)日: 2009-09-24
公開(公告)號(hào): CN101714539A 公開(公告)日: 2010-05-26
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳志華;陳承先;郭正錚;沈文維 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
主分類號(hào): H01L23/485 分類號(hào): H01L23/485;H01L23/522;H01L21/60;H01L21/768
代理公司: 北京市德恒律師事務(wù)所 11306 代理人: 梁永
地址: 中國臺(tái)*** 國省代碼: 中國臺(tái)灣;71
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 tsv 附著 結(jié)構(gòu)
【權(quán)利要求書】:

1.一種半導(dǎo)體器件,包括:

襯底,其具有第一導(dǎo)電物件;

在所述第一導(dǎo)電物件之上的鈍化層;

第一接觸襯墊,其延伸穿過所述鈍化層中的多個(gè)開口以形成與所述第 一導(dǎo)電物件的多個(gè)間斷接觸;

阻擋層,部分位于所述第一接觸襯墊之上;以及

導(dǎo)電材料,位于所述阻擋層之上,

所述第一接觸襯墊為硅通孔接觸襯墊(301),所述鈍化層為第一鈍化 層(201),所述硅通孔接觸襯墊在第一鈍化層(201)之上共形地形成,

所述硅通孔的開口(501)位于所述硅通孔接觸襯墊(301)之外側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中所述間斷接觸在第一方向 上間斷,在基本垂直于所述第一方向的第二方向上連續(xù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中所述間斷接觸在第一方向 和第二方向上間斷,所述第二方向基本垂直于所述第一方向,其中所述間 斷接觸形成網(wǎng)格結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,還包括位于所述第一接觸襯墊 之上的第二導(dǎo)電物件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,還包括:

第二導(dǎo)電物件,其位于所述襯底之內(nèi);以及

第二接觸襯墊,其延伸穿過所述鈍化層,其與所述第二導(dǎo)電物件具有 基本平面的分界面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,還包括與所述第一接觸襯墊電 連接的穿透硅通孔,

其中所述第一接觸襯墊位于所述襯底的第一面,所述穿透硅通孔與所 述襯底上與所述第一面相對(duì)的第二面上的導(dǎo)體接觸。

7.一種半導(dǎo)體器件,包括:

半導(dǎo)體襯底;

在所述半導(dǎo)體襯底之上的金屬層;

在所述金屬層之上的鈍化層;

第一導(dǎo)體,其延伸穿過所述鈍化層內(nèi)的多個(gè)開口,與最上層金屬層共 用界面,其中,在第一方向,所述第一導(dǎo)體在接觸所述最上層金屬層和所 述鈍化層之間交替;

阻擋層,部分位于所述第一導(dǎo)體之上;以及

導(dǎo)電材料,位于所述阻擋層之上,

所述第一導(dǎo)體為硅通孔接觸襯墊(301),所述鈍化層為第一鈍化層 (201),所述硅通孔接觸襯墊在第一鈍化層(201)之上共形地形成,

所述硅通孔的開口(501)位于所述硅通孔接觸襯墊(301)之外側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,還包括穿透硅通孔,其至少部 分延伸穿過所述半導(dǎo)體襯底,所述穿透硅通孔與所述第一導(dǎo)體接觸。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,其中,在與所述第一方向基本 垂直的第二方向,所述第一導(dǎo)體在接觸最上層金屬層和所述鈍化層之間交 替,其中所述界面形成基本對(duì)稱的接觸網(wǎng)格結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,還包括與所述第一導(dǎo)體位置 不同的第二導(dǎo)體,其具有介于所述第二導(dǎo)體和所述最上層金屬層的部分之 間的平面的分界面。

11.一種半導(dǎo)體器件,包括:

包括第一金屬層的半導(dǎo)體襯底;

在所述第一金屬層的部分之上的鈍化層;

第一導(dǎo)電層,其形狀為具有多個(gè)穿過所述鈍化層的延伸Z形結(jié)構(gòu)以形 成與所述第一金屬層的多個(gè)接觸點(diǎn),所述第一導(dǎo)電層接觸所述第一金屬層 的30%到70%;

阻擋層,部分位于所述第一導(dǎo)電層之上;以及

導(dǎo)電材料,位于所述阻擋層之上,

所述第一導(dǎo)電層為硅通孔接觸襯墊(301),所述鈍化層為第一鈍化層 (201),所述硅通孔接觸襯墊在第一鈍化層(201)之上共形地形成,

所述硅通孔的開口(501)位于所述硅通孔接觸襯墊(301)之外側(cè)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體器件,還包括第二導(dǎo)電層,其將所 述第一導(dǎo)電層電連接到硅通孔。

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1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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