[發(fā)明專利]光學(xué)照明裝置、曝光裝置以及曝光方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910173714.1
• 申請(qǐng)日: 2004-11-02
• 公開（公告）號(hào): CN101685264A
• 公開（公告）日: 2010-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 豊田光紀(jì)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G02B27/28;G02B27/44
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽 寧;張華輝

1.一種光學(xué)照明裝置，適用于將配置在被照射面的掩膜的圖案轉(zhuǎn)寫到感光性基板的曝光裝置中，所述光學(xué)照明裝置基于來自光源的光束而對(duì)所述被照射面進(jìn)行照明，所述光學(xué)照明裝置的特征在于包括：?

光學(xué)元件，利用有旋光性的結(jié)晶光學(xué)材料而形成；?

其中，所述光學(xué)元件的光學(xué)結(jié)晶軸配置成與所述照明光學(xué)裝置的光軸方向一致；?

所述光學(xué)元件具有：在沿著光的透過方向的方向中、厚度互異的多個(gè)部分。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述多個(gè)部分沿著將所述光軸進(jìn)行橫切的面內(nèi)而進(jìn)行配置，所述多個(gè)部分在與所述光軸直交的一個(gè)平面整齊排列，各個(gè)部分的靠近所述掩膜側(cè)之面為平面狀、且靠近所述光源側(cè)之面因各部分厚度相異形成凹凸?fàn)睢?

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

沿著所述多個(gè)部分中的第1部分的光的透過方向的方向中的厚度、及沿著與所述多個(gè)部分中的第1部分不同的第2部分的光的透過方向中的厚度，設(shè)定成：?

使直線偏光射入時(shí)，從所述第1部分射出的直線偏光的偏光方向、與從所述第2部分射出的直線偏光的偏光方向?yàn)橄喈悺?

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

從所述第1部分射出的所述直線偏光的所述偏光方向、與從所述第2部分射出的直線偏光的偏光方向互相垂直。?

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

將通過所述第1部分的光束作為第1光束，且通過所述第2部分的光束作為第2光束時(shí)，所述第1光束及所述第2光束在所述光學(xué)照明裝置的照明瞳面通過相異的區(qū)域。?

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述第1部分與所述第2部分是一體地形成。?

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述光學(xué)元件的所述多個(gè)部分為：沿著光的透過方向的方向中厚度互異的多種基本元件。?

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述多種基本元件是沿著將所述光軸進(jìn)行橫切的面內(nèi)而進(jìn)行設(shè)置。?

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述多種基本元件包括：第1基本元件及第2基本元件，其中，所述第2基本元件具有與所述第1基本元件相異的厚度。?

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述光學(xué)元件的所述多個(gè)部分具備：?

第1基本元件、以及?

第2基本元件，具有與所述第1基本元件為相異的厚度；?

所述第1基本元件的厚度與所述第2基本元件的厚度設(shè)定成：?

使直線偏光射入時(shí)，從所述第1基本元件射出的直線偏光的偏光方向、與從所述第2基本元件射出的直線偏光的偏光方向?yàn)楸舜讼喈悺?

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

從所述第1基本元件射出的所述直線偏光的所述偏光方向、與從所述第2基本元件射出的所述直線偏光的所述偏光方向互相垂直。?

12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一權(quán)利要求所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

將通過所述第1基本元件的光束作為第1光束，且通過所述第2基本元件的光束作為第2光束時(shí)，所述第1光束及所述第2光束在所述光學(xué)照明裝置的照明瞳面通過相異的區(qū)域。?

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述第1光束通過所述照明瞳面的區(qū)域?yàn)榈?區(qū)域，且所述第2光束通過所述照明瞳面的區(qū)域?yàn)榈?區(qū)域，所述第1區(qū)域與所述第2區(qū)域的位置被決定在所述照明瞳面的以所定點(diǎn)為中心的輪胎狀區(qū)域的至少一部分，?

所述第1光束與所述第2光束具有：以所述輪胎狀區(qū)域的圓周方向?yàn)槠夥较虻闹本€偏光為主成份的偏光狀態(tài)。?

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光學(xué)照明裝置，其特征在于：?

所述照明瞳面上的光強(qiáng)度分布具有：與所述輪胎狀區(qū)域?yàn)橥恍螤畹耐庑巍?