[發明專利]表面粘著力測量裝置

無效

• 申請號: 200910172903.7
• 申請日: 2009-09-03
• 公開（公告）號: CN102004075A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 卓家軒;顏榮俊;曾瑞修
• 申請（專利權）人: 財團法人精密機械研究發展中心
• 主分類號: G01N19/04
• 分類號: G01N19/04
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 胡福恒

1.一種表面粘著力測量裝置，其特征在于，它包括：

一機體；

一驅動機構，是組設在該機體上；

一承載座，是組設在該機體上且連結該驅動機構；

一浮動座，是活動地組設在該承載座上；

一氣浮組件，是連結該浮動座且配置在該承載座內；以及

一測量器，是組設在該浮動座上且穿過該承載座，并隨該浮動座而位移。

2.如權利要求1所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該機體是一底座上配置若干個導柱，且各導柱穿過該承載座。

3.如權利要求1所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，驅動機構是一馬達結合一螺桿，該螺桿穿過該承載座，且該螺桿驅動該承載座位移。

4.如權利要求1所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該承載座是一滑塊結合一承載塊，該滑塊組設在該機體上，該測量器穿過該承載塊，且該浮動座靠置在該承載塊。

5.如權利要求4所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該氣浮組件組設在該承載塊內且結合該浮動座。

6.如權利要求1所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其更包括一工件載具，該工件載具組設在該機體上且位于該測量器的位移路徑上。

7.如權利要求6所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該工件載具具有一置物槽道。

8.如權利要求7所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該置物槽道具有漸縮狀的槽道斷面。

9.如權利要求6所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其更包括一平臺組設在該工件載具上，且該平臺相對位于該測量器的位移路徑上。

10.如權利要求1所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其更包括一行程偵測組件，其配置在該承載座及該浮動座之間。

11.如權利要求10所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該行程偵測組件包括一受偵測器及一傳感器，該受偵測器及該傳感器分別組設在該浮動座與該承載座上，且兩者能夠相對運動。

12.如權利要求1所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該測量器為一拉力計。

13.如權利要求1或12所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該測量器具有一探頭，該探頭是一探針穿過一定位塊。

14.如權利要求13所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該探頭的定位塊具有一凹入構造的定位槽，且該探針穿過該定位槽。

15.如權利要求13所述的表面粘著力測量裝置，其特征在于，其中，該探頭的定位塊為一平面構造的塊體，且該探針穿過該塊體。