[發(fā)明專利]激光加工方法以及激光加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910171079.3
• 申請(qǐng)日: 2001-09-13
• 公開（公告）號(hào): CN101670484A
• 公開（公告）日: 2010-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 福世文嗣;福滿憲志;內(nèi)山直己;和久田敏光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;B23K26/40;B23K26/06;B23K26/04;B23K26/073
• 代理公司: 北京尚誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

1.一種激光加工裝置，其特征在于，

是通過在加工對(duì)象物上照射激光從而沿著所述加工對(duì)象物的切割 預(yù)定線在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成作為切割起點(diǎn)的改質(zhì)區(qū)的激光加 工裝置，

所述激光加工裝置具備：

放置所述加工對(duì)象物的載置臺(tái)；

射出所述激光的激光光源；

聚光用透鏡，使從所述激光光源射出的所述激光在放置在所述載 置臺(tái)上的所述加工對(duì)象物的內(nèi)部聚光，在所述激光的聚光點(diǎn)的位置形 成所述改質(zhì)區(qū)；

對(duì)被所述加工對(duì)象物的表面反射的所述激光的反射光進(jìn)行攝影的 紅外線用的攝影元件；和

控制部，具有下述功能：基于所述攝影元件的攝影結(jié)果，移動(dòng)所 述載置臺(tái)和所述聚光用透鏡中的至少一者來進(jìn)行聚光點(diǎn)調(diào)整，以使所 述激光的聚光點(diǎn)位于所述加工對(duì)象物的表面，然后，按預(yù)定的量移動(dòng) 所述載置臺(tái)和所述聚光用透鏡中的至少一者，以使所述激光的聚光點(diǎn) 位于所述加工對(duì)象物的內(nèi)部的功能；以及，移動(dòng)所述載置臺(tái)或者沿著 所述切割預(yù)定線掃描所述激光，以使所述激光的聚光點(diǎn)沿著所述切割 預(yù)定線移動(dòng)的功能；

所述控制部以使所述聚光點(diǎn)調(diào)整時(shí)的所述激光的輸出功率低至不 會(huì)在所述加工對(duì)象物上產(chǎn)生損傷的程度的方式，調(diào)整所述激光的輸出。

2.一種激光加工方法，其特征在于，

是通過在加工對(duì)象物上照射激光從而沿著所述加工對(duì)象物的切割 預(yù)定線在所述加工對(duì)象物的內(nèi)部形成作為切割起點(diǎn)的改質(zhì)區(qū)的激光加 工方法，

所述激光加工方法包括：

根據(jù)通過紅外線用的攝影元件對(duì)被所述加工對(duì)象物的表面反射的 所述激光的反射光進(jìn)行攝影的結(jié)果，移動(dòng)所述加工對(duì)象物和所述激光 的聚光點(diǎn)中的至少一者來進(jìn)行聚光點(diǎn)調(diào)整，使所述激光的聚光點(diǎn)位于 所述加工對(duì)象物的表面，然后，按預(yù)定的量移動(dòng)所述加工對(duì)象物和所 述激光的聚光點(diǎn)中的至少一者，使所述激光的聚光點(diǎn)位于所述加工對(duì) 象物的內(nèi)部的工序；和

移動(dòng)所述加工對(duì)象物或者沿著所述切割預(yù)定線掃描所述激光，使 所述激光的聚光點(diǎn)沿著所述切割預(yù)定線移動(dòng)的工序；

所述聚光點(diǎn)調(diào)整時(shí)的所述激光的輸出功率低至不會(huì)在所述加工對(duì) 象物上產(chǎn)生損傷的程度。

3.一種激光加工裝置，其特征在于，

是在加工對(duì)象物的內(nèi)部形成作為切割起點(diǎn)的改質(zhì)區(qū)的激光加工裝 置，

所述激光加工裝置具備：

放置所述加工對(duì)象物的載置臺(tái)；

射出激光的激光光源；

對(duì)加工對(duì)象物進(jìn)行照明的發(fā)生可見光的觀察用光源；

聚光用透鏡，使從所述觀察用光源射出的可見光透過并對(duì)放置在 所述載置臺(tái)上的所述加工對(duì)象物的表面進(jìn)行照明，并且使所述激光在 放置在所述載置臺(tái)上的所述加工對(duì)象物的內(nèi)部聚光以在所述激光的聚 光點(diǎn)的位置形成所述改質(zhì)區(qū)；

攝影裝置，對(duì)被照明在所述加工對(duì)象物的表面上的從所述觀察用 光源射出的可見光的反射光進(jìn)行攝影，獲得攝影數(shù)據(jù)；

控制部，具有下述功能：基于所述攝影數(shù)據(jù)，以使從所述觀察用 光源射出的可見光在所述加工對(duì)象物的表面上聚焦的方式，移動(dòng)所述 載置臺(tái)或所述聚光用透鏡來進(jìn)行激光的聚光點(diǎn)調(diào)整，然后，以所述加 工對(duì)象物的表面作為基準(zhǔn)，按預(yù)定的量沿所述加工對(duì)象物的厚度方向 移動(dòng)所述載置臺(tái)和所述聚光用透鏡中的至少一者，使所述激光的聚光 點(diǎn)位于所述加工對(duì)象物的內(nèi)部，沿與所述加工對(duì)象物的厚度方向正交 的方向移動(dòng)所述載置臺(tái)或者沿著所述切割預(yù)定線掃描所述激光，使所 述激光的聚光點(diǎn)沿著所述加工對(duì)象物的切割預(yù)定線移動(dòng)。