[發明專利]分離液氣混合物的分離器及包含該分離器的基板處理設備

無效

• 申請號: 200910170848.8
• 申請日: 2009-09-09
• 公開（公告）號: CN101670215A
• 公開（公告）日: 2010-03-17
• 發明（設計）人: 金正善
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: B01D46/10
• 分類號: B01D46/10;H01L21/00
• 代理公司: 上海金盛協力知識產權代理有限公司
• 代理人: 段迎春

1.一種從液氣混合物中分離液體成分的分離器，包括：

分離箱，包括設置在其頂部的進口，所述液氣混合物通過所述進口被提供到所述分離箱中；

在所述分離箱中位于所述進口之下的過濾單元，所述過濾單元從所述液氣混合物中過濾所述液體成分；

處于所述分離箱底部的排氣部件，其形成為這樣的構造，即所述排氣部件的封閉端部面向所述過濾單元，并且至少一個排氣口設置在所述排氣部件的側壁上，所述液氣混合物的氣體成分通過所述排氣口排出到所述分離箱外；以及

位于所述分離箱底部的排液部件，所述液氣混合物的液體成分通過所述排液部件排出到所述分離箱外。

2.如權利要求1所述的分離器，其中所述排氣口位置高于所述分離箱底部的表面。

3.如權利要求1所述的分離器，其中所述過濾單元包括第一多孔板和第二多孔板，穿過所述第一多孔板設置有多個具有第一直徑的第一孔，所述第二多孔板上設置多個具有比所述第一直徑小的第二直徑的第二孔，所述第二多孔板位于所述第一多孔板之下，形成為這樣的構造，即所述分離箱的內部空間被分割成小的子空間。

4.如權利要求3所述的分離器，其中所述第一孔的總面積與所述進口的截面積之比的范圍為約1.1至約1.5；并且所述第二孔的總面積與所述進口的截面積之比的范圍為約1.0至約1.2。

5.如權利要求3所述的分離器，其中所述第一孔的第一直徑為所述進口的直徑的約0.1至約0.3倍；并且所述第二孔的第二直徑為所述第一孔的第一直徑的約0.7至約0.9倍。

6.如權利要求3所述的分離器，其中所述過濾單元包括至少一個放置于所述第一多孔板和第二多孔板之間的過濾片，所述過濾片具有細纖維絲。

7.如權利要求6所述的分離器，其中所述分離箱還包括在其側壁的開口，封閉所述開口的蓋，以及用以密封所述開口周圍的、所述蓋與所述分離箱之間間隙的密封部件，所述第一多孔板和第二多孔板以及放置在所述第一多孔板和第二多孔板之間的過濾片通過所述開口安裝到所述分離箱中或從所述分離箱中取出。

8.如權利要求7所述的分離器，其中所述分離箱還包括從開口沿所述分離箱的內側壁延伸的第一導引槽和第二導引槽，所述第一多孔板和第二多孔板分別插入到所述第一導引槽和第二導引槽中并被導引到所述分離箱中。

9.如權利要求8所述的分離器，其中所述第一導引槽的寬度大于所述第一多孔板的厚度約1mm至約3mm；并且所述第二導引槽的寬度大于所述第二多孔板的厚度約1mm至約3mm。

10.如權利要求1所述的分離器，其中所述分離箱還包括在其底部的凹槽部，并且所述排液部件連接于所述分離箱的凹槽部。

11.如權利要求1所述的分離器，其中所述分離箱底部從其中央部向周邊部傾斜，并且所述排液部件連接于所述分離箱底部的所述周邊部。

12.如權利要求1所述的分離器，其中所述排氣部件為圓柱形，并且多個所述排氣口設置在所述封閉端部周圍的所述圓柱形排氣部件的圓周面上并隔開相同的間隔距離，所述間隔距離為所述圓柱形排氣部件的圓周長度的約0.07至約0.1倍。