[發明專利]一種真空碰撞法回收微粒的裝置有效
| 申請號： | 200910170060.7 | 申請日： | 2009-09-02 |
| 公開（公告）號： | CN101655422A | 公開（公告）日： | 2010-02-24 |
| 發明（設計）人： | 王同興;李井懷;張燕;趙永剛;常志遠;李少偉;王凡;李力力;沈彥 | 申請（專利權）人： | 中國原子能科學研究院 |
| 主分類號： | G01N1/14 | 分類號： | G01N1/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 102413*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 碰撞 回收 微粒 裝置 | ||
1.一種真空碰撞法回收微粒的裝置，包括真空泵(6)、轉子流量計(4)、真空表(3)、微粒回收室(2)，微粒回收室(2)、真空表(3)、轉子流量計(4)、真空泵(6)之間通過軟管依次連接，其特征在于，所述的微粒回收室(2)為圓筒(10)兩端分別與載體平臺(7)、上蓋(11)連接，載體(8)安裝在載體平臺(7)內部，通過加固蓋(9)將載體(8)固定，載體平臺(7)為錐形，下部設置進氣口，周向均勻的開有氣體通道(13)，通過氣體通道(13)與圓筒(10)內部相通。
2.根據權利要求2所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，所述的載體平臺(7)下部的進氣口底部接觸擦拭布的部分為水平表面。
3.根據權利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，所述的氣體通道(13)為在載體平臺(7)周向均勻設置三個氣體通道(13)。
4.根據權利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，所述的載體(8)上覆蓋一層導電膠(5)。
5.根據權利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，所述的圓筒(10)與載體平臺(7)通過螺紋連接，中間設有密封墊圈(12)。
6.根據權利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，所述的圓筒(10)與上蓋(11)通過螺紋連接，中間設有密封墊圈(12)。
7.根據權利要求1至6中任一項所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，圓筒(10)材料為有機玻璃，上蓋(11)為聚四氟乙烯材質。
8.根據權利要求1至6中任一項所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，載體平臺(7)為聚四氟乙烯材質。
9.根據權利要求1至6中任一項所述的真空碰撞法回收微粒的裝置，其特征在于，載體(8)為碳片或硅片。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國原子能科學研究院，未經中國原子能科學研究院許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200910170060.7/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
