[發明專利]平板顯示裝置及其制造方法

無效

• 申請號: 200910168709.1
• 申請日: 2009-09-03
• 公開（公告）號: CN101673654A
• 公開（公告）日: 2010-03-17
• 發明（設計）人: 三井田淳
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01J31/12
• 分類號: H01J31/12;H01J29/08;H01J9/00;H01J9/20;H01J9/14
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 劉 倜

技術領域

本發明涉及一種平板顯示裝置及其制造方法。

背景技術

場發射顯示裝置是一種用于顯示多種圖像的裝置，其中將電壓施加到在陽極板和陰極板之間形成的高真空區域，并且自電子發射器件區域發射的電子輻射到熒光體(phosphor)區域，以便于使熒光體能夠發射光。因此，在場發射顯示裝置中，重要的是使陽極板和陰極板之間的耐電壓特性穩定。

場發射顯示裝置中存在的異物是使場發射顯示裝置的耐電壓特性極大劣化的原因之一。對于從外部進入的異物，在根據其中可以盡可能低地減少異物的進入的制造方法和/或制造環境執行用于制造場發射顯示設備的工藝時，可以采取適當的對策。

然而，在用于制造場發射顯示裝置的工藝中，在某些情況中在鋁制成的陽極上可能生成須狀物(whiskers)或丘狀物(hillocks)，其是一種類型的突起。順便提及，針形突起被稱為須狀物，并且團塊突起被稱為丘狀物。此外，當在實際操作過程中將電壓施加到場發射顯示裝置時，在某些情況中上述突起可能導致放電。此外，由于在實際操作過程中施加到場發射顯示裝置的電壓生成的電場引起的靜電力，突起被剝離形成異物，由此使場發射顯示裝置的耐電壓特性極大劣化。

已經確信，在用于制造場發射顯示裝置的工藝的熱處理步驟中，這些須狀物和丘狀物是由于由鋁制成的陽極和其底層之間的熱膨脹的差異引起的壓應力而形成的。

作為減少陽極上的須狀物和丘狀物的生成的技術，例如，在日本專利公開No.2003-31150中已公開了一種技術，其中通過使用氧化物膜或氮化物膜覆蓋陽極減小放電的生成。然而，未描述引起放電的須狀物和丘狀物的生成。

此外，在日本專利公開No.2007-128701中，已公開了一種技術，其中將鋁和鋁合金至少之一用于陽極，并且其中陽極的外圍部分的平均厚度被設定為小于其中心部分的平均厚度。結果，盡管減少了須狀物和丘狀物的生成，但是制造方法變得復雜，并且因此需要一種簡單的制造方法。

發明內容

本發明提供了一種平板顯示裝置，其具有可以減少陽極上的須狀物和丘狀物的生成并且可以減少耐電壓特性的劣化和放電生成的結構，相比于通過現有技術形成的結構，該結構的配置是簡單的。

根據本發明的一個方面，提供了一種平板顯示裝置，其包括：陰極板，該陰極板具有其上設置多個電子發射區域的表面；和陽極板，該陽極板具有其上設置多個熒光體區域的表面，其中其上設置電子發射區域的表面和其上設置熒光體區域的表面被設置為相互面對，在它們之間設有距離。在上述平板顯示裝置中，熒光體區域每一均覆蓋有陽極，并且陽極具有包括鋁層(第一層)、氧化鋁層(第二層)和鋁層(第三層)的三層層疊結構，這三個層從熒光體區域側開始按照上述順序層疊。

此外，陽極具有范圍為70～300nm的厚度。

此外，根據本發明的另一方面的用于制造平板顯示裝置的方法是用于制造上述平板顯示裝置的方法，并且該方法包括如下步驟(a)～(f)：(a)使用樹脂層覆蓋設置在陽極板基板的一個表面上的熒光體區域；(b)在樹脂層上形成鋁層(第一層)，(c)在鋁層(第一層)上形成氧化鋁層(第二層)；(d)在氧化鋁層(第二層)上形成鋁層(第三層)；(e)通過烘焙移除樹脂層以獲得陽極板；和(f)將在步驟(e)中獲得的陽極板的其上設置熒光體區域的表面和陰極板的其上設置電子發射區域的表面設置為相互面對，由此獲得平板顯示裝置。

此外，在上述制造方法中，在步驟(c)中，可以通過使鋁層(第一層)暴露于空氣形成氧化鋁層(第二層)。

此外，在步驟(b)和(d)至少之一中，可以通過真空淀積方法形成鋁層(第一和第三層至少之一)。

根據本發明，可以減少在陽極處引起放電的須狀物和丘狀物的生成，并且難以通過實際操作過程中施加電壓發生放電。此外，平板顯示裝置可被提供為具有卓越的耐電壓特性、穩定的操作特性、高可靠性和長壽命。

從下面參考附圖的示例性實施例的描述中，本發明的另外的特征將是顯然的。

附圖說明

圖1是示出平板顯示裝置的透視圖。

圖2是示出陽極板的橫截面圖。

圖3是示出用于形成陽極的方法的示意圖。

具體實施方式

根據本發明的實施例的平板顯示裝置具有：陰極板，其中在支撐部件上提供多個電子發射區域；和陽極板，其中提供多個熒光體區域和陽極。陰極板和陽極板通過沿其外圍提供的支撐框相互接合以在陽極板和陰極板之間具有預定距離。