[發(fā)明專利]用于旋轉(zhuǎn)傳感器裝置的制造方法和旋轉(zhuǎn)傳感器裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910168652.5 | 申請日： | 2009-09-02 |
| 公開（公告）號： | CN101666647A | 公開（公告）日： | 2010-03-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | J·克拉森 | 申請（專利權(quán)）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | G01C19/56 | 分類號： | G01C19/56;B81C5/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 侯鳴慧 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 旋轉(zhuǎn) 傳感器 裝置 制造 方法 | ||
1.一種用于旋轉(zhuǎn)傳感器裝置(120，150)的制造方法，該旋轉(zhuǎn)傳感器 裝置具有支架、振動質(zhì)量(122，152)和至少一個彈簧(124)，振動質(zhì)量 (122，152)與支架通過所述至少一個彈簧(124)連接，其中，所述至少 一個彈簧(124)如此地設(shè)計，使得能夠借助驅(qū)動裝置將振動質(zhì)量(122， 152)置于相對于支架繞振動軸線的振動運動中，該制造方法具有以下步驟：
形成具有由半導(dǎo)體材料和/或金屬制成的第一層(108)和由半導(dǎo)體材 料和/或金屬制成的第二層(112)的層序，其中，第一層(108)的面向第 二層(112)的邊界面至少部分地被一絕緣層(110)所覆蓋(S1)；
由第一層(108)結(jié)構(gòu)化出所述至少一個彈簧(124)(S21)，所述至少 一個彈簧沿著振動軸線具有第一高度(hf)；和
由第二層(112)結(jié)構(gòu)化出振動質(zhì)量(122，152)的至少一個能夠借助 驅(qū)動裝置置于繞振動軸線的振動運動中的振動質(zhì)量亞單元(S22)，所述振 動質(zhì)量亞單元沿著振動軸線具有不同于第一高度(hf)的第二高度，
其中，所述由半導(dǎo)體層和/或金屬層結(jié)構(gòu)化出來的單個部件通過至少部 分地去除所述絕緣層(110)而彼此解耦并且由此可相對于彼此移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其中，第一層(108)構(gòu)造成具 有第一層厚(hs2)并且第二層(112)構(gòu)造成具有不同于第一層厚(hs2) 的第二層厚(hs3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造方法，其中，第一層(108)和第二層 (112)被如此地構(gòu)造，使得第二層厚(hs3)大于第一層厚(hs2)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制造方法，其中，第一層(108)和第二層 (112)被如此地構(gòu)造，使得第二層厚(hs3)比第一層厚(hs2)大至少5 倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的制造方法，具有以下附加步驟：
將至少一個第一電極(130)牢固地設(shè)置在支架上；
將至少一個第二電極(128)牢固地設(shè)置在振動質(zhì)量(122，152)上； 和
形成一個構(gòu)造為靜電式驅(qū)動裝置的驅(qū)動裝置，使得能夠在所述至少一 個第一電極(130)和所述至少一個第二電極(128)之間施加一電壓(U) 并且能夠通過施加在所述至少一個第一電極(130)和所述至少一個第二電 極(128)之間的電壓(U)將振動質(zhì)量(122，152)置于繞振動軸線的振 動運動中。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造方法，其中，由第二層(112)結(jié)構(gòu)化 出第二電極(128)的至少一個電極亞單元，在第一層(108)的至少一個 部分區(qū)域上方在絕緣層(110)中形成至少一個貫穿的空隙且用第二層(112) 的材料填充所述至少一個貫穿的空隙，并且，由第一層(108)的所述至少 一個部分區(qū)域結(jié)構(gòu)化出第二電極(128)的一個另外的電極亞單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的制造方法，其中，由第一層(108) 結(jié)構(gòu)化出振動質(zhì)量(152)的一個另外的一體的振動質(zhì)量亞單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其中，由第二層(112)結(jié)構(gòu)化 出至少一個對應(yīng)電極(162)，所述至少一個對應(yīng)電極(162)與由第一層(108) 的面向第二層(112)的邊界面結(jié)構(gòu)化出的振動質(zhì)量部分表面(154，156， 158，160)相對置，并且，形成一個傳感器裝置，該傳感器裝置設(shè)計用于 感測由所述至少一個對應(yīng)電極(162)和至少一個振動質(zhì)量部分表面(154， 156，158，160)形成的電容。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的制造方法，具有以下附加步驟：
在基底(100)上形成第一絕緣層(102)；
在第一絕緣層(102)上形成導(dǎo)電層(104)；
在導(dǎo)電層(104)上形成第二絕緣層(106)；
在第二絕緣層(106)上形成所述層序；和
由導(dǎo)電層(104)結(jié)構(gòu)化出至少一條導(dǎo)線和/或至少一個對應(yīng)電極(164)。
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G01C 測量距離、水準(zhǔn)或者方位；勘測；導(dǎo)航；陀螺儀；攝影測量學(xué)或視頻測量學(xué)
G01C19-00 陀螺儀；使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置；不帶有運動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-02 .旋轉(zhuǎn)式陀螺儀
G01C19-56 .使用振動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置，例如基于科里奧利力的振動角速度傳感器
G01C19-58 .不帶有運動部件的轉(zhuǎn)動敏感裝置
G01C19-60 ..電子磁共振或核磁共振陀螺測量儀
G01C19-64 ..利用薩格萘克效應(yīng)，即利用逆向旋轉(zhuǎn)的兩電磁束之間旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生位移的陀螺測量儀
