[發(fā)明專利]薄膜晶體管液晶顯示器用熱固性樹脂的剝離劑組合物

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910166147.7
• 申請日: 2009-08-14
• 公開（公告）號: CN101676806A
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金柄郁;尹錫壹;鄭宗鉉;許舜范;辛成健;鄭世桓;張斗瑛;樸善周;權(quán)五煥
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社東進(jìn)世美肯
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 朱 梅;師 楊

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)用熱固性樹脂的剝離劑組合物，特別涉及一種用于薄膜晶體管液晶顯示器的彩色光阻、負(fù)性(negative)及正性(positive)有機(jī)絕緣層的剝離劑組合物，其對在熱固性樹脂工序中產(chǎn)生的不良基板的介電質(zhì)層、有機(jī)保護(hù)層、絕緣層、配向薄膜、濾色器等的去除效果優(yōu)秀，并可再利用下部薄膜層。

背景技術(shù)

在存在作為有機(jī)保護(hù)層下部膜質(zhì)的無機(jī)絕緣層和金屬的工序中難免會產(chǎn)生不良基板，而使下部膜質(zhì)不受損壞地從上述不良基板上去除有機(jī)絕緣層，依目前的技術(shù)是不容易的。

現(xiàn)有工序中一般采用負(fù)性抗蝕劑，其比正性抗蝕劑去除效果差，從而需要較強(qiáng)的剝離性能。為了獲得如此強(qiáng)的剝離性能，目前提出了有機(jī)類或無機(jī)類剝離溶液，以此來獲得高pH值。例如，韓國專利公開第2005-0006980號、日本專利公開公報昭51-72503以及歐洲專利公報第0119337號中已公開了有機(jī)類剝離溶液。

然而，針對所述有機(jī)類剝離溶液而言，由于其pH值高，會導(dǎo)致下部的無機(jī)絕緣層和金屬布線嚴(yán)重?fù)p壞，而為了降低pH值，當(dāng)使用弱堿性化合物時，雖然不會使金屬布線損壞，但仍然存在無法去除有機(jī)絕緣層的問題。

并且，針對正性(positive)及負(fù)性(negative)有機(jī)絕緣層而言，可以使用現(xiàn)有技術(shù)中通常使用的、并在韓國專利公開第1998-0003889號中公開的液晶顯示器用抗蝕劑剝離溶液。然而，所述方法經(jīng)長時間處理后仍會存在殘膜，并且不易溶化，因此能夠觀察到在液體中浮動的現(xiàn)象。

如上所述，通過現(xiàn)有去除彩色光阻及聚酰亞胺、或者有機(jī)絕緣層的方法，很難穩(wěn)定地去除大量的彩色光阻及聚酰亞胺、或者有機(jī)絕緣層，并且下部膜質(zhì)會嚴(yán)重受損，從而無法再利用基板。而且，現(xiàn)有去除方法存在著生產(chǎn)效率或者收率下降的問題。

因此，急需提出一種能夠大量去除彩色光阻及聚酰亞胺、或者有機(jī)絕緣層的安全的方法。

技術(shù)內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本發(fā)明提供一種用于大量并安全地去除在薄膜晶體管液晶顯示器的制造工序中所使用的彩色光阻及聚酰亞胺、或者有機(jī)絕緣層的剝離劑組合物。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的剝離劑組合物包括：(a)0.5-15重量份的氫氧化銨或具有碳原子數(shù)為1-4個的烷基的烷基氫氧化銨化合物；(b)9-89重量份的具有碳原子數(shù)為1-4個的烷基的烷撐二醇醚(alkylene?glycol?ether)；(c)10-40重量份的甘醇化合物；(d)0.01-5重量份的防腐劑；以及(e)0.1-5重量份的水。

所述剝離劑組合物還可以包括1-50重量份的極性溶劑。

下面，詳細(xì)說明本發(fā)明。

本發(fā)明是，為了比現(xiàn)有技術(shù)更能夠再利用彩色光阻及聚酰亞胺、或者有機(jī)絕緣層，經(jīng)多次研究得出的結(jié)果。經(jīng)研究發(fā)現(xiàn)若使用特定組分的剝離劑組合物，不僅不損壞下部膜質(zhì)，而且較容易去除彩色光阻及聚酰亞胺、或者有機(jī)絕緣層，從而完成了本發(fā)明。

這種本發(fā)明的剝離劑組合物包括(a)氫氧化銨或者具有碳原子數(shù)為1-4個的烷基的烷基氫氧化銨化合物；(b)具有碳原子數(shù)為1-4個的烷基的烷撐二醇醚；(c)甘醇化合物；(d)防腐劑；以及(e)水。特別是，雖然本發(fā)明的組合物使用比現(xiàn)有技術(shù)更少的最少量的水，仍會顯示出優(yōu)秀的去除效果。

本發(fā)明的剝離劑組合物中使用的氫氧化物可使用氫氧化銨或者具有碳原子數(shù)為1-4個的烷基的烷基氫氧化銨，最好使用具有碳原子數(shù)為1-4個的烷基的烷基氫氧化銨。相對于全體組合物，所述氫氧化物的含量最好為0.5-15重量份。若其含量小于0.5重量份，則由于對組成聚酰亞胺的高分子成分的滲透能力下降，從而很難完全去除聚酰亞胺，若超過15重量份，則由于其它溶劑的成分比例下降，反而會產(chǎn)生使去除時間變長的壞影響。

所述具有碳原子數(shù)為1-4個的烷基的烷基氫氧化銨最好選自氫氧化四乙基銨(tetraethyl?ammonium?hydroxide)、氫氧化四甲基銨(tetramethyl?ammonium?hydroxide)、氫氧化四丁基銨(tetrabutylammonium?hydroxide)以及它們的混合物。