[發(fā)明專(zhuān)利]帶運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償?shù)母邏吼伻胝婵諔B(tài)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910166061.4
• 申請(qǐng)日: 2009-08-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101699929A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張小奇;馬力禎
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H05H7/02
• 分類(lèi)號(hào): H05H7/02
• 代理公司: 蘭州振華專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 62102
• 代理人: 張真

1.一種帶運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償?shù)母邏吼伻胝婵諔B(tài)裝置，包括有高壓饋入導(dǎo)電桿(22)，其特征在 于：所述的導(dǎo)電桿(22)位于真空腔體(9)內(nèi)，導(dǎo)電桿(22)一端接高壓電極(3)， 與高壓電極(3)對(duì)應(yīng)設(shè)有接地電極(2)，導(dǎo)電桿(22)另一端穿過(guò)過(guò)渡套(21) 和外絕緣陶瓷(14)接高壓輸出件(16)，過(guò)渡套(21)通過(guò)法蘭(11)安裝在真 空腔體(9)上，外絕緣陶瓷(14)一端通過(guò)壓環(huán)(20)和螺栓與過(guò)渡套(21)相連， 外絕緣陶瓷(14)另一端安裝有壓蓋(17)，外絕緣陶瓷(14)的兩端分別設(shè)有屏 蔽環(huán)(19)和屏蔽球(15)，所述的法蘭(11)上還安裝有大底板(1)、第一步進(jìn)電 機(jī)(13)和第二步進(jìn)電機(jī)(18)；所述的導(dǎo)電桿(22)由前段(22-1)、中段(22-2) 和后段(22-3)三部分組成，中段(22-2)兩端與前段(22-1)和后段(22-3)為 球絞聯(lián)結(jié)，中段(22-2)為伸縮式結(jié)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的帶運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償?shù)母邏吼伻胝婵諔B(tài)裝置，其特征在于：所述的第一 步進(jìn)電機(jī)(13)的動(dòng)力輸出軸通過(guò)第一傳動(dòng)軸(8)與安裝在大底板(1)上的第一 傳動(dòng)器(7)相連，第一傳動(dòng)器(7)與小底板(6)相連，接地電極(2)固定在小 底板(6)之上；第二步進(jìn)電機(jī)(18)的動(dòng)力輸出軸通過(guò)第二傳動(dòng)軸(25)與安裝在 大底板(1)上的第二傳動(dòng)器(24)相連，第二傳動(dòng)器(24)通過(guò)拉桿(23)與小底 板(6)相連。

3.如權(quán)利要求2所述的帶運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償?shù)母邏吼伻胝婵諔B(tài)裝置，其特征在于：所述的第一 傳動(dòng)器(7)和第二傳動(dòng)器(24)上設(shè)有分別帶動(dòng)小底板(6)和拉桿(23)移動(dòng)的 結(jié)構(gòu)，所述的第一步進(jìn)電機(jī)(13)通過(guò)第一真空動(dòng)密封(12)安裝在法蘭(11)上， 第二步進(jìn)電機(jī)(18)通過(guò)第二真空動(dòng)密封(26)安裝在法蘭(11)上。

4.如權(quán)利要求1所述的帶運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償?shù)母邏吼伻胝婵諔B(tài)裝置，其特征在于：所述的高壓 電極(3)通過(guò)內(nèi)絕緣陶瓷(4)及撐架(5)也固定在小底板(6)之上。

5.如權(quán)利要求1所述的帶運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償?shù)母邏吼伻胝婵諔B(tài)裝置，其特征在于：所述的法蘭 (11)與真空腔體(9)之間安裝有橡膠密封圈(10)。