[發明專利]準分子燈

有效

• 申請號: 200910164913.6
• 申請日: 2009-07-29
• 公開（公告）號: CN101640163A
• 公開（公告）日: 2010-02-03
• 發明（設計）人: 竹添法隆;遠藤真一;川口真孝
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01J65/00
• 分類號: H01J65/00;H01J61/30;H01J61/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 徐冰冰;黃劍鋒

技術領域

本發明涉及液晶基底的光洗凈裝置或半導體的紫外線處理裝置，并且 涉及被利用于光照射的樹脂的表面改質裝置等的準分子燈。尤其涉及在連 接將電力供應于該準分子燈的供電線的部分的燈構造上具有特征的準分子 燈。

背景技術

以往，作為被利用于液晶基板的光洗凈裝置或半導體的紫外線處理裝 置等的紫外線光源，公知有準分子燈。尤其是，在由該準分子燈所放射的 光配置真空紫外區域的氙準分子燈等的裝置中，以氮氣體置換構成配置該 準分子燈的燈罩的筐體內部，而在該筐體的光照射面側配置光透射性的玻 璃窗，以隔離被處理物側的空氣與燈罩側的空氣。通過此種構成，由該準 分子燈所放射的真空紫外光，從配置于該燈罩的玻璃窗被放射為止不會有 通過氧氣被吸收的情況，能夠有效地照射從該準分子燈所放射的真空紫外 光。作為此種技術，例如公知有日本特許2854255號公報等。

另一方面，在最近開發了一種未設置光取出窗的準分子燈裝置。作為 此種技術，例如公知有日本特開2005-193088號公報。根據該公報，記載 著排列多只方形準分子燈，將該準分子光直接照射在被照射物的情況。并 且，在該裝置中，并未設置被配置于燈罩而隔離被照射物與燈罩側的玻璃 窗。

另外，有關于搭載于該公報所記載的裝置的方形準分子燈，公知有例 如日本特開2005-322510號公報。

在此，作為以往的準分子燈，示出該日本特開2005-322510號公報所 記載的方形準分子燈的概要。圖5是表示以往的準分子燈100的概略構造 的圖。圖5-a)是表示以沿著該準分子燈100的燈管軸的一面進行剖切的概 略剖視圖。該準分子燈100是由石英玻璃等所構成的放電容器111、形成于 該放電容器111的相對的一對壁面上的電極112、電極113、配置于該準分 子燈100的端部的石英塊119、形成于該石英塊119的氣體導入孔121、以 及密封該氣體導入孔121前端部的玻璃密封部122所構成。并且，在該電 極112、113的端部114設有連接部115，而且，在該連接部115連接有導 線116。而且，在以該放電容器111所覆蓋的放電空間S1中，例如封入有 氙氣，經由該電極112、113施加有高頻高電壓。由此，被封入的氙氣形成 準分子分子，通過該準分子分子的離解產生準分子光。該準分子光從該放 電容器111的窗部118放射到該準分子燈100外部。

圖5-b)是以圖5-a)的箭頭A所剖切時的A-A剖視圖，為表示正交于燈 管軸的面的剖視圖。該放電容器111的剖面形狀是大致長方形，短邊側形 成放電間隙，而在長邊側外面形成有電極113與電極112。該電極112是例 如由網狀電極等構成的光透射性電極。

專利文獻1：日本特許2854255號

專利文獻2：日本特開2005-193088號

專利文獻3：日本特開2005-322510號

然而，如配置表示于圖5的方形準分子燈100的上述專利文獻2所記 載的裝置那樣，未設置隔離被照射物與燈罩側的玻璃窗的情形，例如使用 封入氙氣的該準分子燈100，利用從該準分子燈100所放射的真空紫外線所 生成的臭氧漂浮在該準分子燈100周邊。該臭氧氧化性極強，對形成于該 準分子燈100的外表面的電極112、電極113或連接部115等有影響。例如， 在圖5所示的方形準分子燈100中，將向該準分子燈100的供電線116通 過連接部115固定于該準分子燈100的外表面，但在此種準分子燈中，該 供電線116的連接部115會受到臭氧的影響。而且，通過從該準分子燈100 所放射的光，或放電帶來的熱影響，會產生更強的氧化，視情況會產生該 導線116脫落、或會引起燈無法點燈的問題。

發明內容

鑒于這些問題，本發明所要解決的課題是在于提供抑制接合將電力供 應給準分子燈的供電線、以及配置于該準分子燈的電極的連接部或配置于 該連接部的焊錫通過氧化等被劣化的情形，提高可靠性，壽命長的準分子 燈。