[發明專利]在聚焦離子束顯微鏡中進行快速樣品制備的方法和裝置無效
| 申請號： | 200910164658.5 | 申請日： | 2004-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN101644640A | 公開（公告）日： | 2010-02-10 |
| 發明（設計）人： | 托馬斯·穆爾 | 申請（專利權）人： | 全域探測器公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28;G01N1/36;G01N23/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 王瓊先;王永建 |
| 地址： | 美國得*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚焦 離子束 顯微鏡 進行 快速 樣品 制備 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓機，用于從TEM樣坯上切出TEM樣品架，并將連接有樣品 的探針針尖接合到該TEM樣品架上，所述壓機包括：
外模具；
位于外模具內的內模具；
與內、外模具相對的靠模桿；
與靠模桿同軸布置的剪沖頭；
將靠模桿朝內模具偏置的下壓彈簧；和
致動器，用于朝內、外模具驅動剪沖頭。
2.根據權利要求1所述的壓機，其特征在于，所述靠模桿具有齒，用 于使繞著探針針尖的TEM樣品架材料流動。
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