[發(fā)明專利]研磨液供給系統(tǒng)及化學(xué)機(jī)械研磨站的研磨液混合物供給法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910163900.7
• 申請(qǐng)日: 2009-08-14
• 公開（公告）號(hào): CN101823234A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾志江;陳勇龍;黃亮潔;黃怡文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B57/02
• 分類號(hào): B24B57/02;B24B37/04;H01L21/02;G01F19/00
• 代理公司: 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 姜燕;陳晨

1.一種研磨液供給系統(tǒng)，適用于在一半導(dǎo)體制造設(shè)備中的一化學(xué)機(jī)械研 磨，該研磨液供給系統(tǒng)包括：

一閥箱，包括數(shù)個(gè)閥件與一研磨液料排放管座，該研磨液料排放管座系 流動(dòng)性地連接于至少一化學(xué)機(jī)械研磨站；以及

一第一研磨液供給系列，包括一第一研磨液混合槽、一第一研磨液供給 槽、至少兩第一研磨液供給泵、一第一泵排放管路與一第一研磨液回流管路， 該第一研磨液混合槽用以制備稀釋該研磨液，該第一研磨液供給槽通過一第 一混合槽排放管路而流動(dòng)性地連接于一第一研磨液混合槽，所述至少兩第一 研磨液供給泵以串聯(lián)泵送關(guān)系進(jìn)行設(shè)置且經(jīng)由一第一泵吸取管路而連接于 該第一研磨液供給槽，該第一泵排放管路自所述至少兩第一研磨液供給泵而 被安排至該閥箱，該第一研磨液回流管路自該閥箱而被安排至該第一研磨液 供給槽，該第一泵排放管路與該第一研磨液回流管路定義一第一研磨液管路 回路，其中，在將該閥箱中的所述數(shù)個(gè)閥件相互連接于該第一研磨液管路回 路的方式下，該研磨液自該第一研磨液管路回路以可操作地而供應(yīng)至該至少 一化學(xué)機(jī)械研磨站，所述的研磨液供給系統(tǒng)，還包括一第二研磨液供給系列， 該第二研磨液供給系列包括一第二研磨液混合槽、一第二研磨液供給槽、至 少兩第二研磨液供給泵、一第二泵排放管路與一第二研磨液回流管路，該第 二研磨液混合槽用以制備稀釋研磨液，該第二研磨液供給槽通過一第二混合 槽排放管路而流動(dòng)性地連接于一第二研磨液混合槽，所述至少兩第二研磨液 供給泵以串聯(lián)泵送關(guān)系進(jìn)行設(shè)置且經(jīng)由一第二泵吸取管路而連接于該第二 研磨液供給槽，該第二泵排放管路自該至少兩第二研磨液供給泵而被安排至 該閥箱，該第二研磨液回流管路自該閥箱而被安排至該第二研磨液供給槽， 該第二泵排放管路與該第二研磨液回流管路定義一第二研磨液管路回路，其 中，在將該閥箱中的所述數(shù)個(gè)閥件相互連接于該第二研磨液管路回路的方式 下，該研磨液自該第二研磨液管路回路以可操作地而供應(yīng)至該至少一化學(xué)機(jī) 械研磨站。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨液供給系統(tǒng)，其中，經(jīng)設(shè)計(jì)與設(shè)置的該閥箱 中的所述數(shù)個(gè)閥件自該第一研磨液管路回路或該第二研磨液管路回路之一 而將該研磨液供應(yīng)至該至少一化學(xué)機(jī)械研磨站，或是經(jīng)設(shè)計(jì)與設(shè)置的該閥箱 中的所述數(shù)個(gè)閥件自該第一研磨液管路回路與該第二研磨液管路回路而將 該研磨液供應(yīng)至所述至少一化學(xué)機(jī)械研磨站。

3.如權(quán)利要求2所述的研磨液供給系統(tǒng)，其中，該閥箱包括一第一隔離 閥件與一第二隔離閥件，該第一隔離閥件設(shè)置于該第一研磨液管路回路與該 研磨液料排放管座之間，該第二隔離閥件設(shè)置于該第二研磨液管路回路與該 研磨液料排放管座之間，其中，在經(jīng)由對(duì)于該第一隔離閥件與該第二隔離閥 件進(jìn)行交替地開啟與關(guān)閉之下，一使用者被允許對(duì)于該至少一化學(xué)機(jī)械研磨 站進(jìn)行一研磨液來源的選擇，經(jīng)由該第一隔離閥件被開啟與該第二隔離閥件 被關(guān)閉的方式而選出該第一研磨液管路回路作為該至少一化學(xué)機(jī)械研磨站 的該研磨液來源。

4.如權(quán)利要求1所述的研磨液供給系統(tǒng)，還包括一測(cè)量槽，該測(cè)量槽經(jīng) 由流體連通于該第一研磨液混合槽且具有一使用者可調(diào)容量，選自于包括一 去離子水、一未稀釋研磨液與一化學(xué)制品的群中的一液體被收容于該測(cè)量槽 之中，其中，所述化學(xué)制品為過氧化氫。

5.如權(quán)利要求4所述的研磨液供給系統(tǒng)，還包括可轉(zhuǎn)動(dòng)的一螺紋桿件， 并且該測(cè)量槽還包括一儲(chǔ)液器與一可移動(dòng)瓶子，該可移動(dòng)瓶子設(shè)置于該測(cè)量 槽的內(nèi)側(cè)，該可移動(dòng)瓶子可于位置上進(jìn)行向上或向下調(diào)整且可經(jīng)由操作排放 一液量而改變?cè)摐y(cè)量槽的容量，該可移動(dòng)瓶子貼附于該螺紋桿件，一使用者 可經(jīng)由轉(zhuǎn)動(dòng)該螺紋桿件而調(diào)整該可移動(dòng)瓶子的位置。

6.如權(quán)利要求1所述的研磨液供給系統(tǒng)，其中，該第一研磨液混合槽包 括一第一泵-槽混合器，該第一泵-槽混合器耦接于該第一研磨液混合槽的底 部，該第一泵-槽混合器可操作方式經(jīng)由該第一混合槽排放管路而將該研磨液 自該第一研磨液混合槽泵送至該第一研磨液供給槽，并且在通過將至少部分 的該研磨液回流至該第一研磨液混合槽之下，該第一泵-槽混合器更以可操作 方式對(duì)于該第一研磨液混合槽的內(nèi)容物進(jìn)行攪動(dòng)。