[發明專利]熱處理裝置

有效

• 申請號: 200910163623.X
• 申請日: 2009-08-06
• 公開（公告）號: CN101666581A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 藤田翁堂;向井正行;中村忠義;中垣充喜
• 申請（專利權）人: 光洋熱系統株式會社
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D11/02;F26B9/06;F26B5/04;H05B3/04
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 李雪春;武玉琴

技術領域

本發明涉及一種熱處理裝置，其結構適合在減壓條件下，對例如液 晶顯示面板用的玻璃基板等平板形工件進行熱處理。

背景技術

如圖1所示，在減壓干燥裝置等熱處理裝置中，在爐體100的內部 配置作為熱源的加熱部102(例如電阻加熱器)。由于必須向加熱部102 供電，而且對爐體100要求氣密性，所以在把加熱部102設置在爐體100 內部的情況下，大多貫通爐體100設置對真空密封有效的中繼導入電源 端子104。這樣，把該中繼導入電源端子104在爐外側的端子連接在爐外 的電源部(圖中省略)上，在爐內側的端子通過連接線106連接在加熱 部102上，從而可以從爐外的電源部通過中繼導入電源端子104向爐體 100內部的加熱部102供電。

可是，在上述結構中，在向加熱部102通電并且使爐體100內部的 壓力降低的過程中產生放電，其結果，往往產生漏電。由于擔心該漏電 對人體和裝置產生惡劣影響，因此謀求防止漏電被看作是非常重要的問 題。

因此，在以往的技術中，存在一種減壓干燥裝置(例如參照日本專 利申請公開公報特開2006-170533號)，其結構是：檢測因在向加熱部 通電的情況下使爐體100的內部減壓而產生的漏電流，根據該漏電流的 量，進行對加熱部通電的接通/斷開控制。

在上述專利文獻1的技術中，不能抑制從配線部分產生漏電流本身。 因此，仍然會從配線部分產生漏電流，每次在該漏電流超過了許用值， 就停止向加熱器通電，存在使加熱處理的處理時間延長的不利情況。

此外，在爐內利用連接線的結構中，在要抑制產生漏電流本身的情 況下，必須把爐內的結構設置成增大連接線與爐體之間的絕緣距離，或 者采用被覆線。

可是，增大絕緣距離阻礙爐體的小型化，此外，在采用被覆線的情 況下，存在因被覆部的耐熱性能限制熱處理的最高溫度的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種熱處理裝置，利用簡單的結構可以保持爐 內的清潔度，并且可以防止在減壓條件下從爐內的配線部分產生漏電流。

為了達到所述目的，本發明提供一種熱處理裝置，在減壓條件下對 工件進行熱處理，其至少包括：加熱部，具有一個或多個鎧裝加熱器， 所述鎧裝加熱器具有發熱線和供電線在絕緣的狀態下填充到金屬管中的 鎧裝部；以及爐體，在內部收容所述加熱部，具有讓所述鎧裝加熱器的 所述鎧裝部能夠穿過的開口部；其特征在于，在所述鎧裝加熱器的除了 所述鎧裝部以外的部位全部配置在所述爐體外部的狀態下，所述鎧裝部 與所述開口部之間被實施了真空密封。

該發明的熱處理裝置在減壓條件下對工件進行熱處理。例舉減壓干 燥裝置作為熱處理裝置的例子。該熱處理裝置至少具有加熱部和爐體。

加熱部具有一個或多個鎧裝加熱器(sheathed?heater)，所述鎧裝加 熱器包括發熱線和供電線在絕緣的狀態下填充到金屬管中的鎧裝部 (sheath?portion)。例舉呈板狀的板式加熱器(panel?heater)作為加熱部 的例子。例舉具有真空耐壓的細管鎧裝加熱器作為鎧裝加熱器的例子。

爐體在內部收容加熱部。此外，爐體具有鎧裝加熱器的鎧裝部可以 穿過的開口部。例舉計量口作為開口部的例子。

熱處理裝置在除了鎧裝加熱器的鎧裝部以外的部位全部配置在爐體 外部的狀態下，在鎧裝部與開口部之間實施了真空密封(例如O形圈)。

在該結構中，不是把加熱部通過連接線連接在爐體的中繼導入電源 端子(例如貫通端子)上，而是通過在構成加熱部的鎧裝加熱器和爐體 之間直接真空密封，鎧裝加熱器的非絕緣部在爐體內部不露出。因此， 即使在鎧裝加熱器中通電的狀態下使爐體減壓，也不會產生放電。此外， 由于配置在爐體內部的鎧裝部使用具有耐熱性能的金屬管(例如不銹鋼 管)，所以即使爐內達到高溫也難以從鎧裝部的表面產生灰塵、或者產 生氣體，因此可以使爐體內部保持清潔的狀態。此外，由于鎧裝部使用 金屬，所以與用樹脂類覆蓋連接線的情況相比，處理溫度的上限不容易 受到制約。

在上述的結構中優選的是：鎧裝加熱器構成為供電線僅從長度方向 的一個端部露出。其原因在于，如果采用供電線僅從鎧裝加熱器的長度 方向上的一個端部露出的結構，則與使用供電線從鎧裝加熱器的長度方 向上的兩個端部露出的結構的相比，可以減少必須要真空密封的部位的 數量。