[發明專利]干型高電位測試器以及太陽模擬工具

無效

• 申請號: 200910163371.0
• 申請日: 2009-07-06
• 公開（公告）號: CN101943744A
• 公開（公告）日: 2011-01-12
• 發明（設計）人: 彼特·王;哈里·史密斯·懷特賽爾三世;丹尼·卡姆·陸;蘇杰發;邁克爾·馬里奧特;馬學洪;李曉寧;凌杰
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: G01R31/36
• 分類號: G01R31/36;G01R19/00;H01L31/18
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種用于測試光伏基板的裝置，包括：

包括多個節段的框架，所述節段的形狀被設置為與光伏基板的邊緣區域的輪廓匹配；

耦合到每個節段的致動器；

電源，其被定位為與放置在光伏基板內的電連接器接觸；和

耦合到每個節段的電傳感器。

2.如權利要求1的裝置，其中每個節段是邊緣連接器，該邊緣連接器包括面向邊緣部分、面向背面部分和作為所述面向邊緣部分的襯墊的順從性部件。

3.如權利要求1的裝置，其中每個致動器包括被定向在至少兩個正交方向上的多個線性致動器。

4.如權利要求1的裝置，其中每個節段包括導電襯墊，且所述電傳感器中的每一個都被耦合到所述節段的所述導電襯墊。

5.如權利要求1的裝置，其中所述框架覆蓋基板的邊緣區域的至少約95％。

6.如權利要求1的裝置，還包括與所述每個節段的致動器、所述電源和所述電傳感器耦合的控制器，其中所述控制器被配置成使所述多個節段在基板裝載位置和測試位置之間移動。

7.如權利要求1的裝置，其中每個節段包括與所述電傳感器之一電耦合的導電襯墊，且控制器耦合到所述每個節段的致動器并配置為使所述多個節段在基板裝載位置和測試位置之間移動，其中當所述節段處于測試位置時，每個節段的所述導電襯墊接觸基板的邊緣部分，且其中所述電傳感器是電流傳感器。

8.一種太陽模擬模塊，包括：

太陽光譜源；

面向所述太陽光譜源的基板支架；

被定位為與放置在所述基板支架上的基板電接觸的探針；和

高電位測試框架，其包括安裝在致動器上的多個接觸節段，所述致動器被配置為縮進和伸展所述接觸節段。

9.如權利要求8的太陽模擬模塊，其中所述致動器是線性致動器，該線性致動器被配置為在至少兩個正交方向上移動所述接觸節段。

10.如權利要求8的太陽模擬模塊，其中每個接觸節段包括面向邊緣部分、面向背面部分和導電襯墊。

11.如權利要求10的太陽模擬模塊，其中所述導電襯墊是具有導電表面的順從性部件，且所述導電表面被電耦合到電傳感器。

12.如權利要求8的太陽模擬模塊，還包括電源，該電源在有助于所述電源和設置在基板中的連接器之間的電接觸的位置處與基板支架耦合。

13.一種制造光伏基板的方法，包括：

在可移動的基板支架上放置光伏基板；

使用一個或多個致動器，將多個節段放置為與光伏基板的邊緣區域接觸；

通過致動所述基板支架，將放置在基板支架上的光伏基板移動到處理位置；

在設置在光伏基板中的電觸點和所述多個節段中的至少一個之間施加電壓；和

將光伏基板暴露于太陽光譜輻射。

14.如權利要求13的方法，還包括檢測流過在光伏基板內設置的電觸點的第一電流。

15.如權利要求14的方法，還包括通過將所述節段設置到遠離光伏基板的位置來斷開所述多個節段與所述邊緣區域之間的接觸，以及當將光伏基板暴露于太陽光譜輻射時，檢測流過在光伏基板內設置的電觸點的第二電流。

16.如權利要求13的方法，其中在將基板暴露于太陽光譜輻射之前，將電壓施加到基板。

17.如權利要求13的方法，其中所述多個導電節段包括第一部分和第二部分，所述第一部分在所述第二部分不接觸基板的時間期間接觸基板，而所述第二部分在所述第一部分不接觸基板的時間期間接觸基板。

18.如權利要求13的方法，還包括利用具有導電表面的順從性部件來作為每個節段的襯墊。

19.如權利要求18的方法，其中在基板正被移動到處理位置的同時，將所述電壓施加到基板。

20.如權利要求19的方法，其中致動所述多個節段的步驟包括在至少兩個正交方向上移動每個節段。

21.如權利要求13的方法，其中所述節段是導電的。

22.如權利要求13的方法，還包括：

形成光伏基板，包括：

在第一基板的第一表面上形成第一光伏結，包括：

在所述第一表面上形成p型層；

在所述p型層上形成本征型層；和

在所述本征型層上方形成n型層；

設置與所述第一光伏結的一部分進行電通信的電觸點；和

將第二基板和絕緣層結合到所述第一基板，以使得所述絕緣層和所述第一光伏結被設置在所述第一和第二基板之間。