[發明專利]疊層式壓電元件及其制造方法

有效

• 申請號: 200910161284.1
• 申請日: 2009-07-28
• 公開（公告）號: CN101969097A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 陳文志;蔡宗甫;傅煥鈞
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/047;H01L27/20;H01L41/22;H01L21/77
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種壓電單元結構，包括：

一壓電材料層，具有一上表面和一下表面；

一第一導電層和一第二導電層，分別位于該壓電材料層的該上下表面；

一第一導通孔，貫穿該壓電材料層；

一第二導通孔，貫穿該壓電材料層；

至少一絕緣部，形成于該第一、第二導電層其中之一層處，并圍繞該第一、第二導通孔其中之一，以隔絕該導通孔和所在的該導電層。

2.如權利要求1所述的壓電單元結構，其中該第一導通孔貫穿該第一導電層、該壓電材料層和該第二導電層的一側，而該第二導通孔貫穿該第一導電層、該壓電材料層和該第二導電層的另一側。

3.如權利要求2所述的壓電單元結構，其中該第一、第二導通孔分別垂直于該第一導電層、該壓電材料層和該第二導電層。

4.如權利要求2所述的壓電單元結構，包括另一絕緣部，且該兩絕緣部分別形成于該壓電材料層的該上下表面的該第一、第二導電層，且該兩絕緣部分別圍繞所在的該導電層的該第一、第二導通孔的外緣。

5.如權利要求2所述的壓電單元結構，其中該第一、第二導通孔內填充有一導電材料。

6.如權利要求5所述的壓電單元結構，還包括：一絕緣側壁，與該絕緣部連接，并位于該壓電材料層和該導電材料之間，以電性隔絕該壓電材料層和位于該導通孔內的該導電材料。

7.如權利要求5所述的壓電單元結構，包括：

一第一絕緣部，形成于該第一導電層，且圍繞于該第一導通孔的外緣，以隔絕該第一導電層和該第一導通孔內的該導電材料；和

一第二絕緣部，形成于該第二導電層，且圍繞于該第二導通孔的外緣，以隔絕該第二導電層和該第二導通孔內的該導電材料。

8.如權利要求7所述的壓電單元結構，還包括：

一第一絕緣側壁，與該第一絕緣部連接，且電性隔絕于該第一導通孔內的該導電材料和該壓電材料層之間；和

一第二絕緣側壁，與該第二絕緣部連接，且電性隔絕于該第二導通孔內的該導電材料和該壓電材料層之間。

9.如權利要求8所述的壓電單元結構，其中該第一絕緣側壁的底部與該壓電材料層的該下表面齊平，該第二絕緣側壁的底部與該壓電材料層的該上表面齊平。

10.一種多層疊層式壓電元件，包括：

多個壓電單元疊層而成，且每一壓電單元包括：

一壓電材料層，具有一上表面和一下表面；

一第一導電層和一第二導電層，分別位于該壓電材料層的該上下表面；

一第一導通孔和一第二導通孔，分別貫穿該第一導電層、該壓電材料層和該第二導電層的兩側，其中該第一、第二導通孔內填充有一導電材料；和

一第一絕緣部和一第二絕緣部，分別形成于該壓電材料層的該上下表面的該第一、第二導電層上，并位于所在的該第一、第二導通孔的外緣，以隔絕所在的該導電層和該導通孔內的該導電材料；

在該多層疊層式壓電元件中，每一壓電單元的該第一、第二絕緣部其中之一是與相鄰的另一壓電單元的該第一、第二絕緣部其中之一相互對應和接觸。

11.如權利要求10所述的多層疊層式壓電元件，其中每一壓電單元還包括：

一第一絕緣側壁，與該第一絕緣部連接，且電性隔絕于該第一導通孔內的該導電材料和該壓電材料層之間；和

一第二絕緣側壁，與該第二絕緣部連接，且電性隔絕于該第二導通孔內的該導電材料和該壓電材料層之間。

12.如權利要求10所述的多層疊層式壓電元件，其中每一壓電單元中，該第一絕緣側壁的底部與該壓電材料層的該下表面齊平，該第二絕緣側壁的底部與該壓電材料層的該上表面齊平。

13.如權利要求10所述的多層疊層式壓電元件，其中該導電材料為一導電膠體。

14.如權利要求10所述的多層疊層式壓電元件，其中該導電膠體為銀膠。

15.如權利要求10所述的多層疊層式壓電元件，其中該第一、第二絕緣部的材料包括環氧樹脂。