[發(fā)明專利]帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的頭單元的涂布機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910160946.3
• 申請日: 2009-07-31
• 公開（公告）號: CN101642745A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 南嬉禎
• 申請（專利權(quán)）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/00;B05C21/00;G02F1/1333;G02F1/1339
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 田軍鋒;魏金霞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明主要涉及一種用于將液晶或密封膠施加至基板以形成平板顯示器的涂布機(jī)，更具體而言，涉及形成密封膠圖案或滴注液晶的涂布頭單元在相對于基板移動時的構(gòu)形。?

背景技術(shù)

涂布機(jī)是通常用來在制造平板顯示器或半導(dǎo)體的工藝中，將密封膠(密封劑)或液晶施加(或滴注)到基板上的設(shè)備。將涂布機(jī)構(gòu)造成利用涂布頭單元將密封膠施加或?qū)⒁壕У巫⒌揭呀?jīng)放置在托臺上的基板上。?

下面將說明涂布機(jī)的重要組成部分。?

托臺安裝在框架上，且用于支承涂布頭單元的頭支承件安裝至框架。此處，定位在基板上方的涂布頭單元在沿X軸方向、Y軸方向或Z軸方向相對于基板移動時，將密封膠或液晶施加至基板。為此，將托臺、頭支承件和涂布頭單元構(gòu)造成以使它們沿至少一個方向相對于支承它們的結(jié)構(gòu)移動。?

隨著基板的尺寸增加，涂布機(jī)設(shè)置有多個涂布頭單元，以便在大基板上同時形成多個密封膠圖案，并由此提高生產(chǎn)率。?

此外，為了增加將要安裝的涂布頭單元的數(shù)目，可在涂布機(jī)上設(shè)置多個頭支承件。?

同樣，在將多個頭支承件安裝在托臺上方的情況下，當(dāng)由頭支承件支承的涂布頭單元移動時，可能出現(xiàn)不必要的行程。為了防止這種不必要的行程，需要更有效地布置涂布頭單元。?

發(fā)明內(nèi)容

因此，考慮到現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的上述問題已經(jīng)作出本發(fā)明，且本發(fā)?明的目的是提供一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元的涂布機(jī)，其中涂布頭單元布置在兩個頭支承件上以具有鏡像構(gòu)形，從而在涂布頭單元移動時防止出現(xiàn)不必要的行程，因此使得圖案能夠適當(dāng)形成，使得能夠更容易地控制頭單元，并增大了基板上的密封膠圖案的有效面積。?

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元的涂布機(jī)，包括一對并排放置在其上安裝有基板的托臺上方的頭支承件，每個涂布頭單元都包括：噴嘴，其用于排出密封膠；激光位移傳感器，其包括設(shè)置在噴嘴的一側(cè)上的發(fā)射部和設(shè)置在噴嘴的相對側(cè)上的接收部，從而測量噴嘴的出口與基板之間的間隙；以及位置測量相機(jī)，其設(shè)置在激光位移傳感器的第一側(cè)，并且某些涂布頭單元包括設(shè)置在激光位移傳感器的第二側(cè)的截面積傳感器，以測量施加至基板的密封膠圖案，其中在這對頭支承件中的每個上安裝有多個涂布頭單元，且將設(shè)置在這對頭支承件上的涂布頭單元布置成關(guān)于這對頭支承件之間的中心線對稱，從而使涂布頭單元處于鏡像構(gòu)形中。?

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元的涂布機(jī)，包括一對并排放置在其上安裝有基板的托臺上方的頭支承件，其中在這對頭支承件中的每個上安裝有多個涂布頭單元，并且每個涂布頭單元都包括用于排出密封膠的噴嘴；激光位移傳感器，其包括設(shè)置在噴嘴的一側(cè)上的發(fā)射部和設(shè)置在噴嘴的相對側(cè)上的接收部，從而測量噴嘴的出口和基板之間的間隙；以及布置在激光位移傳感器的第一側(cè)的位置測量傳感器，并且噴嘴、激光位移傳感器和位置測量傳感器中的至少一個以關(guān)于這對頭支承件之間的中心線對稱。?

設(shè)置在每個頭支承件上的涂布頭單元中的至少一個可包括位于激光位移傳感器的第二側(cè)的截面積傳感器，以便測量施加至基板的密封膠圖案，并且可將截面積傳感器布置成具有關(guān)于這對頭支承件之間的中心線對稱。?

涂布頭單元可以以彼此面對的方式布置在這對頭支承件上，或者可布置在這對頭支承件的外表面上。?

附圖說明

通過以下參考附圖進(jìn)行的詳細(xì)說明，將更清楚地理解本發(fā)明的上述和其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖中：?

圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的涂布機(jī)的立體圖；?

圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的涂布機(jī)所包括的涂布頭單元的立體圖；?

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的涂布機(jī)所包括的涂布頭單元的主視圖；?

圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的涂布機(jī)中，涂布頭單元以鏡像構(gòu)形的方式布置的狀態(tài)的平面圖；?

圖5是示出涂布頭單元未以鏡像構(gòu)形的方式布置的狀態(tài)的平面圖；?

圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的涂布機(jī)的立體圖；?

圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的涂布機(jī)中，涂布頭單元以鏡像構(gòu)形的方式布置的狀態(tài)的平面圖。?

具體實(shí)施方式

在下文中，將參照附圖說明根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的涂布機(jī)。?