[發(fā)明專利]工作溫區(qū)可調(diào)且熱釋電系數(shù)較大的反鐵電薄膜及其制備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910160387.6 | 申請日： | 2005-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN101670691B | 公開（公告）日： | 2013-04-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 翟繼衛(wèi) | 申請（專利權(quán)）人： | 同濟(jì)大學(xué) |
| 主分類號： | B32B9/00 | 分類號： | B32B9/00;C04B35/49;C04B35/624;G01J5/10 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務(wù)所 31219 | 代理人： | 許亦琳;余明偉 |
| 地址： | 200092 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 工作 可調(diào) 熱釋電 系數(shù) 較大 反鐵電 薄膜 及其 制備 | ||
1.一種具有可調(diào)工作溫區(qū)且在相變點(diǎn)處具有大熱釋電系數(shù)的，作為熱釋電材料的反鐵 電薄膜，包括：反鐵電薄膜Pb0.99Nb0.02(Zr0.85Sn0.13Ti0.02)0.98O3和覆蓋在反鐵電薄膜 Pb0.99Nb0.02(Zr0.85Sn0.13Ti0.02)0.98O3表面的PbO凝膠膜；該反鐵電薄膜 Pb0.99Nb0.02(Zr0.85Sn0.13Ti0.02)0.98O3采用溶膠凝膠法配制，襯底是LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si， 厚度為600-800nm，其制備方法包括如下兩個步驟：
a、前驅(qū)體溶液的制備：所采用的溶質(zhì)為醋酸鉛、乙醇鈮、醋酸錫、異丙醇鋯和異 丙醇鈦，溶劑為冰醋酸、乙二醇乙醚和去離子水，前驅(qū)體溶液的最終濃度控制 在0.2-0.4M之間；
b、膠膜的制備：采用與半導(dǎo)體工藝相兼容的旋轉(zhuǎn)涂覆方法制備凝膠膜，然后進(jìn)行 450～550℃、3～7分鐘的熱處理，重復(fù)此過程，直到獲得所需厚度的薄膜，再 在其表面上制備一層PbO凝膠膜，最后在650-700℃熱處理30～60分鐘；反 鐵電薄膜Pb0.99Nb0.02(Zr0.85Sn0.13Ti0.02)0.98O3處于反鐵電正交晶系的區(qū)域。
2.權(quán)利要求1所述的一種作為熱釋電材料的反鐵電薄膜用作紅外熱釋電探測器的熱釋 電膜。
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