[發(fā)明專利]用于加速度傳感器的誤差校正方法和誤差校正裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910160117.5
• 申請(qǐng)日: 2009-07-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101629970A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: L·貝爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號(hào): G01P21/00
• 分類號(hào): G01P21/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于加速度傳感器(1)的誤差校正方法，該加速度傳感器具有多 個(gè)電極(A、B、C、D、E、F)和一個(gè)振動(dòng)質(zhì)量塊(4)，其特征在于下面 的步驟：

施加電壓(V)，以使振動(dòng)質(zhì)量塊(4)偏移；

測(cè)量由振動(dòng)質(zhì)量塊(4)的偏移引起的第一電流(I_A1，I_A1′)；

測(cè)量由振動(dòng)質(zhì)量塊(4)的偏移引起的第二電流(I_A2，I_B1′)；以及

基于第一電流(I_A1，I_A1′)和第二電流(I_A2，I_B1′)求得校正值(K_A， K_BA)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，在第一溫度(T₁)時(shí)將該電 壓(V)施加到第一電極(C)上，當(dāng)在第二溫度(T₂)時(shí)測(cè)量第二電流(I_A2) 之前，再次將該電壓(V)施加到第一電極(C)上，測(cè)量第二電極上的第 一電流(I_A1)和第二電流(I_A2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的方法，其特征在于下面的另外的步驟：

在第三溫度(T₁)時(shí)將另一電壓(V)施加到第三電極(D)上，以使 振動(dòng)質(zhì)量塊(4)偏移；

測(cè)量第四電極(B)上的由振動(dòng)質(zhì)量塊(4)的偏移引起的第三電流(I_B1)；

在第四溫度(T₂)時(shí)將該另一電壓(V)施加到第三電極(D)上，以 使振動(dòng)質(zhì)量塊(4)偏移；

測(cè)量第四電極(B)上的由振動(dòng)質(zhì)量塊(4)的偏移引起的第四電流(I_B2)； 和

基于第三電流(I_B1)和第四電流(I_B2)求得另一校正值(K_B)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其特征在于下面的另外的步驟：

在第五溫度(T₁)時(shí)將又一電壓(V)施加到第五電極上，以使振動(dòng)質(zhì) 量塊(4)偏移；

測(cè)量第六電極(F)上的由振動(dòng)質(zhì)量塊(4)的偏移引起的第五電流(I_F1)；

在第六溫度(T₂)時(shí)將該又一電壓(V)施加到第五電極上，以使振動(dòng) 質(zhì)量塊(4)偏移；

測(cè)量第六電極(F)上的由振動(dòng)質(zhì)量塊(4)的偏移引起的第六電流(I_F2)；

基于第五電流(I_F1)和第六電流(I_F2)求得又一校正值(K_F)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于，在第一電極(C)上施加電 壓(V)，測(cè)量第二電極(A)上的第一電流(I_A1′)，測(cè)量第三電極(B)上 的第二電流(I_B1′)，該校正值(K_BA)是第一校正值，該第一校正值考慮第 二電流(I_B1′)與第一電流(I_A1′)的相關(guān)性。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的方法，其特征在于，測(cè)量第四電極(F)上的第 三電流(I_F1′)，求得第二校正值(K_FA)，該第二校正值考慮第三電流(I_F1′) 與第一電流(I_A1′)的相關(guān)性。