[發明專利]氣體靜壓導軌氣膜厚度和氣膜剛度的電容式測試方法有效
| 申請號： | 200910154558.4 | 申請日： | 2009-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN101706247A | 公開（公告）日： | 2010-05-12 |
| 發明（設計）人： | 李東升;方波;禹靜;滿楠;張雯 | 申請（專利權）人： | 中國計量學院 |
| 主分類號： | G01B7/06 | 分類號： | G01B7/06;G01N27/22 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 林懷禹 |
| 地址： | 310018 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 靜壓 導軌 厚度 和氣 剛度 電容 測試 方法 | ||
1.一種氣體靜壓導軌氣膜厚度和氣膜剛度的電容式測試方法，其特征在于該方法的步驟如下：
(1)將壓強為0.2MPa～0.8MPa的空氣經過氣體靜壓導軌氣浮單元的節流孔送入氣體靜壓導軌氣浮單元與氣體靜壓導軌工作面的接觸面，借助其靜壓使氣體靜壓導軌氣浮單元懸浮起來，氣體靜壓導軌氣浮單元與氣體靜壓導軌工作面之間形成一層氣膜，實現氣體靜壓導軌氣浮單元純空氣摩擦的直線運動；
(2)電容測量裝置的一端連接氣體靜壓導軌氣浮單元，另一端連接氣體靜壓導軌工作面，測量氣體靜壓導軌氣浮單元與氣體靜壓導軌工作面之間的電容c；通過數據處理系統計算出氣體靜壓導軌氣膜厚度和氣膜剛度；
(3)計算氣體靜壓導軌氣浮單元與氣體靜壓導軌工作面之間的氣膜厚度δ，其中ε是空氣的介電常數，s是氣體靜壓導軌氣浮單元與氣體靜壓導軌工作面相對應一側的面積；
(4)計算氣體靜壓導軌氣浮單元與氣體靜壓導軌工作面之間的氣膜剛度G，其中W為氣體靜壓導軌承載力。
2.根據權利要求1所述的一種氣體靜壓導軌氣膜厚度和氣膜剛度的電容式測試方法，其特征在于：所述的氣體靜壓導軌氣浮單元節流孔孔徑為0.1～0.4mm，氣體靜壓導軌氣浮單元的形狀為方形或圓柱形，氣體靜壓導軌氣浮單元的工作面為平面或凹面。
3.根據權利要求2所述的一種氣體靜壓導軌氣膜厚度和氣膜剛度的電容式測試方法，其特征在于：所述的氣體靜壓導軌氣浮單元工作面的凹面為凹圓錐面或單葉雙曲面。
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