[發明專利]一種基于諧振干涉復合結構和游標效應的光波導傳感器

有效

• 申請號: 200910153230.0
• 申請日: 2009-10-26
• 公開（公告）號: CN101696933A
• 公開（公告）日: 2010-04-21
• 發明（設計）人: 何建軍;金磊;李明宇
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01N21/41
• 分類號: G01N21/41
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種基于諧振干涉復合結構和游標效應的光波導傳感器，其特征在于：包含輸入波導(1)、四個分支波導(4a、5a、4b、5b)、輸出波導(2)、將光從輸入波導(1)等分到第一、第二分支波導(4a、5a)的分光器(6)、將光從第三、第四分支波導(4b、5b)合到輸出波導(2)的合光器(7)、兩側分別與第一、第三分支波導(4a、4b)相耦合的傳感諧振腔(10)、兩側分別與第二、第四分支波導(5a、5b)相耦合的參照諧振腔(20)，所述傳感諧振腔(10)與參照諧振腔(20)的光學長度不同，所述的參照諧振腔(20)的光學長度使得它的諧振頻率對應于一系列等間隔的工作頻率，所述傳感諧振腔(10)的光學長度使得當它的一個諧振頻率與參照諧振腔(20)的一個諧振頻率重合時其相鄰的諧振峰不完全重合；傳感諧振腔(10)中至少有一部分波導的上包層與被測物質接觸。

2.根據權利要求1所述的光波導傳感器，其特征在于：所述兩個諧振腔均為環形諧振腔。

3.根據權利要求2所述的光波導傳感器，其特征在于：所述四個分支波導與環形諧振腔之間的耦合分別通過各自的方向耦合器實現。

4.根據權利要求2所述的光波導傳感器，其特征在于：所述四個分支波導與環形諧振腔之間的耦合分別通過各自的多模干涉耦合器實現。

5.根據權利要求1所述的光波導傳感器，其特征在于：所述兩個諧振腔均為法布里泊羅腔。

6.根據權利要求1所述的光波導傳感器，其特征在于：所述兩個諧振腔中任意一個為環形諧振腔，另一個為法布里泊羅腔；所述環形諧振腔與波導的耦合通過方向耦合器實現，或者通過多模干涉耦合器實現。

7.一種基于諧振干涉復合結構和游標效應的光波導傳感器，其特征在于：包含輸入波導(1)、兩個分支波導(4、5)、輸出波導(2)、將光從輸入波導(1)等分到第一、第二分支波導(4、5)的分光器(6)、將光從第一、第二分支波導(4、5)合到輸出波導(2)的合光器(7)、與第一分支波導(4)相耦合的傳感環形諧振腔(10)、與第二分支波導(5)相耦合的參照環形諧振腔(20)，所述傳感環形諧振腔(10)與參照環形諧振腔(20)的光學長度不同，所述的參照環形諧振腔(20)的光學長度使得它的諧振頻率對應于一系列等間隔的工作頻率，所述傳感環形諧振腔(10)的光學長度使得當它的一個諧振頻率與參照環形諧振腔(20)的一個諧振頻率重合時其相鄰的諧振峰不完全重合；傳感環形諧振腔(10)中至少有一部分波導的上包層與被測物質接觸。

8.根據權利要求7所述的光波導傳感器，其特征在于：所述兩個分支波導與環形諧振腔之間的耦合分別通過各自的方向耦合器實現。

9.根據權利要求7所述的光波導傳感器，其特征在于：所述兩個分支波導與環形諧振腔之間的耦合分別通過各自的多模干涉耦合器實現。