[發明專利]測試裝置及其制造方法

有效

• 申請號: 200910152143.3
• 申請日: 2009-07-13
• 公開（公告）號: CN101957389A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 吳俊杰
• 申請（專利權）人: 巧橡科技有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220
• 代理人: 丁惠敏

技術領域

本發明涉及一測試裝置及其制造方法，特別是指一種半導體的測試裝置及其制造方法。

背景技術

隨著半導體技術的進步，對于測試機具精密度的要求大幅提高，在高頻測試的情況下測試訊號是借由探針進行接觸傳遞。

參閱圖1，現有的測試用探針1，例如臺灣新型專利第M333565號，是設置于一測試座100的一探針孔101中，用以電連接一測試接點300以及一收訊接點400。該測試用探針1是以導電材料制成，其包括一穿設于該探針孔21的上、下接觸件11、12，及一可壓縮形變地設置于上、下接觸件11、12間的彈性組件13。其中，上、下接觸件11、12分別具有一上接觸部111及一下接觸部121，用以分別與相對應的測試接點300及收訊接點400觸接。

在測試時，借由該上、下接觸部111、121分別與測試接點300及收訊接點400接觸而使該測試探針11產生電導通，進而將測試訊號傳遞至一分析儀器(圖未示)以進行訊號分析。

不過，隨著測試次數的增加，上、下接觸部111、121與測試接點300及收訊接點400之間長時間的相互刮磨，導致上、下接觸部111、121容易磨損或沾染污垢，進而使得測試訊號不良，嚴重者更會發生無法導通的現象，此時就必須清理或適時更換上、下接觸部111、121，但是因下接觸件12是卡設于上接觸件11中，以致無法單獨更換下接觸件12或上接觸件11，而必須更換整組測試探針1，如此一來不但增加更換探針1的復雜性而使得維修成本提高，更導致測試作業因替換測試探針1而延遲，在分秒必爭的生產在線，延長維修作業的時間，對生產業者而言是相當嚴重的情況，不符合經濟效益，還要承擔無法如期出貨的風險。

發明內容

本發明的目的，是在提供一種適用范圍廣泛，且可提高汰換探針的作業效率，并可降低汰換探針成本的測試裝置。

本發明的測試裝置，包含：一個緩沖本體，以及多數個間隔設于該緩沖本體中的探針模塊，每一探針模塊具有一支第一探針，及一支位于該第一探針相對下方的第二探針，該第一探針近上端處形成有一個抵靠部及一個延伸自該抵靠部頂緣的第一接觸部，該第二探針上端形成有一個接合部、一個形成于該接合部上且可供該第一探針伸置的插接空間，以及一個延伸自該接合部的第二接觸部。

本發明的另一目的，則在提供一種制造作業簡單快速的測試裝置的制造方法，該制造方法包含：(a)備制多數個探針模塊、二片蓋板及一個模具，該模具內間隔設有多數個可供各該探針模塊一端插置的針座，(b)將所述探針模塊插置于各該針座上，(c)于該模具中灌填至少一液態膠質材料，及(d)待該膠質材料凝固后，予以脫模，就完成一組合坯體。

本發明的功效在于制造方法作業簡單快速，且所制成的產品適用范圍廣泛，且只要卸除蓋板，就可輕易地拔除特定探針，新的探針能循原孔洞埋置定位，輕松汰舊換新，不但克服更換探針模塊的不方便性，更提高維修汰換的作業效率，并可降低汰換探針成本。

附圖說明

圖1是一局部側視剖面圖，說明一般測試探針的連接關系；

圖2是一流程圖，說明本發明測試裝置的制造方法的第一較佳實施例；

圖3是一剖視圖，說明該第一較佳實施例的多數探針設置于模具內，且完成灌填緩沖材料的態樣；

圖4是一局部側視圖，說明圖3脫模后的態樣；

圖5是一側視剖面圖，說明本發明測試裝置的第一較佳實施例的組合狀態；

圖6是一側視剖面圖，說明該第一較佳實施例的上蓋板卸除的態樣；

圖7是一側視剖面圖，說明將該第一較佳實施例中已受損的第一探針拔離該緩沖本體后，新的第一探針可循原針孔埋置定位；及

圖8是一側視剖面圖，說明本發明測試裝置的第二較佳實施例的組合狀態。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本發明進行詳細說明。在本發明被詳細描述之前，要注意的是，在以下的說明內容中，類似的組件是以相同的編號來表示。

參閱圖2、3，是本發明測試裝置的制造方法的第一較佳實施例，包括有以下步驟：