[發明專利]電子發射器件、其制造方法、電子源及圖像顯示裝置

無效

• 申請號: 200910150571.2
• 申請日: 2009-06-26
• 公開（公告）號: CN101615542A
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: 島津晃
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01J1/316
• 分類號: H01J1/316;H01J29/04;H01J31/12;H01J9/02
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 康建忠

1.一種電子發射器件，包含：

第一導電膜和第二導電膜，所述第一導電膜和所述第二導電膜被置于基板上，在其間具有間隙；

第一碳膜，所述第一碳膜具有一端和另一端，所述一端與第一導電膜連接，并且，所述另一端位于第一導電膜和第二導電膜之間的間隙中；和

第二碳膜，所述第二碳膜具有一端和另一端，所述一端與第二導電膜連接，并且，所述另一端隔著第二間隙與第一碳膜的所述另一端面對，

其中，第一碳膜和第二碳膜分別具有從第一導電膜和第二導電膜之間的部分延伸的沿Y軸的延伸部分，其中，X軸是從第一導電膜到第二導電膜的方向，而Y軸是與基板表面平行并與X軸正交的方向，以及

其中，在第一碳膜和第二碳膜之間的間隙中，所述基板表面具有在碳膜的所述延伸部分的端緣部之間延伸的凹部。

2.一種電子源，包含根據權利要求1所述的電子發射器件。

3.一種圖像顯示裝置，包含根據權利要求2所述的電子源、和通過受到從所述電子源發射的電子的照射而發光的發光部件。

4.一種權利要求1的電子發射器件的制造方法，包括：

在基板上形成其間具有間隙的第一導電膜和第二導電膜，所述基板在表面上包含氧化硅；

通過在包括含碳氣體的氣氛下在第一導電膜和第二導電膜之間施加脈沖電壓，形成與第一導電膜連接的第一碳膜和與第二導電膜連接的第二碳膜，同時，在第一碳膜和第二碳膜之間的間隙中形成凹部；以及，

通過在所述含碳氣體的分壓更高的氣氛下在第一導電膜和第二導電膜之間施加脈沖電壓，分別在第一碳膜和第二碳膜上形成延伸部分。

5.根據權利要求4所述的電子發射器件的制造方法，還包括：在第一碳膜和第二碳膜上形成所述延伸部分之后，選擇性地將基板的位于第一碳膜和第二碳膜之間的間隙中的表面暴露于包含氟化氫的溶液中。