[發明專利]一種用于汽化四氯化硅的方法

無效

• 申請號: 200910150559.1
• 申請日: 2009-06-18
• 公開（公告）號: CN101767788A
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發明（設計）人: 唐雨東;張佳偉;陳利群;遲伯成;馮學明;李鵬;滿慈皊;郭曉暉;陳文龍
• 申請（專利權）人: 江蘇中能硅業科技發展有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 孫秀武;王剛

1.一種用于汽化四氯化硅的方法，其包括：

a)使液體四氯化硅進料(1)進入第一立式容器(3)的步驟；

b)使所述液體四氯化硅進料(1)從所述第一立式容器(3)的底部經由液相連通管(5)進入第二立式容器(7)的步驟，其中所述第二立式容器(7)與所述第一立式容器(3)按照形成連通器的方式至少經由所述液相連通管(5)彼此連通，從而所述第二立式容器(7)內的液面與所述第一立式容器(3)內的液面總是保持相互持平，而且所述液相連通管(5)在所述第二立式容器(7)內的開口端的位置高于所述第二立式容器(7)的底部；和

c)通過在所述第二立式容器(7)內部設置的加熱裝置(8)加熱所述液體四氯化硅進料(1)而生成汽化的四氯化硅的步驟，其中所述加熱裝置(8)的最低端高于所述液相連通管(5)在所述第二立式容器(7)內的所述開口端的位置，

其中所述第一立式容器(3)的內部空間被所述第一立式容器(3)內的所述液面分隔為液相區和處于該液相區之上的頂空區，所述第二立式容器(7)的內部空間被所述第二立式容器(7)內的所述液面分隔為液相區和處于該液相區之上的頂空區，并且所述第一立式容器(3)的所述頂空區與所述第二立式容器(7)的所述頂空區經由氣相連通管(6)彼此連通，而所述第二立式容器(7)的所述液相區與所述第一立式容器(3)的所述液相區經由所述液相連通管(5)彼此連通，

在所述步驟c)中，所述汽化的四氯化硅經由所述氣相連通管(6)進入所述第一立式容器(3)的所述頂空區，并作為最終產品(12)從位于所述第一立式容器(3)頂部的產品出口管(11)排出，并且

在所述步驟a)中，所述液體四氯化硅進料(1)通過進料管線(2)進入所述第一立式容器(3)，并且所述進料管線(2)在所述第一立式容器(3)內的開口端位于所述第一立式容器(3)內的所述液面之下。

2.按照權利要求1的方法，其中在所述步驟c)中，所述加熱裝置(8)是電加熱管或電加熱線圈。?

3.按照權利要求1的方法，其中所述液相連通管(5)在所述第一立式容器(3)內的開口端總是處于所述第一立式容器(3)內的所述液面之下，并且所述液相連通管(5)在所述第二立式容器(7)內的開口端總是處于所述第二立式容器(7)內的所述液面之下，而所述氣相連通管(6)在所述第一立式容器(3)內的開口端總是處于所述第一立式容器(3)內的所述液面之上，并且所述氣相連通管(6)在所述第二立式容器(7)內的開口端總是處于所述第二立式容器(7)內的所述液面之上。

4.按照權利要求1或3的方法，其中在所述步驟a)中，所述液體四氯化硅進料(1)是經過預熱的液體四氯化硅。

5.按照權利要求4的方法，其中將所述液體四氯化硅進料(1)預熱至130-170℃。

6.按照權利要求1的方法，其中在所述第二立式容器(7)的底部具有排污管(9)。

7.按照權利要求1的方法，其中所述第一立式容器(3)還包括液位計(4)，以觀察所述第一立式容器(3)內的所述液面的水平液位。

8.按照權利要求1的方法，其中所述步驟a)至步驟c)均在保溫的條件下進行。

9.按照權利要求1的方法，其中所述第二立式容器(7)的底部呈現為向下凸出的形狀。

10.按照權利要求9的方法，其中所述形狀選自半球形、半橢球形、倒圓錐形和倒三角錐形中的任意一種。?