[發(fā)明專利]加壓加熱設(shè)備及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910149691.0
• 申請日: 2009-06-19
• 公開（公告）號: CN101640167A
• 公開（公告）日: 2010-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 伊倉和之
• 申請（專利權(quán)）人: 富士通株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677;H01L21/60
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王玉雙;付永莉

1.一種加壓加熱設(shè)備，包括：

基臺，其構(gòu)造為將待加壓加熱物體置于其上；

加壓加熱頭，其設(shè)置為與所述基臺相對；以及

壓力驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其構(gòu)造為相對于所述基臺可移動地支撐所述加壓加熱頭，

其中，所述加壓加熱頭包括：

多個加壓加熱工具；

保持件，其構(gòu)造為獨(dú)立地容置所述多個加壓加熱工具中的每個加壓加熱工具；

單個加熱塊，其構(gòu)造為與所述多個加壓加熱工具的端部接觸從而傳遞熱；以及

多個支撐件，其構(gòu)造為分別相對于所述保持件獨(dú)立地和可移動地支撐所述多個加壓加熱工具。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述加壓加熱工具分別可滑動地容置在貫穿所述保持件的多個容置部中，并且所述多個支撐件與所述加壓加熱工具一起分別容置在所述容置部中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述多個支撐件均為彈性材料構(gòu)件，所述彈性材料構(gòu)件設(shè)置在所述加熱塊和所述加壓加熱工具之間，并構(gòu)造為彈性地支撐所述加壓加熱工具。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述彈性材料構(gòu)件為設(shè)置在所述加熱塊和所述加壓加熱工具之間的橡膠構(gòu)件。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述彈性材料構(gòu)件為設(shè)置在所述加熱塊和所述加壓加熱工具之間的金屬卷簧。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加壓加熱設(shè)備，其中，在每個所述加壓加熱工具與所述保持件的各個所述容置部的內(nèi)壁之間供應(yīng)導(dǎo)熱油。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加壓加熱設(shè)備，其中，每個所述支撐件是密封在各個所述容置部中的液體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述基臺設(shè)有加熱器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述加壓加熱工具、所述加熱塊以及所述保持件由銅制成。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加壓加熱設(shè)備，還包括：

豎直移動機(jī)構(gòu)，其構(gòu)造為使所述基臺上下移動；以及

加壓加熱物體移動裝置，其構(gòu)造為使所述待加壓加熱物體在所述基臺上的第一位置和外部搬運(yùn)裝置上的第二位置之間移動。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述加壓加熱物體移動裝置包括：

保持臺，其構(gòu)造為保持所述待加壓加熱物體；

臂，其構(gòu)造為保持所述保持臺；以及

水平移動機(jī)構(gòu)，其構(gòu)造為使所述臂水平移動，

其中，所述豎直移動機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述第二位置的與所述第一位置相對的相對側(cè)，并且當(dāng)所述保持臺處于所述第二位置時，所述臂從所述第一位置朝向所述第二位置延伸。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述保持臺是槽形構(gòu)件，其具有：面向所述第二位置的一個敞開側(cè)；和位于所述槽形構(gòu)件的其他三側(cè)的每一側(cè)上的接合部，所述接合部與所述待加壓加熱物體接合。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的加壓加熱設(shè)備，其中，所述加壓加熱物體移動裝置還包括加壓構(gòu)件，所述加壓構(gòu)件設(shè)置在所述保持臺上方，并當(dāng)所述待加壓加熱物體置于所述基臺上時，抵靠著所述基臺對所述待加壓加熱物體加壓。

14.一種加壓加熱方法，包括：

將多個加壓加熱工具通過多個彈性材料構(gòu)件獨(dú)立地支撐在單個保持件上；以及

通過移動所述保持件使所述多個加壓加熱工具分別壓抵多個待加壓加熱物體，并通過所述多個加壓加熱工具傳遞來自所述單個加熱塊的熱量，來加熱待加壓加熱物體。

15.一種待處理物體移動設(shè)備，其構(gòu)造為使待處理物體在可豎直移動的基臺上的第一位置和外部搬運(yùn)裝置上的第二位置之間移動，且包括：

保持臺，其構(gòu)造為保持所述待處理物體；

臂，其構(gòu)造為保持所述保持臺；以及

水平移動機(jī)構(gòu)，其構(gòu)造為使所述臂水平地移動，

其中，所述豎直移動機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述第二位置的與所述第一位置相對的相對側(cè)，并且當(dāng)所述保持臺處于所述第二位置時，所述臂從所述第一位置朝向所述第二位置延伸。