[發明專利]工作臺、高速真空工作臺系統及高速真空形成方法

有效

• 申請號: 200910149662.4
• 申請日: 2009-06-10
• 公開（公告）號: CN101794067A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 萊昂內爾·弗爾伍德;格瑞格·巴克斯特;約韓·H·哈特;拉賈·D·辛格
• 申請（專利權）人: 王氏港建經銷有限公司
• 主分類號: G03B27/14
• 分類號: G03B27/14;G03B27/02;F04B37/14
• 代理公司: 珠海智專專利商標代理有限公司 44262
• 代理人: 段淑華

技術領域

本發明涉及用于曝光基板上光刻物質的系統和方法，更具體地講，涉及一種改進的用于承載基板的工作臺、高速真空工作臺系統及高速真空形成方法。?

背景技術

傳統上，印刷電路板，即PCB，在制造過程中需要感光聚合物涂層來定義電路，或者在電路印制好后需要用保護涂層對線路進行保護并防止元件裝配時電路短路。在這兩種情形下，均使用光聚合有機涂層。紫外線在PCB的制造過程中用于激活涂層物質的聚合，即，固化光聚合物質。通常的做法是，基板又稱面板置于工作臺上在紫外線曝光系統中曝光約數秒至一分鐘。板上曝光區域的物質將固化，而非曝光區域的物質不會固化。曝光區域和非曝光區域由滌綸片或玻璃片上的光刻原圖來定義，載有光刻原圖的片通常安裝于曝光機的玻璃板上。?

為了在曝光時形成正確的圖像，基板和原圖必須對齊。目前普遍采用基板和原圖的手工對齊方法，其通過目視鏡來注冊驗證。對齊后的光刻原圖和基板被打包放入手工機器的真空托盤中，然后該托盤將被抽真空，接著，整個包裹放在紫外線下曝光數秒至一分鐘。由于使用較小的真空泵和較細管徑的真空管道，抽真空以使光刻原圖和基板平整、緊密貼合需要花費較長的時間。可見，該做法延長了PCB的制造時間，從而降低了流水生產的效率。?

發明內容

本發明的主要目的之一是提供一種能夠快速形成真空的工作臺。?

為實現上述目的，本發明的工作臺包括：一個上表面，所述上表面具有一組開口；一個位于所述上表面之下的密閉風室；和一個孔閥，所述孔閥用于連接所述密閉風室和一個真空泵。?

由于使用孔閥，真空泵能夠將密閉風室內的空氣快速抽出，從而能在較短的時間內在工作臺上形成真空。故而，提高了PCB的生產效率。?

本發明的主要目的之二是提供一種高速真空工作臺系統。?

為實現該目的，本發明的高速真空工作臺系統包括：一個工作臺，所述工作臺包括：一個具有一組開口的上表面，一個位于所述上表面之下的密閉風室，及一個可置換的孔閥，所述孔閥的內徑至少為25mm，所述孔閥用于將所述密閉風室連接到大氣和一個高速真空泵；一個與所述孔閥相連的高速真空泵，其中，所述高速真空泵可通過所述孔閥以2.83至4.25立方米/分鐘速度從所述密閉風室抽氣。?

由于使用內徑至少為25mm的大孔閥，高速真空泵可通過所述大孔閥以2.83至4.25立方米/分鐘速度從所述密閉風室抽氣，能夠將密閉風室內的空氣快速抽出，從而能在較短的時間內在工作臺上形成真空。故而，提高了PCB的生產效率。?

本發明的主要目的之三是提供一種適用于本發明工作臺和高速真空工作臺系統的高速真空形成方法。該方法包括：密封工作臺所述上表面之下的一個密閉風室；將一個沿工作臺邊緣設置的密封件充氣，以密封工作臺與所述玻璃板之間的空間；向所述密閉風室提供一個高速真空，空氣從所述開口被抽出；將所述風室通過一個孔閥與大氣連通。?

該方法需要利用本發明工作臺和高速真空工作臺系統的密閉風室和連通用的孔閥，并最終在工作臺形成一個高速真空。類似地，該方法提高了PCB的生產效率。?

附圖說明

以下結合附圖對本發明進行進一步說明。?

圖1是包括本發明工作臺的高速真空工作臺系統一個實施例的透視圖；?

圖2是圖1另一個方向的透視圖；?

圖3給出了本發明工作臺的一個實施例；?

圖4給出了圖3所示工作臺的內部機械結構；?

圖5為圖3所示工作臺的俯視圖；?

圖6為圖3所示工作臺的俯視圖，其中，墊片已經降下。?

具體實施方式

以下描述用于使本領域技術人員再現和利用本發明，并利用本發明人所述的最佳實施例來實施本發明。本發明有各式各樣的、對于本領域技術人員來說很明顯的變形。任何這些變形、等同替換及代替均在本發明的發明思想和范圍之內。?