[發明專利]薄膜型太陽能電池及其制造方法

有效

• 申請號: 200910147805.8
• 申請日: 2009-06-12
• 公開（公告）號: CN101604713A
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發明（設計）人: 金宰湖;黃喆周
• 申請（專利權）人: 周星工程股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/05
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司
• 代理人: 陳英俊

1.一種薄膜型太陽能電池的制造方法，包括：

在襯底上順序地沉積前電極層和半導體層；

通過利用激光劃線除去所述前電極層和所述半導體層的預定部分，形成 第一分隔槽；

通過利用激光劃線除去所述半導體層的預定部分，形成接觸部分和第二 分隔槽；

在形成所述第一分隔槽、所述接觸部分和所述第二分隔槽之后，在所述 第一分隔槽中形成第一絕緣層；以及

在形成所述第一絕緣層之后，形成多個后電極，所述多個后電極通過插 置于其間的各個第二分隔槽以固定間隔形成，其中，各個后電極通過所述接 觸部分與所述前電極層電連接，其中所述后電極印刷在所述第一分隔槽和所 述接觸部分上，但不印刷在所述第二分隔槽上，

其中，在形成所述第一分隔槽、所述接觸部分和所述第二分隔槽之后并 且在所述第一分隔槽中形成第一絕緣層之前，只進行一次清潔過程。

2.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

形成所述后電極前，在所述第二分隔槽中形成第二絕緣層。

3.如權利要求2所述的方法，其中，所述第一和第二絕緣層同時形成。

4.如權利要求2所述的方法，其中，在所述半導體層的預定部分和所述 第二分隔槽的整個內部形成所述第二絕緣層。

5.如權利要求2所述的方法，其中，所述多個后電極利用印刷法通過插 置于其間的各個第二分隔槽以固定間隔形成。

6.如權利要求1所述的方法，其中，通過利用激光劃片方法，所述第一 分隔槽、所述接觸部分和所述第二分隔槽以固定間隔同時形成。

7.如權利要求1所述的方法，進一步包括：

在所述半導體層和所述后電極之間形成透明導電層，其中，所述透明導 電層在圖案樣式上與所述半導體層相同。

8.一種薄膜型太陽能電池，包括：

多個前電極，通過插置于其間的各個第一分隔槽以固定間隔形成在襯底 上；

半導體層，形成在所述前電極上，并且設有接觸部分和第二分隔槽；

形成在所述第一分隔槽中的第一絕緣層，其中在形成所述第一分隔槽、 所述接觸部分和所述第二分隔槽之后，形成所述第一絕緣層；以及

多個后電極，通過插置于其間的各個第二分隔槽以固定間隔形成，并且 通過所述接觸部分與所述前電極電連接，其中在形成所述第一絕緣層之后， 形成所述后電極，并且

其中所述后電極印刷在所述第一分隔槽和所述接觸部分上，但不印刷在 所述第二分隔槽上。

9.如權利要求8所述的薄膜型太陽能電池，進一步包括形成在所述第二 分隔槽中的第二絕緣層。

10.如權利要求9所述的薄膜型太陽能電池，其中，所述第二絕緣層形 成在所述半導體層的預定部分上和所述第二分隔槽的整個內部。

11.如權利要求10所述的薄膜型太陽能電池，其中，所述后電極通過插 置于其間的各個第二絕緣層以固定間隔形成。

12.如權利要求8所述的薄膜型太陽能電池，其中，所述半導體層包括 設有所述第一絕緣層的所述第一分隔槽。

13.如權利要求8所述的薄膜型太陽能電池，其中，所述第一分隔槽、 所述接觸部分和所述第二分隔槽以固定間隔形成。

14.如權利要求8所述的薄膜型太陽能電池，進一步包括：形成在所述 半導體層和所述后電極之間的透明導電層，其中，所述透明導電層在圖案樣 式上與所述半導體層相同。