[發(fā)明專利]用于制作薄膜太陽電池金屬電極層的沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910146403.6
• 申請日: 2009-06-01
• 公開（公告）號: CN101572280A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬曉光;王鑫杰
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫尚德太陽能電力有限公司;尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/00;C23C14/34
• 代理公司: 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃 威;張 彬

1.一種用于制作薄膜太陽電池金屬電極層的沉積裝置，包括一個腔體和在所述腔體內(nèi)的用于制作所述金屬電極層的沉積區(qū)域，其特征在于，還包括：

第一傳感器，設(shè)置于所述沉積裝置的入口處，用于檢測是否有基片進入所述沉積裝置的腔體中，并當(dāng)檢測到有基片進入所述沉積裝置的腔體中時，發(fā)送第一電信號；

第二傳感器，設(shè)置于所述沉積裝置的出口處，用于檢測是否有基片從所述沉積裝置的腔體中離開，并當(dāng)檢測到有基片從所述沉積裝置的腔體中離開時，發(fā)送第二電信號；

控制單元，用于接收所述第一電信號及所述第二電信號，并在接收到所述第一電信號后將所述沉積裝置的電壓從空閑狀態(tài)電壓切換為工作狀態(tài)電壓，以在所述基片表面形成金屬電極層；以及在接收到所述第二電信號且在預(yù)定時間內(nèi)未接收到所述第一電信號時，將所述沉積裝置的電壓從工作狀態(tài)電壓切換為空閑狀態(tài)電壓；其中所述空閑狀態(tài)電壓為僅適于使所述沉積區(qū)域的氣體保持離子狀態(tài)以及使靶材表面保持清潔的電壓，所述靶材用于提供用于制造所述金屬電極層的金屬原子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述第一傳感器設(shè)置于所述沉積裝置的入口處的位置是可調(diào)的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述第二傳感器設(shè)置于所述沉積裝置的出口處的位置是可調(diào)的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積裝置，其特征在于，所述第一傳感器和第二傳感器為光電傳感器。

5.一種用于制作薄膜太陽電池金屬電極層的沉積裝置，包括一個腔體和在所述腔體內(nèi)的用于制作所述金屬電極層的沉積區(qū)域，其特征在于，還包括：

第一傳感器，設(shè)置于所述沉積裝置的入口處，用于檢測是否有基片進入所述沉積裝置的腔體中，并當(dāng)檢測到有基片進入所述沉積裝置的腔體中時，發(fā)送第一電信號；

第二傳感器，設(shè)置于所述沉積裝置的出口處，用于檢測是否有基片從所述沉積裝置的腔體中離開，并當(dāng)檢測到有基片從所述沉積裝置的腔體中離開時，發(fā)送第二電信號；

延時單元，用于接收所述第二傳感器發(fā)送的所述第二電信號，并在延遲預(yù)定時間之后發(fā)送經(jīng)過延時的第二電信號；

控制單元，用于接收所述第一傳感器發(fā)送的所述第一電信號及所述延時單元發(fā)送的所述經(jīng)過延時的第二電信號，并在接收到所述第一電信號后將所述沉積裝置的電壓從空閑狀態(tài)電壓切換為工作狀態(tài)電壓，以在所述基片表面形成金屬電極層；以及在接收到所述經(jīng)過延時的第二電信號且未接收到所述第一電信號時，將所述沉積裝置的電壓從工作狀態(tài)電壓切換為空閑狀態(tài)電壓；其中所述空閑狀態(tài)電壓為僅適于使所述沉積區(qū)域的氣體保持離子狀態(tài)以及使靶材表面保持清潔的電壓，所述靶材用于提供用于制造所述金屬電極層的金屬原子。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的沉積裝置，其特征在于，所述第一傳感器和第二傳感器為光電傳感器。