[發(fā)明專利]石英部件的洗凈方法和洗凈系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910145230.6
• 申請日: 2009-05-27
• 公開（公告）號: CN101591146A
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 加藤壽;岡部庸之;織戶康一;千葉貴司
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: C03C23/00
• 分類號: C03C23/00;B08B9/02;B08B9/00;B08B3/08;B08B3/04
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及除去附著在半導(dǎo)體處理用的立式熱處理裝置的選自反應(yīng)管、晶舟、保溫筒中的石英部件上的金屬污染物質(zhì)的方法和系統(tǒng)。在此，所謂半導(dǎo)體處理意味著，通過在晶片或LCD(Liquid?CrystalDisplay：液晶顯示器)那樣的FPD(Flat?Panel?Display：平板顯示器)用的玻璃基板等被處理基板上以規(guī)定圖案形成半導(dǎo)體層、絕緣層、導(dǎo)電層等，用于在該被處理基板上制造半導(dǎo)體設(shè)備或包括與半導(dǎo)體設(shè)備連接的配線、電極等構(gòu)造物而實(shí)施的各種處理。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體裝置的高集成化，裝置圖案逐漸微細(xì)化，因而對附著在半導(dǎo)體晶片上的污染物質(zhì)量的許可范圍也越來越嚴(yán)格。因此，為除去附著在石英部件上的污染物質(zhì)，例如金屬物污染物質(zhì)，在使用半導(dǎo)體處理用的立式熱處理裝置之前，對由石英構(gòu)成的反應(yīng)管、晶舟、保溫筒等石英部件進(jìn)行石英部件的洗凈。

為了洗凈石英部件，例如在使用用純水(DIW)稀釋氫氟酸(HF)得到的稀氫氟酸(DHF)進(jìn)行洗凈之后，進(jìn)行用純水洗凈的HDF洗凈。并且，在日本特開2006-188419號公報中，提出了一種石英玻璃夾具或部件的洗凈方法，該洗凈方法在酸洗凈后，在30～70℃的純水中進(jìn)行超聲波洗凈，除去金屬污染物質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠更可靠地除去附著在選自半導(dǎo)體處理用的立式熱處理裝置的反應(yīng)管、晶舟、保溫筒中的石英部件上的金屬污染物質(zhì)的方法和系統(tǒng)。

本發(fā)明的第一方面提供一種除去金屬污染物質(zhì)的方法，該金屬污染物質(zhì)附著在選自半導(dǎo)體處理用的立式熱處理裝置的反應(yīng)管、晶舟、保溫筒中的石英部件上，其特征在于，包括：得到未安裝于所述立式熱處理裝置的狀態(tài)的所述石英部件的工序；接著利用稀氫氟酸對所述石英部件進(jìn)行洗凈的稀氫氟酸洗凈工序；接著利用純水對所述石英部件進(jìn)行洗凈的第一純水洗凈工序；接著利用鹽酸對所述石英部件進(jìn)行洗凈的鹽酸洗凈工序；和然后利用純水對所述石英部件進(jìn)行洗凈的第二純水洗凈工序。

本發(fā)明的第二方面提供一種除去金屬污染物質(zhì)的系統(tǒng)，該金屬污染物質(zhì)附著在選自半導(dǎo)體處理用的立式熱處理裝置的反應(yīng)管、晶舟、保溫筒中的石英部件上，其特征在于，包括：利用稀氫氟酸對所述石英部件進(jìn)行洗凈的稀氫氟酸洗凈部；利用鹽酸對所述石英部件進(jìn)行洗凈的鹽酸洗凈部；利用純水對所述石英部件進(jìn)行洗凈的純水洗凈部；和控制所述系統(tǒng)的動作的控制部。對所述控制部進(jìn)行預(yù)設(shè)定，使得實(shí)施包括下述工序的方法：在所述稀氫氟酸洗凈部中，利用稀氫氟酸對未安裝于所述立式熱處理裝置的狀態(tài)的所述石英部件進(jìn)行洗凈的稀氫氟酸洗凈工序；接著在所述純水洗凈部中，利用純水對所述石英部件進(jìn)行洗凈的第一純水洗凈工序；接著在所述鹽酸洗凈部中，利用鹽酸對所述石英部件進(jìn)行洗凈的鹽酸洗凈工序；和然后在所述純水洗凈部中，利用純水對所述石英部件進(jìn)行洗凈的第二純水洗凈工序。

本發(fā)明的其他目的和優(yōu)點(diǎn)將在以下說明中闡明、通過以下說明部分變得明顯、或可通過對本發(fā)明的實(shí)施而獲知。本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)可通過以下具體指出的手段及組合而實(shí)現(xiàn)和獲得。

附圖說明

結(jié)合在本說明書中且構(gòu)成其一部分的附圖，圖解顯示了本發(fā)明目前的優(yōu)選實(shí)施例，與以上給出的總體說明和以下給出的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明一起，用于解釋本發(fā)明的本質(zhì)。

圖1為表示本發(fā)明實(shí)施方式的用于除去附著在石英部件上的金屬污染物質(zhì)的洗凈系統(tǒng)的示意圖。

圖2為表示本發(fā)明實(shí)施方式的用于除去附著在石英部件上的金屬污染物質(zhì)的洗凈方法的順序的流程圖。

圖3為表示上述實(shí)施方式的變形例的用于除去附著在石英部件上的金屬污染物質(zhì)的洗凈方法的順序的流程圖。

圖4A、B、C、D、E為實(shí)驗(yàn)中使用的實(shí)施例PE1、PE2和比較例CE1、CE2、CE3的各處理順序的圖。

圖5為表示通過實(shí)驗(yàn)得到的實(shí)施例PE1、PE2和比較例CE1、CE2、CE3的最終工序的排出液中所含的鋁的量的圖表。

圖6為表示使用本發(fā)明實(shí)施方式的洗凈方法的作為處理對象的石英部件(反應(yīng)管、晶舟、保溫筒等)的半導(dǎo)體處理用的立式熱處理裝置(立式成膜裝置)的示意圖。

具體實(shí)施方式