[發(fā)明專利]一種基于微流控技術(shù)的二維電光開關(guān)陣列裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910145198.1
• 申請(qǐng)日: 2009-10-13
• 公開（公告）號(hào): CN101799573A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳陶;梁忠誠(chéng);徐寧;江博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京郵電大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B6/35
• 分類號(hào): G02B6/35;G02B26/02
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 葉連生

1.一種基于微流控技術(shù)的二維電光開關(guān)陣列裝置，其特征在于該裝置采用儲(chǔ)氣層(1)+波導(dǎo)層(2)+儲(chǔ)液層(3)的結(jié)構(gòu)；其中，波導(dǎo)層(2)以平板基底(7)為載體，在平板基底(7)上設(shè)有矩陣形式排列的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)(8)，波導(dǎo)交叉節(jié)點(diǎn)處設(shè)有液腔槽(9)，基底邊緣留有氣液連接通道(10)，電控光開關(guān)單元陣列(11)放置于波導(dǎo)交叉節(jié)點(diǎn)液腔槽(9)處；儲(chǔ)氣層為儲(chǔ)存氣體的密封容器(1)，容器(1)邊緣留有氣壓調(diào)節(jié)控制孔(4)，底部有氣液連接開孔(5)貫穿波導(dǎo)層與儲(chǔ)液層相通，容器上面設(shè)有與波導(dǎo)交叉節(jié)點(diǎn)一致的電極開孔(6)便于露出光開關(guān)控制單元電極(18)；儲(chǔ)液層為上端開口的儲(chǔ)存液體的容器，通過與波導(dǎo)層結(jié)合而密封，其內(nèi)儲(chǔ)存導(dǎo)電液體(12)；所述的波導(dǎo)交叉節(jié)點(diǎn)處液腔槽(9)設(shè)有光開關(guān)控制單元(13)，控制單元(13)為一端封閉另一端開口的長(zhǎng)方體狀或其他形狀微小容器，容器壁(14)使用與波導(dǎo)材料折射率相同或相近的材料制作，其內(nèi)側(cè)部分除面對(duì)入射光的一側(cè)外，全部設(shè)有透明導(dǎo)電層(15)和相應(yīng)的絕緣層(16)，與液體接觸的內(nèi)側(cè)設(shè)有疏水層(17)，微容器上開孔設(shè)有導(dǎo)電膜層(18)并使之成為密封氣室(19)，導(dǎo)電膜層(18)作為第一電極并通過儲(chǔ)氣層上端電極開孔與外部電路相連，第二電極為導(dǎo)電液體(12)；控制單元下部開口延伸入儲(chǔ)液層并與液體直接接觸，導(dǎo)電液體進(jìn)入控制單元微容器內(nèi)部，并在微容器內(nèi)表面張力和密封氣壓共同作用下保持一定的液柱高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于微流控技術(shù)的二維電光開關(guān)陣列裝置，其特征在于控制單元(13)內(nèi)導(dǎo)電液體的上部還設(shè)有一層厚度與波導(dǎo)層相近的、與導(dǎo)電液體互不相溶的匹配液(20)。