[發(fā)明專利]化學機械平坦化后用的酸性清潔組成物無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910143674.6 | 申請日： | 2009-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN101899367A | 公開（公告）日： | 2010-12-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 蔡文財;張松源;陸明輝;申博元 | 申請（專利權）人： | 盟智科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C11D7/32 | 分類號： | C11D7/32;C11D7/26;C11D1/22;C11D1/12;C11D3/30;C11D3/22 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 劉芳 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 平坦 化后用 酸性 清潔 組成 | ||
1.一種化學機械平坦化后用的酸性清潔組成物，其特征在于，包括：至少一種多胺多羧酸及/或其鹽類；至少一種羥基羧酸及/或其鹽類；以及其余者實質上為水；且該酸性清潔組成物的pH值介于1～5之間。
2.如權利要求1所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述酸性清潔組成物還包括至少一種界面活性劑。
3.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述多胺多羧酸為選自于由單胺多羧酸、二胺多羧酸及三胺多羧酸所組成的群組。
4.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述多胺多羧酸為三胺五羧酸。
5.如權利要求4所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述三胺五羧酸為選自于由乙三胺五乙酸、二乙三胺五乙酸以及三乙三胺五乙酸所組成的群組。
6.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述多胺多羧酸的鹽類為堿金屬鹽、堿土金屬鹽、或銨鹽。
7.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述多胺多羧酸或其鹽類的含量相對于該酸性清潔組成物的總重為介于0.001％至10％之間。
8.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述羥基羧酸為選自于由蘋果酸、酒石酸、乳酸及檸檬酸所組成的群組。
9.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述羥基羧酸的鹽類為堿金屬鹽、堿土金屬鹽、或銨鹽。
10.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述羥基羧酸或其鹽類的含量相對于該酸性清潔組成物的總重為介于0.05％至20％之間。
11.如權利要求2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述界面活性劑為陰離子界面活性劑及非離子界面活性劑。
12.如權利要求2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述界面活性劑為選自于由烷基磺酸、烷基苯磺酸、烷基硫酸、磺基琥珀酸酯、牛磺酸、壬酚四聚氧乙烯醚硫酸、乙氧基化脂肪醇及其鹽類所組成的群組。
13.如權利要求2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述界面活性劑的含量相對于該酸性清潔組成物的總重為介于0.001％至10％之間。
14.如權利要求1或2所述的酸性清潔組成物，其特征在于，所述酸性清潔組成物還包括氫氧化四甲基銨、氫氧化胺、氫氧化四丁基銨、氫氧化四乙基銨、氫氧化苯甲基三甲基胺、氫氧化二甲基二乙基銨、氫氧化四丙基銨、磷氮環(huán)化合物、或胺類。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于盟智科技股份有限公司，未經盟智科技股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200910143674.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種可調節(jié)種植架
- 下一篇：便捷屏風
