[發(fā)明專(zhuān)利]氣刀裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910143060.8
• 申請(qǐng)日: 2009-05-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101639316A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸鎬胤;李承俊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): F26B21/12
• 分類(lèi)號(hào): F26B21/12
• 代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃 威;張 彬

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種氣刀裝置，尤其是涉及一種可在平板顯示元件用基板的干燥工序中應(yīng)用的，特別是以雙重噴射方式噴射干燥用空氣并可以容易地對(duì)所述基板進(jìn)行干燥的氣刀裝置。?

背景技術(shù)

清洗平板顯示元件用基板的工序主要以向基板表面噴射(供給)清洗液(例如，去離子水)的方式來(lái)進(jìn)行，所述工序在具備如流體噴射用噴嘴的清洗單元的清洗裝置內(nèi)進(jìn)行，且所述清洗裝置為腔室形狀。?

這樣，用所述清洗裝置對(duì)基板進(jìn)行清洗時(shí)，重要的是在去除基板上的殘留清洗液的同時(shí)要對(duì)基板進(jìn)行干燥處理。例如在清洗工序后，如果基板上存在殘留清洗液，其表面會(huì)產(chǎn)生水斑(water?spot)，這有可能成為清洗質(zhì)量降低的因素。?

因此，在進(jìn)行基板清洗工序的同時(shí)需要進(jìn)行干燥工序，這種干燥工序大部分都是通過(guò)氣刀噴射干燥用空氣，從而吹去基板上的殘留清洗液來(lái)進(jìn)行的，這種方式是所屬技術(shù)領(lǐng)域中已被廣泛知曉的技術(shù)。?

這種在基板干燥工序中使用的氣刀已在2003年申請(qǐng)了韓國(guó)專(zhuān)利，并于2004年12月31日公開(kāi)，其公開(kāi)號(hào)為第10-2004-0110783號(hào)。?

在所述公開(kāi)號(hào)為第10-2004-0110783號(hào)的專(zhuān)利中，氣刀的主體內(nèi)側(cè)具有多角度噴嘴，所述多角度噴嘴上設(shè)置有多個(gè)空氣噴射口，所述多角度噴嘴設(shè)置為雙重(dual)噴射結(jié)構(gòu)，其由在所述主體的下面前后相隔配置的前噴射口和后噴射口組成。?

即，在所述公開(kāi)號(hào)為第10-2004-0110783號(hào)的韓國(guó)專(zhuān)利中，對(duì)基板進(jìn)行干燥工序時(shí)，可通過(guò)所述前噴射口和后噴射口以不同的噴射角度向基板噴射空氣，因此可在加大基板的清洗距離的狀態(tài)下進(jìn)行干燥工序。?

然而，上述公開(kāi)專(zhuān)利涉及的氣刀裝置在進(jìn)行基板的干燥工序時(shí)會(huì)產(chǎn)生以下問(wèn)題。?

即，所述氣刀主體在噴射空氣時(shí)，無(wú)法適當(dāng)?shù)卣{(diào)整及設(shè)定所述多角度噴嘴的前噴射口和后噴射口的空氣噴射量(噴射比例)。?

上述結(jié)構(gòu)由于無(wú)法提供符合基板尺寸、形狀或者作業(yè)條件的空氣噴射環(huán)境，所以很難獲得滿(mǎn)意的作業(yè)兼容性及設(shè)備效率。?

例如，在基板表面上粘附有許多清洗液的情況下，在第一次通過(guò)所述前噴射口將殘留清洗液吹出時(shí)，若空氣的噴射壓力較大，則清洗液就會(huì)被噴射壓力不規(guī)則地濺出。?

特別是，在上述干燥工序中，若發(fā)生殘留清洗液在基板上不規(guī)則濺出的現(xiàn)象，則由于清洗液被濺到基板的其他部分而不僅會(huì)降低干燥效率，而且會(huì)引發(fā)二次污染。?

上述問(wèn)題是由于沒(méi)有具備可控制裝置，無(wú)法根據(jù)基板的尺寸或者工作條件對(duì)所述前噴射口和后噴射口的噴射環(huán)境進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整及設(shè)定而導(dǎo)致的。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題而作，其目的在于提供一種氣刀裝置，該裝置在以雙重(dual)噴射方式噴射干燥用空氣的同時(shí)，對(duì)基板進(jìn)行干燥工序，尤其可調(diào)整噴射量和噴射壓力，從而能確保進(jìn)一步提高干燥效率和作業(yè)兼容性。?

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種氣刀裝置，其包括：主體，其內(nèi)部設(shè)置有空氣流入口；第一腔室，其設(shè)置在所述主體內(nèi)側(cè)，接收由所述空氣流入口供給的干燥用空氣；第二腔室，其與第一腔室之間設(shè)有所述空氣流入口，從而與第一腔室相隔配置；吐出單元，其包括用于向外部噴射所述第一腔室和第二腔室的干燥用空氣的第一吐出口和第二吐出口；以及流量控制機(jī)構(gòu)，其用于控制從所述空氣流入口供給到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空氣的供給量，所述流量控制機(jī)構(gòu)包括流量分配器和驅(qū)動(dòng)器，所述流量分配器位于所述空氣流入口內(nèi)側(cè)，并具有用于分配供給到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空氣的調(diào)整單元，所述驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)所述流量分配器，從而通過(guò)所述調(diào)整單元來(lái)調(diào)整干燥用空氣的分配量。?

如上所述，本發(fā)明可通過(guò)所述流量控制機(jī)構(gòu)控制所述吐出單元的第一吐出口及第二吐出口的噴射環(huán)境，并進(jìn)行基板的干燥工序。?

特別是，所述流量控制機(jī)構(gòu)可設(shè)置為以至少一種比例來(lái)調(diào)整及設(shè)定向所述第一腔室和第二腔室供給的干燥用空氣的供給量，例如可將所述第一吐出口和第二吐出口的噴射環(huán)境(空氣噴射量比例)簡(jiǎn)單設(shè)置為至少一種比例，從而使其符合基板的尺寸或者干燥工序的作業(yè)環(huán)境。?

由于所述流量控制機(jī)構(gòu)具備上述結(jié)構(gòu)及作用，因此與兩個(gè)噴射口的噴射比例始終恒定的現(xiàn)有雙重噴射式氣刀相比較，本發(fā)明可獲得更加優(yōu)秀的干燥效率和作業(yè)兼容性。?

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的氣刀裝置的一個(gè)實(shí)施例的優(yōu)選設(shè)置狀態(tài)示意圖。?

圖2是本發(fā)明的氣刀裝置的一個(gè)實(shí)施例的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖3是用于本發(fā)明的氣刀裝置的一個(gè)實(shí)施例的吐出單元的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。?