[發(fā)明專利]研磨狀態(tài)評估方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910143049.1
• 申請日: 2009-05-25
• 公開（公告）號: CN101898319A
• 公開（公告）日: 2010-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳崇勇
• 申請（專利權(quán)）人: 中國鋼鐵股份有限公司
• 主分類號: B24B5/37
• 分類號: B24B5/37
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 孟銳

1.一種研磨狀態(tài)評估方法，其用以評估研磨裝置研磨工件時的研磨狀態(tài)，所述研磨狀態(tài)評估方法包括以下步驟：

(a)檢索振動信號；

(b)計算所述振動信號的反頻譜，所述反頻譜具有多個反諧波；

(c)移除所述反諧波的低反頻率部分；

(d)根據(jù)振幅閾值移除所述反諧波的能量低于所述振幅閾值部分；

(e)根據(jù)設(shè)定反諧波計算數(shù)目的反諧波和所述反諧波的設(shè)定間隔，計算反頻譜波信號；以及

(f)根據(jù)所述反頻譜波信號評估所述研磨狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在步驟(e)中如果所述反頻譜波信號不具等間隔分布的反諧波峰值，那么在步驟(f)中將所述研磨狀態(tài)評估為所述研磨裝置不接觸所述工件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中在步驟(a)中，從所述研磨裝置或所述工件檢索所述振動信號。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述研磨狀態(tài)顯示所述研磨裝置的研磨轉(zhuǎn)速，在步驟(a)中檢索所述振動信號經(jīng)歷檢索時間區(qū)間，在步驟(e)中所述反頻譜波信號具有多個反諧波峰值，在步驟(f)中根據(jù)所述反諧波峰值對應(yīng)所述檢索時間區(qū)間的檢索時間評估所述研磨轉(zhuǎn)速。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中在步驟(a)中，從所述研磨裝置或所述工件檢索所述振動信號。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述研磨裝置具有最低可能研磨轉(zhuǎn)速和最高可能研磨轉(zhuǎn)速。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其另外包括根據(jù)所述最高可能研磨轉(zhuǎn)速計算低反頻率截斷閥值，在步驟(c)中將低于所述低反頻率截斷閥值的反頻譜值設(shè)為0，以移除所述反諧波的低反頻率部分。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中在步驟(d)中根據(jù)所述反諧波的反振幅均方根值計算所述振幅閾值。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中在步驟(d)中將所述反諧波的反振幅低于所述振幅閾值部分設(shè)為0。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其另外包括根據(jù)所述最低可能研磨轉(zhuǎn)速和所述最高可能研磨轉(zhuǎn)速計算頻譜識別范圍的步驟。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述頻譜識別范圍介于所述最高可能研磨轉(zhuǎn)速的倒數(shù)與所述最低可能研磨轉(zhuǎn)速的倒數(shù)之間。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中在步驟(e)中，所述反諧波峰值位于所述頻譜識別范圍內(nèi)。

13.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中在步驟(e)中根據(jù)所述最低可能研磨轉(zhuǎn)速、所述最高可能研磨轉(zhuǎn)速和所述振動信號的取樣率，計算所述反諧波的所述設(shè)定間隔，其中所述設(shè)定間隔為整數(shù)，且所述設(shè)定間隔介于所述取樣率與所述最高可能研磨轉(zhuǎn)速的比值和所述取樣率與所述最低可能研磨轉(zhuǎn)速的比值之間。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中在步驟(e)中所述設(shè)定反諧波計算數(shù)目為4，所述反諧波的所述設(shè)定間隔為1到4。

15.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中在步驟(e)中，所述反諧波峰值呈等間隔分布。

16.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中在步驟(f)中，所述反諧波峰值對應(yīng)所述檢索時間區(qū)間的所述檢索時間為所述研磨轉(zhuǎn)速倒數(shù)的整數(shù)倍。

17.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中步驟(e)另外包括定義峰值匹配函數(shù)的步驟，用以計算所述反諧波峰值產(chǎn)生的數(shù)目和位置。