[發(fā)明專利]光束掃描裝置、激光加工裝置、測試方法和激光加工方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910141138.2 | 申請日： | 2009-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN101587241A | 公開（公告）日： | 2009-11-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 上田伸治 | 申請（專利權(quán)）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08;B23K26/00;G01B11/26;G01B7/30;G05D3/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光束 掃描 裝置 激光 加工 測試 方法 | ||
1.一種用于掃描光束的裝置，該裝置包括：
反射鏡(2)，被配置為使入射光束反射；
馬達(1)，被配置為使所述反射鏡(2)旋轉(zhuǎn)，以改變被所述反 射鏡(2)反射的光束行進的方向；
檢測器(DT1，DT2，DT3)，被配置為檢測所述反射鏡(2)的 被檢測區(qū)域(6，13，16)相對于所述反射鏡(2)的旋轉(zhuǎn)角的傾斜； 以及
處理器(50)，被配置為基于所述反射鏡的旋轉(zhuǎn)角和所述檢測器 所檢測到的所述被檢測區(qū)域(6，13，16)的傾斜，計算所述反射鏡相 對于沿所述馬達(1)的旋轉(zhuǎn)軸的方向的傾斜量，其中，所述反射鏡的 傾斜由沿旋轉(zhuǎn)軸的方向與所述反射鏡(2)的反射表面之間的角度(θt) 表示。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，當所述反射鏡的傾斜量 超過允許值時，所述處理器輸出表示所述傾斜量超過所述允許值的出 錯信號。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，
所述反射鏡(23)、所述馬達(24)、所述檢測器(25)和所述 處理器(25)構(gòu)成第一單元，
所述裝置還包括第二單元，所述第二單元包括：第二反射鏡(28)， 被配置為使入射光束反射；第二馬達(29)，被配置為使所述第二反 射鏡(28)旋轉(zhuǎn)，以改變被所述第二反射鏡(28)反射的光束行進的 方向；第二檢測器(30)，被配置為檢測所述第二反射鏡的第二被檢 測區(qū)域相對于所述第二反射鏡的旋轉(zhuǎn)角的傾斜；以及第二處理器(30)， 被配置為基于所述第二反射鏡(28)的旋轉(zhuǎn)角和所述第二檢測器所檢 測到的所述第二被檢測區(qū)域的傾斜，計算所述第二反射鏡相對于沿所 述第二馬達(29)的旋轉(zhuǎn)軸的方向的傾斜量，以及
補償單元(20)，被配置為通過所述第二單元的所述第二反射鏡 (28)的旋轉(zhuǎn)角補償所述第一單元的所述反射鏡(23)的傾斜量，并 且通過所述第一單元的所述反射鏡(23)的旋轉(zhuǎn)角補償所述第二單元 的所述第二反射鏡(28)的傾斜量，以及
所述第一單元的所述馬達(24)的旋轉(zhuǎn)軸垂直于所述第二單元的 所述第二馬達(29)的旋轉(zhuǎn)軸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述檢測器包括：照射 單元，被配置為用檢測光照射所述反射鏡；以及傳感器，具有接收被 所述反射鏡反射的檢測光的光接收表面，并且所述檢測器基于所述檢 測光入射所述光接收表面的位置檢測所述反射鏡的傾斜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述檢測器包括干涉儀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述檢測器包括靜電電 容傳感器。
7.一種激光加工裝置，包括：
權(quán)利要求1所定義的用于掃描光束的裝置；
激光裝置，被配置為用激光照射所述用于掃描光束的裝置的所述 反射鏡，其中，通過所述反射鏡的旋轉(zhuǎn)角控制要加工的工件上的激光 照射位置，以及
控制單元，被配置用于如果所述反射鏡的傾斜落入允許值內(nèi)，則 使得所述激光裝置利用激光照射所述工件。
8.一種用于掃描光束的裝置的測試方法，所述裝置包括被配置 為使入射光束反射的反射鏡(2)、以及被配置為使所述反射鏡旋轉(zhuǎn)以 改變被所述反射鏡反射的光束行進的方向的馬達(1)，所述方法包括 下述步驟：
測量所述反射鏡(2)的旋轉(zhuǎn)角；
檢測所述反射鏡(2)的被檢測區(qū)域(6，13，16)相對于所述旋 轉(zhuǎn)角的傾斜；以及
基于所述反射鏡(2)的旋轉(zhuǎn)角和所述被檢測區(qū)域(6，13，16) 的傾斜，獲取所述反射鏡(2)相對于沿所述馬達(1)的旋轉(zhuǎn)軸的方 向的傾斜量，其中，所述反射鏡的傾斜由沿旋轉(zhuǎn)軸的方向與所述反射 鏡(2)的反射表面之間的角度(θt)表示。
9.一種激光加工方法，包括下述步驟：
通過權(quán)利要求8所定義的測試方法獲取所述反射鏡的傾斜量；以 及
在所述反射鏡的傾斜量落入允許值內(nèi)之后，通過用激光照射要加 工的工件來加工所述工件。
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