[發(fā)明專利]光波導(dǎo)路的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910140474.5
• 申請(qǐng)日: 2009-05-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101639552A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 內(nèi)藤龍介;長(zhǎng)藤昭子;清水裕介
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日東電工株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B6/13
• 分類號(hào): G02B6/13
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種光波導(dǎo)路的制造方法，是包括已進(jìn)行圖案形成的 芯與覆蓋上述芯的上敷層的光波導(dǎo)路的制造方法，其特征在于，

包括：使液態(tài)的樹(shù)脂流動(dòng)而形成覆蓋已進(jìn)行圖案形成的芯 的活性能量線固化樹(shù)脂層的工序A；加熱上述活性能量線固化 樹(shù)脂層的同時(shí)、或在加熱后將在凹部具有通向模具外的通氣孔 的凹型模按壓上述活性能量線固化樹(shù)脂層，從而成形上敷層的 工序B；自上述凹型模的外側(cè)照射活性能量線而使上敷層固化 的工序C，

在上述工序B中，使上述上敷層的端部的光射出部和光入 射部的任一方或雙方形成為透鏡形狀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導(dǎo)路的制造方法，其特征在 于，

上述上敷層端部的成形為透鏡形狀的部分是側(cè)截面為大致 1/4圓面的細(xì)長(zhǎng)透鏡形狀。