[發明專利]帶電粒子檢測裝置

有效

• 申請號: 200910140464.1
• 申請日: 2009-05-15
• 公開（公告）號: CN101929965A
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發明（設計）人: 汪蘇;張旭;陳仲瑋
• 申請（專利權）人: 漢民微測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N23/225
• 分類號: G01N23/225
• 代理公司: 北京泛誠知識產權代理有限公司 11298
• 代理人: 文琦;陳波

1.一種帶電粒子檢測裝置，用來檢測二次電子、背向散射電子或離子，所述帶電粒子檢測裝置包括：

一帶電粒子檢測組件：包括多個檢測區塊，每一個所述檢測區塊與一前置放大器耦合，以放大所述檢測區塊的輸出信號，

其中，每一所述檢測區塊包括一帶電粒子檢測模塊，其具有相互結合的一帶電粒子接收處以及一檢測信號產生處，在所述帶電粒子接收處被帶電粒子束轟擊時，所述檢測信號產生處產生所述輸出信號。

2.如權利要求1所述的帶電粒子檢測裝置，其中所述多個帶電粒子檢測模塊耦合成一環繞對稱配置，在中央對稱軸上有一開口，并且每一個所述帶電粒子檢測模塊的檢測面，共面排列對準形成一平面，其中中央對稱軸為入射光軸。

3.如權利要求2所述的帶電粒子檢測裝置，其中所述平面為一所述帶電粒子檢測裝置的帶電粒子接收平面。

4.如權利要求1所述的帶電粒子檢測裝置，帶電粒子檢測組件可由單一光導材料，加工出檢測區塊的多個檢測及光導通道而制成。

5.如權利要求1所述的帶電粒子檢測裝置，其中帶電粒子檢測組件的帶電粒子接收處以及檢測信號產生處可以結合為下列之一：

半導體式帶電粒子檢測裝置；

多重微通路板式帶電粒子檢測裝置。

6.一種帶電粒子的檢測方法，包括：

提供一入射電子束；

聚集所述入射電子束；

利用一探針成形物鏡聚焦所述聚集電子束成為一電子束探針；

提供一偏折電子束單元；

提供一試片；

所述電子束偏折單元致使所述形成的電子束探針以逐行掃描方式掃描所述試片表面；

提供一帶電粒子檢測裝置，其中所述帶電粒子檢測裝置包括一帶電粒子檢測組件，所述帶電粒子檢測組件包括多個檢測區塊，每一個所述檢測區塊與一前置放大器耦合，以放大所述檢測區塊的輸出信號，其中，每一個所述檢測區塊包括一帶電粒子檢測模塊，其具有相互耦合的一帶電粒子接收處以及一檢測信號產生處，在所述帶電粒子接收處被一帶電粒子束轟擊時，所述檢測信號產生處產生所述輸出信號；以及

所述帶電粒子檢測裝置致使在帶電粒子接收器接收被所述電子束探針轟擊試片所釋放的表面電子。

7.如權利要求6所述的帶電粒子的檢測方法，其中所述多個帶電粒子檢測模塊耦合成一環繞光軸對稱配置，在中央對稱軸上有一開口，并且每一個所述帶電粒子檢測模塊共面排列對準形成一等效平面，所述等效平面為所述帶電粒子檢測裝置的所述帶電粒子接收平面。

8.如權利要求6所述的帶電粒子的檢測方法，其中所述帶電粒子檢測裝置置于所述探針成形物鏡模塊中。

9.如權利要求6所述的帶電粒子的檢測方法，其中所述帶電粒子檢測裝置的帶電粒子檢測組件可由單一光導材料，加工出檢測區塊的多個檢測面及光導通道而制成。

10.如權利要求6所述的帶電粒子的檢測方法，其中在所述帶電粒子檢測裝置的帶電粒子檢測組件內的帶電粒子接收處和檢測信號產生處可以結合為下列之一：

半導體式帶電粒子檢測裝置；

多重微通路板式帶電粒子檢測裝置。