[發明專利]靶材組件的制作方法

無效

• 申請號: 200910140418.1
• 申請日: 2009-05-08
• 公開（公告）號: CN101648308A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;歐陽琳;劉慶
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B23K1/08
• 分類號: B23K1/08;B23K1/06;B23K1/20;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 李 麗

1.一種靶材組件的制作方法，其特征在于，包括：

提供300毫米靶材坯料、背板和釬料，所述背板四周形成有側壁；

對300毫米靶材坯料進行預熱，將釬料均勻分布在300毫米靶材坯料的結合面與坯料外周，使得釬料與300毫米靶材坯料的結合面與坯料外周充分浸潤，去除300毫米靶材坯料結合面和與坯料外周上的釬料；

對背板的結合面進行打磨處理，對背板進行預熱，將釬料均勻分布在背板的結合面和背板側壁內側，超聲波處理添加釬料的背板；

將300毫米靶材坯料與背板接觸，包括：將300毫米靶材坯料結合面與背板結合面接觸并且300毫米靶材坯料外周與背板側壁內側接觸；

將接觸的300毫米靶材坯料與背板放置于工作臺保持穩定，將300毫米靶材坯料焊接至背板形成靶材組件；

冷卻靶材組件。

2.根據權利要求1所述的靶材結構的制作方法，其特征在于，所述300毫米靶材坯料的材料具體選自鉭、銅、鋁、銀、鎳、鉻、鈦、鋯、錒、鉬、鎢、鉑、金、鈮、鈷、錸、鈧或它們任意組合的合金。

3.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述背板材料具體選自鋁基合金或者銅基合金。

4.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述釬料選自有鉛焊錫釬料或者無鉛焊錫釬料，其中釬料中銀的質量百分比為0.2％。

5.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述對鈦靶材坯料進行預熱溫度為200攝氏度至250攝氏度。

6.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述使得釬料與鈦靶材坯料的結合面充分浸潤包括將鋼刷摩擦釬料三至四回。

7.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述對背板的結合面進行打磨處理為用#180或者#230砂紙對背板的結合面進行打磨處理并用酒精清洗背板的結合面。

8.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述對背板進行預熱溫度為200攝氏度至250攝氏度。

9.根據權利要求1所述的靶材組件的制作方法，其特征在于，所述對鈦靶材坯料和背板進行釬焊處理工藝參數為：工作溫度260攝氏度至280攝氏度，壓強0.48兆帕至0.52兆帕。