[發明專利]在壓力和熱作用下層壓基本為板形的工件的方法和設備

無效

• 申請號: 200910139816.1
• 申請日: 2009-06-30
• 公開（公告）號: CN101618625A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: D·梅茨格;N·達姆
• 申請（專利權）人: 羅伯特別克勒有限公司
• 主分類號: B32B37/10
• 分類號: B32B37/10;B32B37/06;B32B37/12;B32B38/18;H01L31/18
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所
• 代理人: 吳 鵬;馬江立

1.一種用于在壓力和熱作用下層壓基本為板形的工件的方法，該工件具有至少一個能通過熱活化的膠合劑層，其中首先將至少一個工件送入一真空層壓壓力機的真空腔中，該真空腔被一氣密的柔性壓緊件分成產品半部和壓力半部；然后在真空腔的產品半部中、在熱作用下對工件進行層壓處理，這時將所述產品半部抽真空，所述壓緊件由于由此形成的壓差和/或通過對真空腔的壓力半部的附加壓力加載而將工件直接或間接地壓緊在真空腔的下側上；最后通過打開所述真空層壓壓力機而中斷層壓處理，將工件轉送到一層壓機內，在該層壓機中施加膠合劑層的活化溫度和/或硬化溫度以上的溫度，

其特征為：

作為所述柔性壓緊件采用一單獨地或與工件一起輸入真空層壓壓力機的薄膜或一穿過真空腔延伸的薄膜帶。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征為：

采用穿過真空腔延伸的、由易于脫離工件的材料制成的薄膜帶作為所述柔性壓緊件。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征為：

采用抗粘附的材料，特別是PTFE薄膜或涂覆有PTFE的載體薄膜作為所述薄膜帶的材料。

4.根據權利要求1至3之至少一項所述的方法，其特征為：

在所述層壓機下游，所述工件被轉送到另一層壓機和/或一用于將工件冷卻到一低于膠合劑層軟化溫度的溫度的冷卻裝置中。

5.根據權利要求1至4之至少一項所述的方法，其特征為：

對多個工件或成排的多個工件組進行層壓，按周期將工件輸入所述真空層壓壓力機中、以及將工件轉送到所述層壓機中。

6.根據權利要求1至4之至少一項所述的方法，其特征為：

為了影響隨時間變化的、對工件的膠合劑層的熱作用，在真空層壓壓力機和/或層壓機和/或冷卻裝置中、在工件與各換熱面之間放入具有各自限定的導熱特性的壓力墊或軟墊。

7.根據權利要求1至6之至少一項所述的方法，其特征為：

調節在真空層壓壓力機中對工件的熱作用，以使膠合劑層軟化、層壓處理開始，而膠合劑層中的溫度仍保持低于最終溫度。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征為：

為了調節在所述真空層壓壓力機中的熱作用，將目標溫度選擇得相對較低或者相對提前結束處理。

9.根據權利要求7或8所述的方法，其特征為：

采用多個順序連接的層壓機，各層壓機的目標溫度互不相同，特別是逐漸升高。

10.一種用于在壓力和熱作用下層壓基本為板形的工件(7)的設備，該工件具有至少一個能通過熱活化的膠合劑層(402)，該設備包括一帶真空腔(8)的真空層壓壓力機(200)，該真空腔被一氣密的柔性壓緊件(6)分成產品半部(10)和壓力半部(9)，其中產品半部(10)用于接納至少一個工件(7)、能被抽真空，而壓力半部(9)能被抽真空、也能被加載壓力，其中柔性壓緊件(6)設計成，由于通過對產品半部(10)抽真空和/或通過對壓力半部(9)加載壓力在真空腔(8)中存在的壓力差而將工件(7)直接或間接地壓緊在真空腔(8)的下側(3)上；該設備包括至少一個連接在該真空層壓壓力機(200)下游的層壓機(201)，在該層壓機中對工件(7)施加一膠合劑層(402)的活化溫度和/或硬化溫度以上的溫度；該設備還包括一用于將工件(7)輸入真空層壓壓力機(200)和將工件(7)從真空層壓壓力機(200)轉送到層壓機(201)中的輸送裝置(5)，

其特征為：

所述柔性壓緊件是一單獨地或與工件(7)一起輸入真空層壓壓力機(200)中的薄膜(6)或一穿過真空腔(8)延伸的薄膜帶。

11.根據權利要求10所述的設備，其特征為：

所述柔性壓緊件是一穿過真空腔(8)延伸的、由易于脫離工件(7)的材料制成的薄膜帶(6)。

12.根據權利要求11所述的設備，其特征為：

所述薄膜帶(6)由抗附著材料，特別是PTFE薄膜或涂覆有PTFE的載體薄膜制成。