[發明專利]吸振平臺結構及具有其的高架地板結構

無效

• 申請號: 200910139306.4
• 申請日: 2009-05-11
• 公開（公告）號: CN101886437A
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發明（設計）人: 蔡宏毅
• 申請（專利權）人: 臺灣奈米科技應用股份有限公司
• 主分類號: E04B1/98
• 分類號: E04B1/98;E04F15/00;H01L21/683
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 董惠石

技術領域

本發明涉及一種用以承載設備的平臺結構，特別是涉及一種吸振平臺結構及具有其的高架地板結構。

背景技術

在制作工藝逐漸邁向納米等級解析度的今日，無論在電子或半導體產業，多數制程及檢測設備對于環境微振動相當敏感，在抑制環境振動的要求上將更為嚴苛。由于在不良的微振動環境下，常會造成儀器的誤動作或者測量的結果難以判讀，所以這些制程及檢測設備的承載平臺必須要具備優良的動態特性，使得無論是由環境傳來的振動或者是承載平臺所承載的設備本身所產生的振動，在運作的頻寬范圍能有效的被消除。

傳統的承載平臺材料或結構一般分為花崗巖(granite)、蜂巢狀平臺(honeycomb?table)以及鋼筋混凝土結構(reinforced?concrete?structure)的平臺。花崗巖的平臺可提供較佳的結構穩定性，但是由于材質的關系，使得平臺結構的重量較重。蜂巢狀平臺相較之下雖然質輕，但是因為結構有一定的復雜度，造成在制造及組裝程序上的困難，目前只適用于高單價的光學桌。鋼筋混凝土結構的平臺，其重量介于以上兩者之間，但是其動態特性較以上兩者均差。

半導體或光電制程相關的廠房環境多為采用格柵狀的鋼筋混凝土結構配合高架地板，高架地板也為一種承載平臺結構，但大多不具隔振能力，其主要的功能為借由高架地板提供一個空間讓設備的管路行走，不至于使操作人員的動線與管路的動線相互影響，也同時提供無塵室中潔凈回風的透氣功能。但是人員的活動以及運輸設備產生的振動往往會經由高架地板結構的放大而進入廠房結構，進而傳入廠房內的各個角落，影響該環境中其他精密制程及檢測儀器的可靠度。

發明內容

本發明的目的在于提供一種吸振平臺結構及具有其的高架地板結構，其提供的高阻尼的結構，可抑制環境傳來的振動及平臺上設備本身所產生的振動，從而解決現有的高架地板的最初設計并未以抑制振動噪音為訴求，面對近來光電產業中大尺寸面板的搬運設備或機器手臂所產生的巨大振動往往通過其支撐的高架地板結構傳到廠房的四周，影響到周遭的精密制程及檢測設備的問題，例如曝光機、涂布機以及面板缺陷檢查設備。此外，也解決了一般的光學桌采用的蜂巢狀結構的隔振設計，其結構復雜，不但單一構件制造困難，也難以組裝拆卸，甚至需要很大的空間才能架設，造成在設備維護上極為麻煩的問題。

為了實現上述目的，本發明提供了一種高架地板結構，包括有一吸振平臺結構及一支撐結構。吸振平臺結構包括有一底板，具有一支撐架結合面；一上蓋板，位在底板上方位置，并與底板之間保持一預定高度距離，而定義出一吸振緩沖空間；一阻尼吸振墊材層，位于底板與上蓋板間的吸振緩沖空間中。

支撐結構包括有多支支撐構件，結合于吸振平臺結構的底板的支撐架結合面與一基礎結構體之間，用以支撐吸振平臺結構，并使吸振平臺結構的底板的支撐架結合面與基礎結構體之間形成一高架空間。

在本發明的第一實施例中，支撐構件包括有一支撐管架、一水平調整管件、一支撐盤及一補強套件。其中支撐管架具有一固定座及一套合槽，固定座使支撐構件固定在基礎結構體上；水平調整管件具有一套合桿，套合于支撐管架的套合槽中；支撐盤設置在水平調整管件上方，用以支撐吸振平臺結構；補強套件則套合于水平調整管件的套合桿。

為了實現上述目的，本發明還提供了一種吸振平臺結構，其包括：一底板，設置在一基礎結構體上；一上蓋板，位在該底板上方位置，并與該底板之間保持一預定高度距離，而定義出一吸振緩沖空間；一阻尼吸振墊材層，位于該底板與該上蓋板間的吸振緩沖空間中。

經由本發明所采用的技術手段，可以使得吸振平臺結構及具有其的高架地板結構的抑制振動能力，符合承載精密設備的振動標準，在一定的頻寬范圍內不會放大振動及延長振動，有效減少機臺的故障發生率，從而提升產品的優良率。

和一般光學桌的蜂巢狀結構相比，本發明的各構件在幾何形狀上十分單純，不會造成在制造上的負擔。由于各構件的形狀易于統一，可進行規格化的量產，降低生產成本。在零件的更換取代上，像是內部的阻尼吸振墊片，即可因應不同的吸振需求，以不同材料或不同形狀的更換，且更換十分方便。而在材料搬運與平臺的組裝上，也因構件的單純化及模組化，搬運時可以拆零的方式來減小體積，施工時也因此而變得更加快速容易，減少受環境干擾的機會。

針對實驗室中的小型精密設備，可單獨使用本發明所提供的吸振平臺結構，利用將上蓋板適當的增加重量并在表面鉆定位螺孔，即可作為一般實驗室內小型桌上用的精密儀器設備隔振底座，例如光學測量系統或是微納米檢測所需的原子力顯微鏡，或者半導體廠房中需要的制振型高架地板結構。