[發(fā)明專利]壓力傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910139281.8
• 申請(qǐng)日: 2009-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101603869A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 本山久雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛(ài)普生拓優(yōu)科夢(mèng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01L7/08
• 分類號(hào): G01L7/08;G01L9/08
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉;馬建軍

1.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼；

壓力輸入口，其在形成于所述外殼上的接頭部開(kāi)口；

一面為受壓面的膜片，其封閉所述壓力輸入口；以及

感壓部，其以力的檢測(cè)方向?yàn)闄z測(cè)軸，

該感壓部的一端與所述膜片的另一面的中央?yún)^(qū)域連接，

所述感壓部的另一端與所述外殼連接，

所述檢測(cè)軸與所述受壓面大致垂直，

所述中央?yún)^(qū)域和所述感壓部的一端的接觸部分的外周位于所述中央?yún)^(qū)域的外周的內(nèi)側(cè)，

所述中央?yún)^(qū)域的厚度比所述中央?yún)^(qū)域的周圍的部位的厚度厚。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述周圍的部位為平坦面，且形成為與所述中央?yún)^(qū)域具有階梯。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述感壓部由以下部分構(gòu)成：

力傳遞單元，其一端與所述膜片的另一面的中央?yún)^(qū)域接觸；

可動(dòng)單元，其固定在所述力傳遞單元上；以及

感壓元件，其一個(gè)端部與所述可動(dòng)單元接觸，另一個(gè)端部與外殼連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述感壓部由感壓元件構(gòu)成，該感壓元件的一個(gè)端部與所述膜片的另一面的中央?yún)^(qū)域連接，另一個(gè)端部與外殼連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述中央?yún)^(qū)域的周圍的部位通過(guò)蝕刻來(lái)形成。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述感壓元件具有設(shè)置于兩端部的基部，

在設(shè)置于所述兩端部的基部之間具有振動(dòng)部。?

7.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼，其具有壓力輸入口；

外表面為受壓面的膜片，其封閉該外殼的所述壓力輸入口；

力傳遞單元，其在所述外殼內(nèi)部與所述膜片的中央?yún)^(qū)域連接，與該膜片連動(dòng)地在與該膜片的受壓面垂直的方向上運(yùn)動(dòng)；以及

感壓部，其與該力傳遞單元和所述外殼連接，沿著與所述膜片的受壓面垂直的軸設(shè)定檢測(cè)軸，

所述膜片在平板體上形成槽，從而將所述中央?yún)^(qū)域形成為比其周邊部厚。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述槽形成于膜片的單面?zhèn)取?/p>

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓力傳感器，其特征在于，

形成有所述槽的面為所述力傳遞單元的連接面?zhèn)取?/p>

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于，

所述槽形成于膜片的兩面。

11.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼；

一對(duì)壓力輸入口，其同軸地設(shè)置在該外殼的對(duì)置的端面板上；

外表面為受壓面的第1、第2膜片，其封閉所述壓力輸入口；

力傳遞單元，其在所述外殼內(nèi)部連接所述膜片的內(nèi)表面的中央?yún)^(qū)域彼此；

可動(dòng)單元，其固定在所述力傳遞單元上；以及

感壓元件，其一端與所述可動(dòng)單元連接，另一端與所述外殼連接，并且，與垂直于所述膜片的受壓面的軸平行地排列檢測(cè)軸，

所述膜片在平板體上形成槽，從而將連接有所述力傳遞單元的所述中央?yún)^(qū)域形成為比其周邊部厚。

12.一種壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器具有：

外殼；

壓力輸入口，其設(shè)置在該外殼的端面板上；?

外表面為受壓面的膜片，其封閉所述壓力輸入口；

力傳遞單元，其在所述外殼內(nèi)部，在所述膜片的內(nèi)表面的中央?yún)^(qū)域配置在與該膜片的受壓面垂直的軸線上，且與對(duì)置的外殼端面板連接；

可動(dòng)單元，其固定在所述力傳遞單元上；以及

感壓元件，其一端與所述可動(dòng)單元連接，另一端與所述外殼連接，并且，與垂直于所述膜片的受壓面的軸同軸地設(shè)定檢測(cè)軸，

所述膜片在平板體上形成槽，從而將連接有所述力傳遞單元的所述中央?yún)^(qū)域形成為比其周邊部厚。

13.根據(jù)權(quán)利要求7～12中的任一項(xiàng)所述的壓力傳感器，其特征在于，

在所述外殼的內(nèi)部與所述檢測(cè)軸平行地設(shè)置有支承桿。