[發(fā)明專(zhuān)利]聚合物和含有該聚合物的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910139072.3
• 申請(qǐng)日: 2009-05-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101585896A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藤裕介;畑光宏
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 住友化學(xué)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C08F220/10
• 分類(lèi)號(hào): C08F220/10;G03F7/039
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 陳長(zhǎng)會(huì)

1.一種聚合物，所述聚合物包含：

由式(Ia)或(Ib)表示的結(jié)構(gòu)單元，

其中R¹表示氫原子或甲基，R²表示直鏈、支鏈或環(huán)狀C1-C8烷基，R³表示甲基，n表示0至14的整數(shù)，Z¹表示單鍵或-[CH₂]_k-COO-，k表示1至4的整數(shù)，R⁴和R⁵各自獨(dú)立地表示氫原子或可以具有一個(gè)或多個(gè)雜原子的C1-C8一價(jià)烴基，或者R⁴和R⁵可以結(jié)合以形成C1-C8二價(jià)烴基，所述C1-C8二價(jià)烴基可以具有一個(gè)或多個(gè)雜原子，并且可以與R⁴和R⁵所鍵合的相鄰碳原子一起形成環(huán)，或者R⁴和R⁵可以結(jié)合以在R⁴所鍵合的碳原子和R⁵所鍵合的碳原子之間形成碳-碳雙鍵，并且m表示1至3的整數(shù)，

由式(II)表示的結(jié)構(gòu)單元：

其中R⁶和R⁷各自獨(dú)立地表示氫原子、甲基或羥基，R⁸表示甲基，R⁹表示氫原子或甲基，n′表示0至12的整數(shù)，Z²表示單鍵或-[CH₂]_k′-COO-，k′表示1至4的整數(shù)，R²¹和R²²各自獨(dú)立地表示氫原子或C1-C4烷基，并且R²³表示C1-C30一價(jià)烴基；以及

選自由式(IIIa)、(IIIb)、(IIIc)、(IIId)、(IIIe)和(IIIf)表示的結(jié)構(gòu)單元中的至少一個(gè)結(jié)構(gòu)單元：

其中R¹⁰表示氫原子或甲基，R¹¹表示甲基，R¹²在每種情況下都獨(dú)立地為羧基、氰基或C1-C4烴基，j表示0至3的整數(shù)，a表示0至5的整數(shù)，b表示0至3的整數(shù)，c表示0至(2j+2)的整數(shù)，Z³表示單鍵或-[CH₂]_k″-COO-基團(tuán)，并且k″表示1至4的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚合物，其中在所述式(II)中的R²³為C4-C10一價(jià)脂環(huán)烴基。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚合物，其中所述聚合物包含由式(IIIb)表示的結(jié)構(gòu)單元。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚合物，其中所述聚合物還包含由式(IV)表示的結(jié)構(gòu)單元：

其中R¹³表示氫原子或甲基，R¹⁴和R¹⁵各自獨(dú)立地表示氫原子、甲基或羥基，R¹⁶表示甲基，n”表示0至12的整數(shù)，Z⁴表示單鍵或-[CH₂]_q-COO-基團(tuán)，并且q表示1至4的整數(shù)。

5.一種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，所述化學(xué)放大型抗蝕劑組合物包含根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的聚合物以及酸生成劑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中所述酸生成劑是由式(V)表示的鹽：

其中Y¹和Y²各自獨(dú)立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R²⁰表示C1-C6直鏈或支鏈烴基或C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基，所述C1-C6直鏈或支鏈烴基或C3-C30單環(huán)或多環(huán)烴基可以被選自C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、羥基和氰基中的至少一個(gè)取代，并且在所述烴基中的至少一個(gè)-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，或者在所述烴基中的至少一個(gè)氫原子可以被羥基取代，并且A⁺表示有機(jī)抗衡離子。