[發明專利]劃線裝置以及使用該劃線裝置的基板切斷裝置和方法

有效

• 申請號: 200910137535.2
• 申請日: 2009-05-05
• 公開（公告）號: CN101575166A
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發明（設計）人: 金民雄
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;C03B33/07
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 李雪春;武玉琴

1.一種劃線裝置，執行用于把形成有多個單位基板的母基板分割成 單位基板的劃線工序，其特征在于包括：

第一劃線部，在所述母基板的上面或下面任何一個面上形成劃線； 以及

第二劃線部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的狀態下， 在從所述第一劃線部傳送來的所述母基板的另一個面上形成劃線。

2.根據權利要求1所述的劃線裝置，其特征在于，

所述第一劃線部包括支承所述母基板下面的第一支承構件、在所述 母基板的上面上形成劃線的第一劃線單元；

所述第二劃線部包括支承所述母基板上面的第二支承構件、在所述 母基板的下面上形成劃線的第二劃線單元。

3.根據權利要求1所述的劃線裝置，其特征在于，

所述第一劃線部包括支承所述母基板上面的第一支承構件、在所述 母基板的下面上形成劃線的第一劃線單元；

所述第二劃線部包括支承所述母基板下面的第二支承構件、在所述 母基板的上面上形成劃線的第二劃線單元。

4.根據權利要求1所述的劃線裝置，其特征在于，所述母基板是平 板顯示器基板。

5.根據權利要求4所述的劃線裝置，其特征在于，所述平板顯示器 基板是把彩色濾光基板和薄膜晶體管基板沿上下方向層疊的薄膜晶體管 -液晶顯示器用面板。

6.一種基板切斷裝置，其特征在于包括：

裝載部，裝載形成有多個單位基板的母基板；

第一劃線部，在從所述裝載部傳送來的所述母基板的上面或下面任 何一個面上形成劃線；

第二劃線部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的狀態下， 在從所述第一劃線部傳送來的所述母基板的另一個面上形成劃線；

切斷部，沿在所述母基板上生成的劃線把所述母基板分割成單位基 板；以及

卸載部，把分割后的所述單位基板卸載。

7.根據權利要求6所述的基板切斷裝置，其特征在于，

所述第一劃線部包括支承所述母基板下面的第一支承構件、在所述 母基板的上面上形成劃線的第一劃線單元；

所述第二劃線部包括支承所述母基板上面的第二支承構件、在所述 母基板的下面上形成劃線的第二劃線單元。

8.根據權利要求6所述的基板切斷裝置，其特征在于，

所述第一劃線部包括支承所述母基板上面的第一支承構件、在所述 母基板的下面上形成劃線的第一劃線單元；

所述第二劃線部包括支承所述母基板下面的第二支承構件、在所述 母基板的上面上形成劃線的第二劃線單元。

9.一種基板切斷方法，用于把形成有單位基板的母基板分割成單位 基板，其特征在于，

在所述母基板的上面或下面任何一個面上形成劃線，之后，

在保持所述母基板的上面和下面的方向性的狀態下，在所述母基板 的另一個面上形成劃線。

10.根據權利要求9所述的基板切斷方法，其特征在于，

在支承所述母基板的下面的狀態下，在所述母基板的上面上形成劃 線，

在吸附并支承形成了劃線的所述母基板的上面的狀態下，在所述母 基板的下面上形成劃線。

11.根據權利要求9所述的基板切斷方法，其特征在于，

在吸附并支承所述母基板上面的狀態下，在所述母基板的下面上形 成劃線，

在支承形成了劃線的所述母基板下面的狀態下，在所述母基板的上 面上形成劃線。

12.一種劃線裝置，執行用于把形成有多個單位基板的母基板分割 成單位基板的劃線工序，其特征在于包括：

第一劃線部，在所述母基板的上面或下面任何一個面上形成劃線； 以及

第二劃線部，與所述第一劃線部相鄰配置，在保持所述母基板的上 面和下面的方向性的狀態下，在從所述第一劃線部傳送來的所述母基板 的另一個面上形成劃線。