[發明專利]探測用承載臺的旋轉機構

無效

• 申請號: 200910136232.9
• 申請日: 2009-04-29
• 公開（公告）號: CN101876668A
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發明（設計）人: 楊天德
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 陳怡;顏濤

技術領域

本發明涉及一種旋轉機構，特別涉及應用在探測用承載臺的旋轉機構。

背景技術

在LED、半導體等測試領域的測試機中，承載臺用于承載LED、半導體等晶圓待測物，通過在承載臺進行一角度的旋轉，將通過測試機的探針點觸晶圓待測物的接觸墊，進而測試晶圓待測物的電性。

一般常用的測試機是在承載臺側邊使用皮帶(belt)，通過馬達帶動皮帶的方式，使得承載臺產生一角度的旋轉。然而，由于承載臺必須要維持該角度，因此使用皮帶會有間隙密度的問題，而影響承載臺的旋轉精度，最后則是導致晶圓待測物的電性測試不佳。

請參閱圖1，其為中國臺灣專利I302862所提出的一種常用定位系統的俯視示意圖。在圖1中，定位系統1主要是由第一平臺10、配置于第一平臺10上的第二平臺11、配置于第一平臺10上的螺桿12、以及連接第二平臺11與螺桿12的連桿13所構成。

在定位系統1中，第二平臺11可沿著一預定路徑14而往復移動，其中預定路徑14的延伸方向與螺桿12成一夾角。當螺桿12轉動而使得連桿13移動時，便能夠帶動第二平臺11沿著預定路徑14移動，藉以提高定位的精度。

然而，定位系統1的缺點在于，當螺桿12轉動而使得連桿13移動時，螺桿12會產生非水平于螺桿12方向的施力，因此，在使用上容易造成螺桿12的變形，進而影響定位系統1移動時的精度。

另一方面，請參閱圖2，其為中國臺灣專利I233847所提出的一種常用旋轉機構的俯視示意圖。在圖2中，旋轉機構2主要是由馬達20、受控于馬達的螺桿21、連接于螺桿21的連桿22、以可旋轉一小角度的方式而連接于連桿22的曲柄23、以及作為旋轉中心的工作臺24所構成。

在旋轉機構2中，當驅動馬達20時，螺桿21轉動便可使得連桿22移動，藉此微調曲柄23而使得工作臺24旋轉，藉以提高定位的精度。

然而，旋轉機構2的缺點與圖1的定位系統1相同，當驅動馬達20時，螺桿21轉動使得連桿22移動的過程中，螺桿21除了產生水平于螺桿21方向的施力，也會產生非水平于螺桿21方向的施力，容易產生變形而影響到精度。

發明內容

因此，有必要構思一種應用在探測用承載臺的旋轉機構，當工作臺旋轉時，螺桿不會受到側向力量而影響精度。

根據上述構想，本發明一方面提出一種探測用承載臺的旋轉機構，包括：一馬達、受控于該馬達而轉動的一螺桿、一端固接于該螺桿而于一滑軌上滑動的一滑塊、一端樞接于該滑塊的一連桿、以及一曲柄，該曲柄利用一端而固接于該連桿的另一端，而該曲柄的另一端是固接于該承載臺，其中當該馬達起動時，該螺桿轉動以推動該滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對于該滑塊樞轉，而使得該曲柄及該承載臺同時旋轉一角度。

根據上述構想，本發明另一方面提出一種探測用承載臺的旋轉機構，包括：一馬達、受控于該馬達而轉動的一螺桿、一端固接于該螺桿而于一滑軌上滑動的一滑塊、利用一連接件與固接于該螺桿的該滑塊相連而于該滑軌上滑動的另一滑塊、一端樞接于未固接于該螺桿的該滑塊的一連桿、以及一曲柄，該曲柄利用一端而固接于該連桿的另一端，而該曲柄的另一端是固接于該承載臺，其中當該馬達起動時，該螺桿轉動以推動該等滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對于未固接于該螺桿的該滑塊樞轉，而使得該曲柄及該承載臺同時旋轉一角度。

根據上述構想，本發明再一方面提出一種探測用承載臺的旋轉機構，包括：一馬達、受控于該馬達而轉動的一螺桿、一端固接于該螺桿而于一滑軌上滑動的一滑塊、利用一連接件與固接于該螺桿的該滑塊相連而于該滑軌上滑動的另一滑塊、一端樞接于固接于該螺桿的該滑塊的一連桿、以及一曲柄，該曲柄利用一端而樞接于該連桿的另一端，而該曲柄的另一端是固接于該承載臺，其中當該馬達動作時，該螺桿轉動以推動該等滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對于固接于該螺桿的該滑塊樞轉，而使得該曲柄及該承載臺同時旋轉一角度。

較佳者，該連桿是以旋轉式關節而樞接于該滑塊。

較佳者，該曲柄是以旋轉式關節而樞接于該連桿。

較佳者，該角度是相對于該些滑塊于該滑軌上滑動的距離而處于十度以內。

較佳者，該旋轉機構是固設于一基臺上，且該曲柄及該承載臺是相對于該基臺而同時旋轉該角度。

本發明通過下列圖式及詳細說明，使得更深入的了解。

附圖說明

圖1是中國臺灣專利I302862所提出的一種常用定位系統的俯視示意圖。

圖2是中國臺灣專利I233847所提出的一種常用旋轉機構的俯視示意圖。