[發(fā)明專(zhuān)利]鋁靶材坯料與鋁合金背板的焊接方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910135315.6 | 申請(qǐng)日： | 2009-04-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101564793A | 公開(kāi)（公告）日： | 2009-10-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;陳勇軍;劉慶 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B23K20/14 | 分類(lèi)號(hào)： | B23K20/14;B23K20/24;C23G5/032;B23K20/02;C23C14/34;B23K103/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 李 麗 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鋁靶材 坯料 鋁合金 背板 焊接 方法 | ||
1.一種鋁靶材坯料與鋁合金背板的焊接方法，其特征在于，包括：
提供鋁靶材坯料和鋁合金背板；
將鋁靶材坯料和鋁合金背板放置入真空包套送入焊接設(shè)備；
采用熱等靜壓工藝進(jìn)行擴(kuò)散焊接，將鋁靶材坯料焊接至鋁合金背板形成靶材組件；
完成焊接后，進(jìn)行空冷并拆除真空包套取出靶材組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁靶材坯料與鋁合金背板的焊接方法，其特征在于，所述熱等靜壓工藝具體參數(shù)優(yōu)選為：焊接溫度200℃～450℃，環(huán)境壓強(qiáng)50～160Mpa，并在此溫度壓強(qiáng)下保溫3～5小時(shí)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁靶材坯料與鋁合金背板的焊接方法，其特征在于，所述真空包套采用1.0mm～2.0mm低碳鋼或者鋁合金焊接成型的，裝入靶材坯料以及背板后抽真空至10-3～10-5托，再封閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋁靶材坯料與鋁合金背板的焊接方法，其特征在于，在放置入真空包套前，還需要對(duì)鋁靶材坯料和鋁合金背板先進(jìn)行機(jī)械加工再化學(xué)清洗。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鋁靶材坯料與鋁合金背板的焊接方法，其特征在于，機(jī)械加工使得靶材以及背板表面的光潔度達(dá)到0.2～3.2um。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鋁靶材坯料與鋁合金背板的焊接方法，其特征在于，所述化學(xué)清洗具體為使用有機(jī)清洗溶劑清洗，有機(jī)清洗溶劑為異丁醇IBA、異丙醇IPA或混丙醇IPB中的任一種。
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