[發(fā)明專利]光盤制造方法、原盤制造方法和光盤

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910134490.3
• 申請日: 2009-04-21
• 公開（公告）號: CN101567199A
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高橋謙作;中野淳;增原慎;坂本哲洋;高川繁樹
• 申請（專利權(quán)）人: 索尼株式會(huì)社
• 主分類號: G11B7/26
• 分類號: G11B7/26;G11B7/24
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 余 剛;吳孟秋

相關(guān)申請的交叉參考

本發(fā)明包含于2008年4月21日向日本專利局提交的日本優(yōu)先權(quán)專利申請JP?2008-110468的主題，其全部內(nèi)容結(jié)合于此作為參考。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及優(yōu)選地用于制造高密度光盤的光盤制造方法、原盤制造方法和光盤。

背景技術(shù)

近年，隨著光盤記錄密度的增大，例如，Blu-ray(藍(lán)光光盤)正作為高密度光盤而變得流行。

對于已被廣泛使用的DVD(數(shù)字通用盤)，一個(gè)DVD(一個(gè)記錄層)的記錄容量是4.7GB(千兆字節(jié))。相反，一個(gè)藍(lán)光光盤的記錄容量是25GB，其記錄容量顯著增大。

通過在原盤的制作處理中產(chǎn)生更微細(xì)的凹坑圖樣，使記錄密度的這種增加成為可能。

在直到DVD生成的傳統(tǒng)原盤制作處理中，在光子模式下使暴露給激光的有機(jī)抗蝕劑感光。

光子模式下的記錄區(qū)域與曝光光點(diǎn)直徑成比例，并且所得到的分辨率約等于光點(diǎn)直徑值的一半。曝光光點(diǎn)直徑φ用φ＝1.22×λ/NA來表示，其中，λ表示激光波長，以及NA表示透鏡數(shù)值孔徑。

相反，在藍(lán)光光盤的原盤制作處理中，通過使用基于無機(jī)材料的抗蝕劑來執(zhí)行切割，這可能會(huì)顯著增加分辨率。

以下將使用無機(jī)材料的抗蝕劑稱為“無機(jī)抗蝕劑”。

日本未審查專利申請公開第2003-315988號披露了關(guān)于使用無機(jī)抗蝕劑的原盤制作處理的技術(shù)。

在加熱模式下使無機(jī)抗蝕劑感光。在加熱模式下，只有曝光光點(diǎn)中心附近的高溫部分有助于記錄，因而能夠提供更微細(xì)的圖樣。在不使用DUV(深紫外)波長激光的情況下，加熱模式處理可使用藍(lán)色半導(dǎo)體激光來提供充足的分辨率。此外，由于半導(dǎo)體激光允許約千兆赫的高速調(diào)制，所以用于將信號記錄到相變盤和磁光盤的寫入策略的使用能夠精細(xì)地控制凹坑形狀，并因而能夠提供更有利的信號特性。

在這種寫入策略中，通過多個(gè)脈沖高速記錄一個(gè)凹坑，并且調(diào)整每個(gè)脈沖的脈寬、強(qiáng)度和脈沖間隔能夠?qū)崿F(xiàn)最佳記錄。此外，使用無機(jī)抗蝕劑，由于曝光部分被通常已被使用的堿性顯影所溶解，所以處理不會(huì)變復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

作為一個(gè)用于評價(jià)光盤質(zhì)量的方案，可以使用再生信號評價(jià)。

通常，光盤的再生采用通過半導(dǎo)體激光照射光盤并檢測其返回光的系統(tǒng)。通過精確地再生所記錄的數(shù)字信號來評價(jià)信號特性。

對于具有25GB記錄容量的只讀藍(lán)光光盤(具有模壓凹坑的ROM藍(lán)光光盤)，標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定光盤在再生期間以4.92m/s的線速度旋轉(zhuǎn)且一個(gè)時(shí)鐘周期為15.15ns。另外，光盤具有2T～8T(30.30ns～121.20ns)的凹坑和間隙(space)(T表示通道時(shí)鐘周期)。

圖8示出了模擬示波器上的再生波形(所謂的“眼孔圖樣”)。

由于減小了凹坑和間隙的凹部/凸部間隔，所以只讀光盤更容易受到衍射效應(yīng)的影響，因此，MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))下降，并且調(diào)制也減少。因此，最小振幅為2T信號的振幅。

在圖8中，I8H表示8T圖樣的峰值電平，I2H表示2T圖樣的峰值電平，I2L表示2T圖樣的谷底電平，以及I8L表示8T圖樣的谷底電平。

在實(shí)際的再生裝置中，被檢測為模擬信號的波形被非線性均衡器放大，校正取決于凹坑長度的振幅差，并通過將閾值設(shè)置為振幅中心附近的特定電壓電平來將信號二值化為0和1。

作為信號評價(jià)的指標(biāo)，主要使用抖動(dòng)、不對稱和調(diào)制。

具有了標(biāo)準(zhǔn)偏差σ和1T，將抖動(dòng)表示為σ/T，這表示與基準(zhǔn)時(shí)鐘的偏移。

可以說，隨著抖動(dòng)值的增加，再生信號劣化。用于具有一個(gè)記錄層的只讀藍(lán)光光盤的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了抖動(dòng)應(yīng)為6.5％以下，自然更期望更低的抖動(dòng)。

不對稱用{(I8H+I8L)-(I2H+I2L)}/{2(I8H-I8L)}表示，這代表8T信號和2T信號的中心軸的位移。不對稱是確定數(shù)字化閾值的重要指標(biāo)。雖然藍(lán)光光盤的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定不對稱為-10％～15％，但通常期望不對稱為約0％～10％。

調(diào)制用(I8H-I8L)/(I8H)表示。這代表8T的振幅大小，并用作取決于8T凹坑深度的指標(biāo)。可以說，載波噪聲比隨著該指標(biāo)值的增加而提高。

在藍(lán)光光盤的制造過程中，如上所述來執(zhí)行使用無機(jī)抗蝕劑的原盤制作來制造原盤，隨后其被用于生產(chǎn)從中轉(zhuǎn)印凹坑圖樣(具有凹坑和間隙的記錄信號圖樣)的壓模。

隨后，將壓模用于大量生產(chǎn)光盤。