[發明專利]濺射靶

有效

• 申請號: 200910134430.1
• 申請日: 2009-04-10
• 公開（公告）號: CN101555585A
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發明（設計）人: 松前和男
• 申請（專利權）人: 三井金屬礦業株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃 威;張 彬

1.一種濺射靶，其特征在于，包括：靶材；背板；至少一個緩沖板，其 被設置在所述靶材和所述背板之間；接合材料，用于將所述靶材、背板以及 緩沖板接合成一體，所述緩沖板在其上表面以及下表面上，通過接合材料而 與所述靶材、所述背板、或其他的緩沖板相接合，

所述靶材由多個分割靶材構成，在至少一個該分割靶材的下方，層壓有 至少一個具有與該分割靶材大致相同的平面形狀的所述緩沖板。

2.如權利要求1所述的濺射靶，所述多個分割靶材被配置成，使所述濺 射靶的表面大致處于一個平面。

3.如權利要求1或2所述的濺射靶，所述緩沖板的材料與所述背板的材 料相同。

4.如權利要求1或2所述的濺射靶，所述緩沖板的厚度為0.5～10mm。

5.如權利要求1或2所述的濺射靶，其中，

當緩沖板為一個時，介于所述靶材和所述緩沖板之間的由所述接合材料 所形成的接合層的厚度，以及介于所述背板和所述緩沖板之間的由所述接合 材料所形成的接合層的厚度之總和為0.25～4.5mm；

當緩沖板為兩個以上時，介于所述靶材和所述緩沖板之間的由所述接合 材料所形成的接合層的厚度，和介于所述背板和所述緩沖板之間的由所述接 合材料所形成的接合層的厚度，以及介于所述緩沖板和緩沖板之間的由所述 接合材料所形成的接合層的厚度之總和為0.25～4.5mm。