[發(fā)明專利]切削刀具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910134132.2
• 申請日: 2009-04-24
• 公開（公告）號: CN101579750A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中西優(yōu)爾;山田洋照
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23B27/14
• 分類號: B23B27/14
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 陳 堅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及安裝在切削裝置的主軸上的、對被加工物進(jìn)行切削的切 削刀具。

背景技術(shù)

關(guān)于一般被稱為切割機(jī)的切削裝置，在主軸的前端安裝凸緣支座， 在該凸緣支座上安裝具有薄切削刃的切削刀具并利用螺母進(jìn)行固定，該 切削裝置使用于這樣的領(lǐng)域：將形成有IC(Integrated?Circuit：集成電路) 或者LSI(Large?Scale?Integration：大規(guī)模集成電路)等的硅晶片、形成 有光波導(dǎo)等的鈮酸鋰(LN)等的陶瓷基板、樹脂基板、玻璃板等切斷， 從而分割成一個個的LSI芯片、電子器件或者光器件。

在使用于切削裝置中的切削刀具中，有被稱為輪轂刀具的切削刀具。 該輪轂刀具通過在圓形基座的外周電沉積切削刃而構(gòu)成，其中，上述圓 形基座具有為了容易把持(hangding)而形成的圓形輪轂，上述切削刃是 將金剛石磨粒分散在鎳母材中而形成的。

將這樣的切削刀具安裝在主軸上，并使切削刀具與主軸一起以大約 20000～60000rpm的速度旋轉(zhuǎn)，來切削晶片等被加工物，從而分割成一個 個的器件等。

由于利用切削刀具進(jìn)行的切削是通過細(xì)微的脆性破壞來完成的，所 以在切削過的被加工物的外周會產(chǎn)生被稱為崩碎(chipping)的微米級的 細(xì)微缺口。由于這樣的缺口有可能會降低被加工物的特性和抗彎強(qiáng)度等， 因此希望將缺口抑制得盡可能小。一般來說，當(dāng)使切削刀具高速旋轉(zhuǎn)時， 每1個磨粒的工作量減少，因此抑制了所產(chǎn)生的缺口的大小。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-307208號公報

另一方面，當(dāng)切削刀具高速旋轉(zhuǎn)時，切削刀具因離心力而向切削刀 具的外周方向伸長。然而，輪轂刀具的切削刃呈環(huán)狀地形成在圓形基座 的一側(cè)面外周部上，輪轂刀具的形狀形成為圓形輪轂側(cè)和切削刃側(cè)不對 稱。

由此，當(dāng)使輪轂刀具高速旋轉(zhuǎn)時，切削刃部分的伸長量比具有圓形 輪轂的基座部分的伸長量要大，其結(jié)果為，產(chǎn)生了切削刃向基座側(cè)傾倒 的現(xiàn)象。這樣的現(xiàn)象雖然也與切削刀具的種類有關(guān)，但在60000rpm以上 的高速旋轉(zhuǎn)中特別明顯。

如果在切削刃向基座側(cè)傾倒的狀態(tài)下進(jìn)行切削，則會產(chǎn)生以下問題： 發(fā)生由加工載荷的偏置所引起的崩碎的增大或切削刀具的扭曲等，進(jìn)而 會使切削刀具或被加工物破損。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這樣的問題而完成的，其目的在于提供在高速旋轉(zhuǎn)時 不會產(chǎn)生切削刃的傾倒的切削刀具。

根據(jù)第一方面所述的發(fā)明，提供一種切削刀具，其安裝在切削裝置 的主軸的前端部，并且至少具有：圓形基座，其上一體地形成有圓形輪 轂；和切削刃，其形成在上述圓形基座的與上述圓形輪轂相反一側(cè)的側(cè) 面外周部上，上述切削刀具的特征在于，在上述圓形輪轂上形成有圓形 或環(huán)狀的锪孔部，將該锪孔部的外周側(cè)作為環(huán)狀平衡部。

根據(jù)第二方面所述的發(fā)明，提供一種切削刀具，其安裝在切削裝置 的主軸的前端部，并且至少具有：圓形基座，其上一體地形成有圓形輪 轂；切削刃，其形成在上述圓形基座的與上述圓形輪轂相反一側(cè)的側(cè)面 外周部上；和環(huán)狀的帶錐度部分，其將上述圓形基座的外周和上述圓形 輪轂的基部連接起來，上述切削刀具的特征在于，在上述環(huán)狀的帶錐度 部分的與上述圓形輪轂連接的連接部分形成有環(huán)狀的切口。

根據(jù)第一方面所述的發(fā)明，在圓形輪轂上形成有圓形或環(huán)狀的锪孔 部，將該锪孔部的外周側(cè)作為環(huán)狀平衡部，由此，高速旋轉(zhuǎn)時的基座側(cè) 和切削刃側(cè)的伸長量相等，能夠防止切削刃的傾倒。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)高 速旋轉(zhuǎn)下的切削加工，能夠抑制切削時的崩碎的產(chǎn)生。

根據(jù)第二方面所述的發(fā)明，在環(huán)狀的帶錐度部分的與圓形輪轂連接 的連接部分形成有環(huán)狀的切口，由此，高速旋轉(zhuǎn)時的基座側(cè)和切削刃側(cè) 的伸長量相等，能夠防止切削刃的傾倒。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)高速旋轉(zhuǎn)下的 切削加工，能夠抑制切削時的崩碎的產(chǎn)生。

附圖說明

圖1是切削裝置的外觀立體圖。

圖2是表示與框架成為了一體的晶片的立體圖。

圖3是表示將切削刀具安裝到主軸上的狀況的分解立體圖。

圖4是表示支座凸緣安裝結(jié)構(gòu)的其它實(shí)施方式的分解立體圖。

圖5是現(xiàn)有的切削刀具的縱剖視圖。

圖6的(A)是本發(fā)明第一實(shí)施方式的縱剖視圖，圖6的(B)是第 二實(shí)施方式的縱剖視圖。