[發明專利]缺陷診斷及管理的方法

無效

• 申請號: 200910134101.7
• 申請日: 2009-04-03
• 公開（公告）號: CN101852741A
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發明（設計）人: 呂一云
• 申請（專利權）人: 呂一云
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;H01L21/66;G06T7/00
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;祁建國

1.一種缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，其應用于一物體的制造流程中，該方法包括步驟如下：

得到該物體的一檢驗影像圖，該檢驗影像圖顯示該物體的至少一個缺陷；

搜尋對應于該檢驗影像圖的一設計規劃圖，該設計規劃圖具有多個導電區域；

比對該檢驗影像圖及該設計規劃圖來校正該缺陷在該設計規劃圖上的坐標；

判斷該缺陷與該導電區域的重疊量來判定該缺陷是否導致一斷路錯誤或一短路錯誤。

2.根據權利要求1所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，當該缺陷覆蓋其中兩個的該導電區域，該缺陷導致一短路錯誤；當該缺陷截斷其中一個的該導電區域，該缺陷導致一斷路錯誤。

3.根據權利要求1所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括步驟如下：

辨別該缺陷為一系統缺陷或一隨機缺陷。

4.根據權利要求3所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括重復該步驟于多個不同的檢驗影像圖。

5.根據權利要求4所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括步驟如下：

收集該缺陷的數據以形成一缺陷數據庫；

產生一缺陷產生報告。

6.根據權利要求5所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括步驟如下：

從該缺陷數據庫取得該缺陷的數據；

對該制造流程的至少一設備執行一錯誤偵測及分類分析；

找出該設備的至少一個異常的錯誤偵測及分類參數；

修復至少一個故障的設備零件，該故障的設備零件引發該異常的錯誤偵測及分類參數。

7.根據權利要求5所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括步驟如下：

從該缺陷數據庫取得該缺陷的數據；

從該缺陷的數據搜尋該系統缺陷；

搜尋對應該系統缺陷的多數個可能原因；

對該可能原因及該系統缺陷執行一統計分析；

從該可能原因中找尋至少一個關鍵原因，該關鍵原因實質地影響該系統缺陷；

改善該關鍵原因以減少該系統缺陷。

8.根據權利要求5所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括步驟如下：

從該缺陷數據庫取得該缺陷的數據；

取得多個錯誤偵測及分類參數；

對該錯誤偵測及分類參數及該缺陷數據執行一統計分析；

調整該錯誤偵測及分類參數以減少該斷路錯誤、該短路錯誤或是該系統缺陷。

9.根據權利要求5所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括步驟如下：

從該缺陷數據庫取得該缺陷的數據；

取得至少一設備零件的一庫存歷史數據，該庫存歷史數據包含該設備零件的不同來源的信息；

分析該庫存歷史數據及該缺陷數據來找出該設備零件的不同來源的良率損失；

辨別出該設備零件的哪一個來源對于該制造流程而言為經濟的。

10.根據權利要求5所述的缺陷診斷及管理的方法，其特征在于，更包括步驟如下：

取得該制造流程的多個輸出結果；

取得該制造流程的多個流程參數；

從該缺陷數據庫取得該缺陷的數據；

對該輸出結果、該流程參數及該缺陷的數據執行一實驗設計的分析；

調整該流程參數。