[發明專利]電子束裝置以及使用電子束裝置的圖像顯示裝置無效

申請號：	200910133528.5	申請日：	2009-04-10
公開（公告）號：	CN101556893A	公開（公告）日：	2009-10-14
發明（設計）人：	冢本健夫;森口拓人;竹內英司	申請（專利權）人：	佳能株式會社
主分類號：	H01J29/48	分類號：	H01J29/48;H01J31/12
代理公司：	中國國際貿易促進委員會專利商標事務所	代理人：	康建忠
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	電子束裝置以及使用圖像顯示裝置
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及用于平板顯示器并具有設置在其中的發射電子的電子發射器件的電子束裝置。

背景技術

常規上，存在使得大量電子從陰極被發射、與面對的柵極碰撞并在那里被散射、然后取出電子的電子發射器件。作為以這種形式發射電子的器件，表面傳導型電子發射器件和堆疊型電子發射器件是已知的，并且日本專利申請公開No.2000-251643公開了電子發射部分的間隙為5nm或更小的高效率電子發射器件。另外，日本專利申請公開No.2001-229809公開了通過柵極材料厚度、驅動電壓和絕緣層厚度的函數給出能夠以高效率發射電子的條件的堆疊型電子發射器件。并且，日本專利申請公開No.2001-167693公開了具有在電子發射部分附近的絕緣層中提供凹陷部分的結構的堆疊型電子發射器件。

日本專利申請公開No.2000-251643公開了使得多個電子發射點存在于形成的間隙中的器件，并由此能提供抑制電子發射部分中的放電并能長時期穩定工作的電子發射器件。盡管所述技術能抑制電子發射部分中的放電，但是，上述的電子發射器件沒有充分解決從電子發射點中的每個點發射的電子的量隨著驅動器件的驅動時間期間而增加和減少的問題。另外，以上的電子發射器件表現出隨著電子發射器件的驅動時間期間而增加和減少在間隙中存在的電子發射點的數量的現象。

在日本專利申請公開No.2001-229809中公開的器件中也發現了與上述現象相同的現象，并且，一直希望得到穩定的電子發射器件。

并且，在日本專利申請公開No.2001-167693中公開的器件表現出?優異的電子發射效率，但是其特性需要進一步提高。

發明內容

為了解決常規技術的上述問題，設計了本發明，并且本發明致力于提供具有設置在其中的電子發射器件的電子束裝置，其具有簡單的結構，表現出高電子發射效率，并且穩定地工作。

本發明的第一方面是一種電子束裝置，該電子束裝置包括：絕緣構件，在其表面上具有凹陷部分；柵極，設置在絕緣構件的表面上；陰極，設置在絕緣構件的表面上，并具有與柵極相對的、從凹陷部分的邊緣向柵極突起的突起部分；以及陽極，與突起部分相對設置以使柵極被設置于陽極和突起部分之間，其中，突起部分在沿凹陷部分的邊緣的方向上的長度比柵極的與突起部分相對的部分在沿凹陷部分的邊緣的方向上的長度短。

根據本發明的電子束裝置可包括以下方面：多個陰極被對應于柵極而設置；柵極具有與突起部分相對的隆起部分，并且，隆起部分在沿凹陷部分的邊緣的方向上比突起部分短；以及柵極在與凹陷相對的部分處覆蓋有絕緣層。

根據本發明的電子束裝置的第二方面是一種具有根據本發明的電子束裝置和設置在陽極上的發光構件的圖像顯示裝置。

根據本發明，可以在電子發射器件中選擇性地形成具有增大的電場強度的部分(強部分)，并且，結果，在優選的實施例中可以容易地控制電子發射點的位置。

電子束裝置還能通過用絕緣層覆蓋要暴露于絕緣構件的凹陷部分的柵極表面來防止發射的電子在與柵極表面碰撞之后形成泄漏電流，并且還能提高其電子發射效率。

并且，當相對于柵極具有多個陰極時，根據本發明的電子束裝置能控制要向陽極發射的電子束的形狀，并提供更加穩定的電子發射動作。

并且，電子束裝置能通過在柵極上提供比陰極的突起部分的寬度?短的隆起部分，使得發射的電子選擇性地與隆起部分碰撞，并且同時能使得發射的電子的碰撞部分集中于隆起部分的側面上。結果，與側面碰撞之后的電子飛向陽極而不進一步與其它部分碰撞，使得電子發射效率得到進一步的提高。

因此，本發明實現了被提供有電子發射器件的電子束裝置，其具有高的電子發射效率并具有穩定的發射動作。

通過參照附圖對示例性實施例的以下描述，本發明的進一步的特征將變得明顯。

附圖說明

圖1A、圖1B和圖1C是示意性地示出根據本發明的電子束裝置的示例性實施例中的電子發射器件的結構的視圖。

圖2是示意性地示出根據本發明的電子發射器件中的用于測量電子發射器件的系統的視圖。

圖3是圖1A至1C中的電子發射器件的部分放大示意圖。