[發明專利]可移動體設備和使用該可移動體設備的光偏轉器

有效

• 申請號: 200910132973.X
• 申請日: 2009-04-03
• 公開（公告）號: CN101551518A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 西沢秀太
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 楊國權

1.一種可移動體設備，包括：

振動系統，其具有諧振頻率以及能夠往復且可轉動地振動的可移動體；

振動檢測部分，被配置為用于檢測可移動體的振動狀況；

驅動部分，被配置為用于利用驅動信號來驅動振動系統；以及

控制部分，被配置為用于調節被提供給驅動部分的驅動信號，

其中，該控制部分存儲驅動信號的驅動相位與從振動檢測部分的檢測結果獲得的振動系統的振動相位之間的延遲相位差，作為目標延遲相位差，驅動相位與振動相位均在以預定頻率來振動所述振動系統時被獲得，以及

其中，該控制部分調節驅動信號的驅動頻率，從而使驅動信號的驅動相位與從振動檢測部分的檢測結果獲得的振動系統的振動相位之間的延遲相位差與目標延遲相位差近似一致，其中，所述驅動信號的驅動相位和所述從振動檢測部分的檢測結果獲得的振動系統的振動相位均是在振動系統的驅動期間測量的。

2.如權利要求1所述的可移動體設備，其中，所述控制部分測量在與可移動體的振動中所包含的頻率分量相應的驅動信號的信號分量的頻率與所述頻率分量的幅度之間的關系，以及基于測量結果來確定預定頻率。

3.如權利要求1所述的可移動體設備，其中，所述振動系統包括：被往復且可轉動地支撐的第一可移動體和第二可移動體，該振動系統具有基本諧振頻率和整數倍波諧振頻率，其中，兩者之間的關系是近似整數比率，

其中，所述振動檢測部分檢測第一可移動體的振動狀況，

其中，所述驅動部分利用以具有位于基本諧振頻率或接近基本諧振頻率的基頻的基本波信號分量與具有基頻的整數倍波頻率的整數倍波信號分量的合成波的形式的驅動信號來驅動振動系統，以及

其中，所述目標延遲相位差是基本波信號分量和整數倍波信號分量之一的驅動相位與第一可移動體的振動相位之間的延遲相位差。

4.如權利要求3所述的可移動體設備，其中，所述目標延遲相位差是基本波信號分量和整數倍波信號分量中頻率更加接近諧振頻率的信號分量的驅動相位與第一可移動體的振動相位之間的延遲相位差。

5.如權利要求3或4所述的可移動體設備，其中，所述控制部分調節基本波信號分量與整數倍波信號分量之間的相位差，從而第一可移動體的振動中所包含的多個頻率分量之間的相位差達到預定值，

其中，所述控制部分在維持基本波信號分量和整數倍波信號分量的兩個頻率之間的整數比率的情況下，改變所述兩個頻率，

其中，所述控制部分測量在與第一可移動體的振動中所包含的頻率分量相應的驅動信號的信號分量的頻率與所述頻率分量的幅度之間的關系，以及基于測量結果來確定預定頻率，

其中，所述控制部分檢測在以預定頻率來驅動第一可移動體時的目標延遲相位差，以及將檢測的結果存儲在存儲部分中，以及

其中，所述控制部分調節驅動信號的驅動頻率，從而使在振動系統的驅動期間測量的延遲相位差與目標延遲相位差近似一致。

6.如權利要求5所述的可移動體設備，其中，第一可移動體的振動中所包含的多個頻率分量之間的相位差的預定值為0。

7.如權利要求1-4和6之一所述的可移動體設備，其中，當目標延遲相位差與在振動系統的驅動期間測量的延遲相位差之間的差變為大于預定閾值時，所述控制部分改變驅動信號的驅動頻率。

8.一種光偏轉器，包括：

如權利要求1到7之一所述的可移動體設備；以及

反射鏡，設置在可移動體上，用于對來自光源的光束進行反射和偏轉，

其中，振動檢測部分包括光接收器件，其被設置為用于檢測處于預定偏轉角的偏轉光束，以及基于由光接收器件進行光束檢測的時間間隔來檢測可移動體的振動狀況。

9.一種光學儀器，包括：

如權利要求8所述的光偏轉器；以及

照射目標對象，

其中，光偏轉器對來自光源的光束進行偏轉，以及將至少一部分光束導向照射目標對象。

10.如權利要求9所述的光學儀器，其中，當光束入射到照射目標對象的非圖像描繪區域時，控制部分調節驅動信號的驅動頻率。